一种光罩托架推拉翻转机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种光罩托架推拉翻转机构，包括光罩托架、左侧滑轨和右侧滑轨，所述左侧滑轨和右侧滑轨经铰链铰接在曝光机主机架上，在左侧滑轨和右侧滑轨上分别水平安装有左滚轮组和右滚轮组，光罩托架从曝光机主机架内抽出后左右边框分别托在左滚轮组和右滚轮组上并可自由滑动，在左侧滑轨的侧壁上安装有左分割定位柱，在右侧滑轨的侧壁上安装有右分割定位柱，在光罩托架的左右边框上分别相应安装有左柱套和右柱套。该机构能够将光照托架拉出并进行翻转，便于清理检查，方便安放光罩。
【专利说明】 一种光罩托架推拉翻转机构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及曝光机制作领域，具体而言涉及一种曝光机的光罩托架推拉翻转机构。
【背景技术】
[0002]曝光机是指通过开启灯光发出紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备，现已广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领。曝光机内部的光罩托架用于放置光罩，光罩对紫外光进行选择透过，以使光罩下面的感光物质底片印刷出各种图形，然后再雕刻出相应的电路。目前，曝光机的光罩托架均固定在曝光机内部，不能方便取出，这使得放置光罩和清洗托架的工作变得繁重复杂。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是提供一种光罩托架推拉翻转机构，该机构能够将光照托架拉出并进行翻转，便于清理检查，方便安放光罩。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案:
[0005]一种光罩托架推拉翻转机构，包括光罩托架、左侧滑轨和右侧滑轨，其特征在于，所述左侧滑轨和右侧滑轨经铰链铰接在曝光机主机架上，在左侧滑轨和右侧滑轨上分别水平安装有左滚轮组和右滚轮组，光罩托架从曝光机主机架内抽出后左右边框分别托在左滚轮组和右滚轮组上并可自由滑动，在左侧滑轨的侧壁上安装有左分割定位柱，在右侧滑轨的侧壁上安装有右分割定位柱，在光罩托架的左右边框上分别相应安装有左柱套和右柱套。
[0006]在左侧滑轨上安装有左定位轮与光罩托架左侧边框相接触，在右侧滑轨上安装有右定位轮与光罩托架右侧边框相接触。
[0007]所述左滚轮组位于左分割定位柱外侧，右滚轮组位于右分割定位柱外侧。
[0008]所述光罩托架上安装有拉手。
[0009]本实用新型的有益效果是，光罩托架可以在左右滑轨上滑出，两侧定位轮能够防止光罩托架左右摆动，分割定位柱内的销柱插入两侧柱套后，光罩托架就可以绕销轴转动成与水平面垂直，从而正对工作人员便于清理和检查，克服了以往在曝光机内清洗光罩托架的弊端，将光罩托架拉出来清理后还方便精确安放光罩，操作方便。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型俯视图；
[0011]图2为斜向上方向观察的立体图；
[0012]图3为斜向下方向观察的立体图。
【具体实施方式】[0013]下面结合附图，对本实用新型做进一步说明:
[0014]如图1、图2和图3所不,曝光机主机架17为曝光机主体结构部分，以往光罩托架固定安装在曝光机主机架17内。现在在曝光机主机架17上光罩托架I的一侧留出开口，开口左侧通过铰链16铰接安装左侧滑轨3，开口右侧通过铰链15铰接安装右侧滑轨2，使用时左侧滑轨3和右侧滑轨2打开成与曝光机主机架17垂直的位置，不使用时将左侧滑轨3和右侧滑轨2进行折叠在曝光机主机架17上，以免占用外部空间给工作带来不便。
[0015]在左侧滑轨3的侧壁上安装有分割定位柱9，在分割定位柱9的外侧安装有两个滚轮构成的左滚轮组13，在分割定位柱9内侧安装有定位轮4和定位轮5，在右侧滑轨2的侧壁上安装有分割定位柱11，在分割定位柱11的外侧安装有两个滚轮构成的右滚轮组14，在分割定位柱11的内侧安装有定位轮7和定位轮6。光罩托架I能够从曝光机主机架17内部抽出并托在左滚轮组13和右滚轮组14上。在光罩托架I的左右两侧分别安装左柱套10和右柱套12，当光罩托架I完全拉出后，左柱套10的套孔对准左分割定位柱9，右柱套12的套孔对准右分割定位柱11。光罩托架I在拉出过程中，定位轮4、5和定位轮6、7分别接触光罩托架I的左右两侧边框，防止光罩托架I左右摆动，以便定位。在光罩托架I的外侧安装有拉手8，以便于将光罩支架2拉出。
[0016]文中的定位分割柱9、11均为现陈产品，可以将销轴收缩或身处。
[0017]本实施例只是对本实用新型构思和实现的一个说明，并非对其进行限制，在本实用新型构思下，未经实质变换的技术方案仍然在保护范围内。
【权利要求】
1.一种光罩托架推拉翻转机构，包括光罩托架、左侧滑轨和右侧滑轨，其特征在于，所述左侧滑轨和右侧滑轨经铰链铰接在曝光机主机架上，在左侧滑轨和右侧滑轨上分别水平安装有左滚轮组和右滚轮组，光罩托架从曝光机主机架内抽出后左右边框分别托在左滚轮组和右滚轮组上并可自由滑动，在左侧滑轨的侧壁上安装有左分割定位柱，在右侧滑轨的侧壁上安装有右分割定位柱，在光罩托架的左右边框上分别相应安装有左柱套和右柱套。
2.如权利要求1所述的光罩托架推拉翻转机构，其特征在于，在左侧滑轨上安装有左定位轮与光罩托架左侧边框相接触，在右侧滑轨上安装有右定位轮与光罩托架右侧边框相接触。
3.如权利要求1或2所述的光罩托架推拉翻转机构，其特征在于，所述左滚轮组位于左分割定位柱外侧，右滚轮组位于右分割定位柱外侧。
4.如权利要求要求3所述的光罩托架推拉翻转机构,其特征在于,所述光罩托架上安装有拉手。
【文档编号】G03F7/20GK203705820SQ201420034098
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年1月21日 优先权日:2014年1月21日
【发明者】张惠光 申请人:保定来福光电科技有限公司