感光性树脂组合物、光刻胶层叠体以及它们的固化物(11)的制作方法

文档序号:11160663阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的目的在于提供,在半导体、MEMS/微型机械应用领域中,固化物的残留应力极低、湿热试验后与Pt、LT和Ta等金属基板的紧密贴合性优异的树脂组合物和/或其层叠体、及其固化物。本发明是含有(A)环氧树脂、(B)具有酚性羟基的化合物和(C)光阳离子聚合引发剂的感光性树脂组合物,其中,(A)环氧树脂的加权平均环氧当量为300g/eq.以上,且该(A)环氧树脂的20质量%以上是由下述式(1)表示、且环氧当量为500~4500g/eq.的环氧树脂,该(B)具有酚性羟基的化合物含有特定结构的苯酚化合物。

技术研发人员:今泉尚子;小野祯之;小泉孝德;熊谷真希;稻垣真也
受保护的技术使用者:日本化药株式会社
文档号码:201580031504
技术研发日:2015.06.09
技术公布日:2017.05.10

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