着色感光性树脂组合物的制作方法

文档序号:11160658阅读:979来源:国知局
着色感光性树脂组合物的制造方法与工艺

本发明涉及一种着色感光性树脂组合物。



背景技术:

着色感光性树脂组合物用于制造液晶显示面板等显示装置中的彩色滤光片。近年来,为了扩大显示器能够显示的颜色再现区域而持续进行开发,作为其一环,对彩色滤光片也要求颜色更深的产品。为了满足该要求,提出了提高彩色滤光片中的色材浓度的方法,但存在若色材浓度上升,则图案形状恶化等作为感光性组合物的性能恶化的情况。

专利文献1中记载了如下的绿色感光性树脂组合物,其为了设计颜色较深的绿色的彩色滤光片,包含含有C.I.颜料绿G58、蓝色色材及黄色色材的着色剂、树脂、聚合性单体、光聚合引发剂、以及溶剂。

专利文献

专利文献1:日本特开2012-247539号公报



技术实现要素:

所欲解决的技术问题

本发明的目的在于得到一种亮度高的着色感光性树脂组合物。

解决技术问题的手段

本发明包含以下的发明。

[1]一种着色感光性树脂组合物,其含有着色剂(A)、树脂(B)、聚合性化合物(C)、及聚合引发剂(D),作为着色剂(A),含有卤化锌酞菁颜料、C.I.颜料黄185、及C.I.颜料蓝15:3或C.I.颜料蓝15:4。

[2]如[1]中所述的着色感光性树脂组合物,其中卤化锌酞菁颜料为C.I.颜料绿58。

[3]如[1]或[2]中所述的着色感光性树脂组合物,其中C.I.颜料黄185的含量相对于聚合性化合物(C)100质量份为10~50质量份。

[4]如[1]至[3]中任一项所述的着色感光性树脂组合物,其中着色剂(A)的合计量相对于着色感光性树脂组合物的固形物成分100质量份为20~50质量份。

[5]一种彩色滤光片,其由上述[1]至[4]中任一项所述的着色感光性树脂组合物形成。

发明效果

由本发明的着色感光性树脂组合物能够制造良好的亮度的彩色滤光片。

附图说明

图1是表示图案的剖面形状的示意图。图1(p1)表示当在着色图案上层叠无机膜时,在无机膜上不易发生龟裂、剥离的良好的剖面,图1(p2)表示在无机膜上容易发生龟裂、剥离的剖面。

具体实施方式

本发明的着色感光性树脂组合物含有着色剂(A)、树脂(B)、聚合性化合物(C)、及聚合引发剂(D)。

本发明的着色感光性树脂组合物优选进一步含有溶剂(E)。

本发明的着色感光性树脂组合物也可进一步含有选自由流平剂(F)及硫醇化合物所组成的组中的至少1种。

由本发明的着色感光性树脂组合物能够制造亮度高的彩色滤光片。进而,该着色感光性树脂组合物在图案的制作时不易产生来源于着色感光性树脂组合物的剥离片,也能够以良好的图案形状制作图案。

在本说明书中,作为各成分而例示的化合物只要无特别说明,则可单独使用或组合使用多种。

<着色剂(A)>

在本发明的着色感光性树脂组合物中,作为着色剂(A),含有C.I.颜料蓝15:3或C.I.颜料蓝15:4、卤化锌酞菁颜料、及C.I.颜料黄185。

作为卤化锌酞菁颜料,可举出C.I.颜料绿58。

卤化锌酞菁颜料的含量相对于聚合性化合物(C)100质量份,通常为10~120质量份,优选为20~110质量份,更优选为25~70质量份。若卤化锌酞菁颜料的含量处于上述范围内,则可得到亮度特别好的彩色滤光片。

C.I.颜料黄185的含量相对于聚合性化合物(C)100质量份,通常为10~50质量份,优选为20~50质量份,更优选为25~45质量份,进一步优选为25~40质量份。若C.I.颜料黄185的含量处于上述范围内,则可得到亮度及图案形状优异的彩色滤光片。

C.I.颜料蓝15:3及C.I.颜料蓝15:4的含量合计相对于聚合性化合物(C)100质量份,通常为1~30质量份,优选为1~25质量份,更优选为5~15质量份,进一步优选为5~9质量份。若C.I.颜料蓝15:3或C.I.颜料蓝15:4的含量处于上述范围内,则可得到图案形状特别优异的彩色滤光片。

在着色剂(A)中,作为绿色颜料,优选仅含有卤化锌酞菁颜料,更优选为仅含有C.I.颜料绿58。

着色剂(A)也可含有其他公知的颜料。但是,在本发明的着色感光性树脂组合物中,作为着色剂,优选仅含有C.I.颜料绿58、C.I.颜料黄185、及C.I.颜料蓝15:3或C.I.颜料蓝15:4。

着色剂(A)优选进一步含有C.I.颜料黄138。

着色剂(A)的合计量相对于着色感光性树脂组合物的固形物成分100质量份,通常为20~50质量份,优选为20~45质量份,更优选为20~35质量份,进一步优选为20~30质量份。

此处,本说明书中的所谓“固形物成分的总量”是指从着色感光性树脂组合物的总量除去溶剂的含量所得的量。固形物成分的总量及对应其的各成分的含量例如可利用液相色谱法或气相色谱法等公知的分析方法而测定。

<树脂(B)>

作为树脂(B),并无特别限定,优选为碱可溶性树脂。作为树脂(B),可举出以下的树脂[K1]~[K6]等。

树脂[K1]:选自由不饱和羧酸及不饱和羧酸酐所组成的组中的至少1种(a)(以下有时称为“(a)”)、与具有碳数2~4的环状醚结构及乙烯性不饱和键的单体(b)(以下有时称为“(b)”)的共聚物。

树脂[K2]:(a)、(b)、及能够与(a)共聚的单体(c)(但是,与(a)及(b)不同)(以下有时称为“(c)”)的共聚物。

树脂[K3]:(a)与(c)的共聚物。

树脂[K4]:使(a)与(c)的共聚物和(b)反应而得到的树脂。

树脂[K5]:使(b)与(c)的共聚物和(a)反应而得到的树脂。

树脂[K6]:使(b)与(c)的共聚物和(a)反应,进而使其与羧酸酐反应而得到的树脂。

作为(a),例如可举出:丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、邻、间、对乙烯基苯甲酸等不饱和单羧酸;马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、依康酸、3-乙烯基邻苯二甲酸、4-乙烯基邻苯二甲酸、3,4,5,6-四氢邻苯二甲酸、1,2,3,6-四氢邻苯二甲酸、二甲基四氢邻苯二甲酸、1,4-环己烯二羧酸等不饱和二羧酸;

甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸、5-羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基的双环不饱和化合物;

马来酸酐、柠康酸酐、依康酸酐、3-乙烯基邻苯二甲酸酐、4-乙烯基邻苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氢邻苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氢邻苯二甲酸酐、二甲基四氢邻苯二甲酸酐、5,6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯酐(himic anhydride)等不饱和二羧酸酐;

琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等二元以上的多元羧酸的不饱和单[(甲基丙烯酰氧基烷基]酯;以及

丙烯酸α-(羟基甲基)酯等在同一分子中含有羟基及羧基的不饱和丙烯酸酯等。

其中,从共聚反应性的方面或在碱水溶液中的溶解性的观点出发,优选丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。

(b)是指例如具有碳数2~4的环状醚结构(例如选自由环氧乙烷环、氧杂环丁烷环、及四氢呋喃环(氧杂环戊烷环)所组成的组中的至少1种)及乙烯性不饱和键的聚合性化合物。(b)优选为具有碳数2~4的环状醚及(甲基)丙烯酰氧基的单体。

在本说明书中,所谓“(甲基)丙烯酸”是表示选自由丙烯酸及甲基丙烯酸所组成的组中的至少1种。“(甲基)丙烯酰基”及“(甲基)丙烯酸酯”等表述也具有相同意义。

作为(b),可举出:具有环氧乙烷基及乙烯性不饱和键的单体(b1)(以下有时称为“(b1)”)、具有氧杂环丁基及乙烯性不饱和键的单体(b2)(以下有时称为“(b2)”)、具有四氢呋喃基及乙烯性不饱和键的单体(b3)(以下有时称为“(b3)”)等。

(b1)例如可举出:具有使不饱和脂肪族烃环氧化而成的结构的单体(b1-1)(以下有时称为“(b1-1)”)、具有使不饱和脂环式烃环氧化而成的结构的单体(b1-2)(以下有时称为“(b1-2)”)。

作为(b1-1),可举出:(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、缩水甘油基乙烯基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-邻乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-间乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-对乙烯基苄基缩水甘油醚、2,3-双(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,4-双(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,5-双(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,6-双(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,3,4-三(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,3,5-三(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,3,6-三(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯、3,4,5-三(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯、2,4,6-三(缩水甘油氧基甲基)苯乙烯等。

作为(b1-2),可举出:一氧化乙烯基环己烯、1,2-环氧基-4-乙烯基环己烷(例如,Celloxide2000;大赛璐化学工业(株)制造)、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯(例如,CyclomerA400;大赛璐化学工业(株)制造)、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯(例如,CyclomerM100;大赛璐化学工业(株)制造)、式(I)所表示的化合物、及式(II)所表示的化合物等。

[式(I)及式(II)中,Ra及Rb相互独立地表示氢原子或碳数1~4的烷基,该烷基所含的氢原子也可被羟基取代。

Xa及Xb相互独立地表示单键、-Rc-、*-Rc-O-、*-Rc-S-、*-Rc-NH-。

R3表示碳数1~6的烷二基。

*表示与O的键合键]

作为碳数1~4的烷基,可举出:甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等。

作为氢原子被羟基取代的烷基,可举出:羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟丙基、2-羟丙基、3-羟丙基、1-羟基-1-甲基乙基、2-羟基-1-甲基乙基、1-羟丁基、2-羟丁基、3-羟丁基、4-羟丁基等。

作为R1及R2,优选可举出:氢原子、甲基、羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基,且更优选可举出,氢原子、甲基。

作为烷二基,可举出:亚甲基、亚乙基、1,2-丙二基、1,3-丙二基、1,4-丁二基、1,5-戊二基、1,6-己二基等。

作为X1及X2,优选可列举:单键、亚甲基、亚乙基、*-CH2-O-(*表示与O的键合键)基、*-CH2CH2-O-基,且更优选地可举出单键、*-CH2CH2-O-基。

作为式(I)所表示的化合物,可举出式(I-1)~式(I-15)所表示的化合物等。优选地可举出:式(I-1)、式(I-3)、式(I-5)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-11)~式(I-15)。更优选可举出:式(I-1)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-15)。

作为式(II)所表示的化合物,可举出式(II-1)~式(II-15)所表示的化合物等。优选地可举出:式(II-1)、式(II-3)、式(II-5)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-11)~式(II-15)。

更优选可举出:式(II-1)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-15)。

式(I)所表示的化合物及式(II)所表示的化合物可分别单独使用。另外,它们能够以任意比率混合。在进行混合时,其混合比率以摩尔比计,优选为以式(I):式(II)计为5:95~95:5,更优选为10:90~90:10,进一步优选为20:80~80:20。

作为具有氧杂环丁基及乙烯性不饱和键的单体(b2),更优选为具有氧杂环丁基及(甲基)丙烯酰氧基的单体。作为(b2),可举出:3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷等。

作为具有四氢呋喃基与乙烯性不饱和键的单体(b3),更优选为具有四氢呋喃基及(甲基)丙烯酰氧基的单体。

作为(b3),具体而言,可举出:丙烯酸四氢糠酯(例如,ViscoatV#150,大阪有机化学工业(株)制造)、甲基丙烯酸四氢糠酯等。

作为(c),可举出:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯(在该技术领域中,作为惯用名,称为“(甲基)丙烯酸二环戊酯”。另外,有时称为“(甲基)丙烯酸三环癸酯”)、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烯-8-基酯(在该技术领域中,作为惯用名,称为“(甲基)丙烯酸二环戊烯酯”)、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸炔丙酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸苄酯等(甲基)丙烯酸酯;

(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯等含羟基的(甲基丙烯酸酯;

马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、依康酸二乙酯等二羧酸二酯;

双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2'-羟基乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羟基甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2'-羟基乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二乙氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-环己氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-双(叔丁氧基羰基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-双(环己氧基羰基)双环[2.2.1]庚-2-烯等双环不饱和化合物;

N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、3-马来酰亚胺基苯甲酸N-琥珀酰亚胺酯、4-马来酰亚胺基丁酸N-琥珀酰亚胺酯、6-马来酰亚胺基己酸N-琥珀酰亚胺酯、3-马来酰亚胺基丙酸N-琥珀酰亚胺酯、N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等二羰基酰亚胺衍生物;

苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1,3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。

这些中,从共聚反应性及耐热性的观点出发,优选为(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸三环癸酯、苯乙烯、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、双环[2.2.1]庚-2-烯等。从形成图案时的显影性优异的观点出发,更优选为(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸三环癸酯。

在树脂[K1]中,来源于各成分的结构单元的比率在构成树脂[K1]的全部结构单元中,优选处于以下的范围。

来源于(a)的结构单元:2~50摩尔%(更优选为10~45摩尔%)

来源于(b)的结构单元:50~98摩尔%(更优选为55~90摩尔%)

若树脂[K1]的结构单元的比率处于上述范围,则存在保存稳定性、显影性、所得到的图案的耐溶剂性优异的倾向。

树脂[K1]能够利用例如文献“高分子合成的实验法”(大津隆行著发行所化学同人(株),第1版第1次印刷,1972年3月1日发行)中所述的方法及该文献中所述的引用文献为参考而制造。

具体可举出将(a)及(b)的特定量、聚合引发剂、及溶剂等装入至反应容器中,在脱氧环境下,进行搅拌、加热、保温的方法。需要说明的是,此处所使用的聚合引发剂及溶剂等并无特别限定,任何该领域中通常所使用的物质均可使用。例如,作为聚合引发剂,可举出偶氮化合物(2,2'-偶氮二异丁腈、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)等)或有机过氧化物(过氧化苯甲酰等),作为溶剂,只要为使各单体溶解的溶剂即可,作为着色感光性树脂组合物的溶剂,可使用下述溶剂(E)等。

所得到的共聚物可直接使用反应后的溶液,可使用经浓缩或稀释的溶液,也可使用通过再沉淀等方法以固体(粉体)的形式提取而得的物质。尤其是在该聚合时,使用下述溶剂(E)作为溶剂,由此可直接使用反应后的溶液,从而可简化制造步骤。

在树脂[K2]中,来源于各成分的结构单元的比率在构成树脂[K2]的全部结构单元中,优选为处于以下的范围。

来源于(a)的结构单元:4~45摩尔%(更优选为10~30摩尔%)

来源于(b)的结构单元:2~95摩尔%(更优选为5~80摩尔%)

来源于(c)的结构单元:1~65摩尔%(更优选为5~60摩尔%)

若树脂[K2]的结构单元的比率处于上述范围,则存在保存稳定性、显影性、所得到的图案的耐溶剂性、耐热性及机械强度优异的倾向。

树脂[K2]例如可与作为树脂[K1]的制造方法而记载的方法同样地制造。

具体可举出将(a)、(b)及(c)的特定量、聚合引发剂、及溶剂投入反应容器中,在脱氧环境下,进行搅拌、加热、保温的方法。所得到的共聚物可直接使用反应后的溶液,可使用经浓缩或稀释的溶液,也可使用通过再沉淀等方法以固体(粉体)的形式提取而得的物质。

在树脂[K3]中,来源于各成分的结构单元的比率在构成树脂[K3]的全部结构单元中,优选处于以下的范围。

(a)2~55摩尔%,更优选为10~50摩尔%

(c)45~98摩尔%,更优选为50~90摩尔%

树脂[K3]例如可与作为树脂[K1]的制造方法而记载的方法同样地制造。

树脂[K4]可通过如下方法而制造,即,得到(a)与(c)的共聚物,使(b)所具有的碳数2~4的环状醚与(a)所具有的羧酸及/或羧酸酐加成。

首先,与作为树脂[K1]的制造方法而记载的方法同样地制造(a)与(c)的共聚物。此时,来源于各成分的结构单元的比率在构成(a)与(c)的共聚物的全部结构单元中,优选为处于以下的范围。

(a)5~50摩尔%,更优选为10~45摩尔%

(c)50~95摩尔%,更优选为55~90摩尔%

接着,使(b)所具有的碳数2~4的环状醚与上述共聚物中的来源于(a)的羧酸及/或羧酸酐的一部分反应。

在(a)与(c)的共聚物的制造后,将烧瓶内环境自氮气置换为空气,并将(b)、及羧酸或羧酸酐与环状醚的反应催化剂(三(二甲基胺基甲基)苯酚等)及聚合抑制剂(对苯二酚等)等加入至烧瓶内,例如在60~130℃下反应1~10小时,由此可得到树脂[K4]。

(b)的使用量相对于(a)100摩尔,优选为5~80摩尔,更优选为10~75摩尔。通过设为该范围,存在保存稳定性、显影性、耐溶剂性、耐热性、机械强度、及感度的平衡性变得良好的倾向。从环状醚的反应性较高,未反应的(b)不易残留的观点出发,作为用于树脂[K4]的(b),优选为(b1),进一步优选为(b1-1)。

上述反应催化剂的使用量相对于(a)、(b)、及(c)的合计量,优选为0.001~5质量%。上述聚合抑制剂的使用量相对于(a)、(b)、及(c)的合计量,优选为0.001~5质量%。

装入方法、反应温度、及时间等反应条件可考虑制造设备或因聚合而产生的发热量等进行适当调整。此外,可与聚合条件同样地考虑制造设备或因聚合而产生的发热量等,适当调整装入方法或反应温度。

对于树脂[K5],作为第一阶段,与上述树脂[K1]的制造方法同样地得到(b)与(c)的共聚物。与上述同样地,所得到的共聚物可直接使用反应后的溶液,可使用经浓缩或稀释的溶液,也可使用通过再沉淀等方法以固体(粉体)的形式提取而得的物质。

来源于(b)及(c)的结构单元的比率相对于构成上述共聚物的全部结构单元的合计摩尔数,优选为处于以下的范围。

来源于(b)的结构单元:5~95摩尔%(更优选为10~90摩尔%)

来源于(c)的结构单元:5~95摩尔%(更优选为10~90摩尔%)

进而,在与树脂[K4]的制造方法相同的条件下,使(a)所具有的羧酸或羧酸酐和(b)与(c)的共聚物所具有的来源于(b)的环状醚反应,由此可得到树脂[K5]。

与上述共聚物反应的(a)的使用量相对于(b)100摩尔而言,优选5~80摩尔。从环状醚的反应性较高,未反应的(b)不易残留的观点出发,作为用于树脂[K5]的(b),优选为(b1),进一步优选为(b1-1)。

树脂[K6]是使树脂[K5]进而与羧酸酐反应后所得的树脂。使羧酸酐和通过环状醚与羧酸或羧酸酐的反应而产生的羟基反应。

作为羧酸酐,可举出:马来酸酐、柠康酸酐、依康酸酐、3-乙烯基邻苯二甲酸酐、4-乙烯基邻苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氢邻苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氢邻苯二甲酸酐、二甲基四氢邻苯二甲酸酐、5,6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯酐(himic anhydride)等。

作为树脂(B),具体可举出:(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯/(甲基)丙烯酸共聚物、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸酯/(甲基)丙烯酸共聚物等树脂[K1];(甲基)丙烯酸缩水甘油酯/(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸共聚物、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸酯/(甲基)丙烯酸/N-环己基马来酰亚胺共聚物、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷/(甲基)丙烯酸/苯乙烯共聚物等树脂[K2];(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、苯乙烯/(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸三环癸酯/(甲基)丙烯酸共聚物等树脂[K3];使(甲基)丙烯酸缩水甘油酯与(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物加成所得的树脂、使(甲基)丙烯酸缩水甘油酯与(甲基)丙烯酸三环癸酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸共聚物加成所得的树脂、使(甲基)丙烯酸缩水甘油酯与(甲基)丙烯酸三环癸酯/(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物加成所得的树脂等树脂[K4];使(甲基)丙烯酸与(甲基)丙烯酸三环癸酯/(甲基)丙烯酸缩水甘油酯的共聚物反应所得的树脂、使(甲基)丙烯酸与(甲基)丙烯酸三环癸酯/苯乙烯/(甲基)丙烯酸缩水甘油酯的共聚物反应所得的树脂等树脂[K5];使四氢邻苯二甲酸酐进而与使(甲基)丙烯酸与(甲基)丙烯酸三环癸酯/(甲基)丙烯酸缩水甘油酯的共聚物反应所得的树脂反应而得到的树脂等树脂[K6]等。

这些树脂可单独使用,也可并用2种以上。

树脂(B)的聚苯乙烯换算的重量平均分子量优选为3000~100000,更优选为5000~50000,进一步优选为5000~30000。若分子量处于上述范围,则存在未曝光部在显影液中的溶解性高,所得到的图案的残膜率或硬度也高的倾向。

树脂(B)的分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数量平均分子量(Mn)]优选为1.1~6,更优选为1.2~4。

树脂(B)的酸值优选为50~180mg-KOH/g,更优选为60~150mg-KOH/g。

此处,酸值为作为中和1g的树脂所需的氢氧化钾的量(mg)而测定的值,例如可通过使用氢氧化钾水溶液进行滴定而求出。

树脂(B)的含量相对于着色感光性树脂组合物的固形物成分,优选为7~65质量%,更优选为13~60质量%,进一步优选为17~55质量%,特别优选为17~40质量%。若树脂(B)的含量处于上述范围,则存在未曝光部在显影液中的溶解性高的倾向。

<聚合性化合物(C)>

聚合性化合物(C)的重量平均分子量优选为3000以下。聚合性化合物(C)只要是能够通过利用照射光,通过由聚合引发剂(D)产生的活性自由基等而聚合的化合物,则无特别限定,可举出具有聚合性的乙烯性不饱和键的化合物等。

作为聚合性化合物(C),优选为具有3个以上乙烯性不饱和键的光聚合性化合物,例如可举出:三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇十(甲基)丙烯酸酯、四季戊四醇九(甲基)丙烯酸酯、异氰尿酸三(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)酯、乙二醇改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、乙二醇改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙二醇改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、丙二醇改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。其中,可举出二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。

聚合性化合物(C)的含量相对于着色感光性树脂组合物中的树脂(B)100质量份,优选为20~150质量份。

<聚合引发剂(D)>

作为聚合引发剂(D),只要为可通过光或热的作用产生活性自由基,使聚合性化合物(C)的聚合开始的引发剂,则无特别限定,可使用公知的自由基聚合引发剂。

作为聚合引发剂(D),优选为通过光的作用而产生活性自由基的化合物,更优选为烷基苯酮化合物、三嗪化合物、酰基氧化膦化合物、肟化合物、及联咪唑化合物,特别进一步优选为含有肟化合物的聚合引发剂。

作为O-酰基肟化合物,可举出:N-苯甲酰氧基-1-(4-苯基硫基苯基)丁烷-1-酮-2-亚胺、N-苯甲酰氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亚胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3,3-二甲基-2,4-二氧杂环戊基甲基氧基)苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺等。也可使用IrgacureOXE01、OXE02(以上为BASF公司制造)、N-1919(ADEKA公司制造)等市售品。

本发明的着色感光性树脂组合物也可含有聚合引发助剂(D1)。在含有聚合引发助剂(D1)时,通常与聚合引发剂(D)组合使用。聚合引发助剂(D1)用来促进通过聚合引发剂(D)而引发聚合的聚合性化合物(C)的聚合的化合物或增感剂。

作为聚合引发助剂(D1),可举出:胺化合物、烷氧基蒽化合物、噻吨酮化合物、羧酸化合物、硫醇化合物等,优选为硫醇化合物。这些聚合引发助剂可单独使用,也可并用2种以上。

聚合引发剂(D)的含量相对于着色感光性树脂组合物的固形物成分,优选为1~20质量%,更优选为1~10质量%,进一步优选为3~10质量%。

在使用聚合引发助剂(D1)时,其含量相对于聚合引发剂(D)1摩尔,优选为0.01~10摩尔,更优选为0.01~5摩尔。

聚合引发剂(D)与聚合引发助剂(D1)的合计含量相对于着色感光性树脂组合物的固形物成分,优选为1~35质量%,更优选为1~25质量%,进一步优选为1~20质量%,特别优选为5~20质量%。

本发明的着色感光性树脂组合物优选为含有溶剂(E)。溶剂(E)并无特别限定,可使用该领域中通常使用的溶剂。例如可从酯溶剂(含有-COO-的溶剂)、酯溶剂以外的醚溶剂(含有-O-的溶剂)、醚酯溶剂(含有-COO-及-O-的溶剂)、酯溶剂以外的酮溶剂(含有-CO-的溶剂)、醇溶剂、芳香族烃溶剂、酰胺溶剂、二甲基亚砜等中选择而使用。

作为酯溶剂,可举出:乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羟基异丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、环己醇乙酸酯、γ-丁内酯等。

作为醚溶剂,可举出:乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氢呋喃、四氢吡喃、1,4-二噁烷、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚、苯甲醚、苯乙醚、甲基苯甲醚等。

作为醚酯溶剂,可举出:甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、乙酸3-甲氧基丁酯、乙酸3-甲基-3-甲氧基丁酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单丁醚乙酸酯、二丙二醇甲醚乙酸酯等。

作为酮溶剂,可举出:4-羟基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、环戊酮、环己酮、异佛尔酮等。

作为醇溶剂,可举出:甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、丙二醇、甘油等。

作为芳香族烃溶剂,可举出:苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等。

作为酰胺溶剂,可举出:N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。

这些溶剂可单独使用,也可并用2种以上。

上述溶剂中,从涂布性、干燥性的观点出发,优选为1atm下的沸点为120℃以上且180℃以下的有机溶剂。其中,优选为丙二醇单甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙二醇单甲醚、3-乙氧基丙酸乙酯、乙二醇单甲醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇、4-羟基-4-甲基-2-戊酮、N,N-二甲基甲酰胺等,更优选为丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、二丙二醇甲醚乙酸酯、乳酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇、3-乙氧基丙酸乙酯等。

溶剂(E)的含量相对于着色感光性树脂组合物,优选为70~95质量%,更优选为75~92质量%。换言之,着色感光性树脂组合物的固形物成分优选为5~30质量%,更优选为8~25质量%。

若溶剂(E)的含量处于上述范围,则涂布时的平坦性变得良好,当形成彩色滤光片时,色浓度不会不足,故而存在显示特性变得良好的倾向。

<流平剂(F)>

作为流平剂(F),可举出:硅酮系表面活性剂、氟系表面活性剂、及具有氟原子的硅酮系表面活性剂等。这些可在侧链具有聚合性基。

作为硅酮系表面活性剂,可举出在分子内具有硅氧烷键的表面活性剂等。具体可举出:Toray Silicone DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、Toray Silicone SH8400(商品名:Dow Corning Toray(株)制造)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化学工业(株)制造)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF-4446、TSF4452、及TSF4460(Momentive Performance Materials JapanLLC公司制造)等。

作为上述氟系表面活性剂,可举出在分子内具有氟碳链的表面活性剂等。具体可举出:Fluorad(注册商标)FC430、Fluorad FC431(住友3M(株)制造)、MEGA FAC(注册商标)F142D、MEGA FAC F171、MEGA FACF172、MEGA FAC F173、MEGA FAC F177、MEGA FAC F183、MEGA FAC F554、MEGA FAC R30、MEGA FAC RS-718-K(DIC(株)制造)、Eftop(注册商标)EF301、Eftop EF303、Eftop EF351、Eftop EF352(MitsubishiMaterialsElectronicChemicals(株)制造)、Surflon(注册商标)S381、Surflon S382、Surflon SC101、Surflon SC105(旭硝子(株)制造)、及E5844(Daikin Fine Chemical研究所(株)制造)等。

作为上述具有氟原子的硅酮系表面活性剂,可举出在分子内具有硅氧烷键及氟碳链的表面活性剂等。具体可举出:MEGA FAC(注册商标)R08、MEGA FAC BL20、MEGA FAC F475、MEGA FAC F477、及MEGA FAC F443(DIC(株)制造)等。

流平剂(F)的含量相对于着色感光性树脂组合物的总量,优选为0.001质量%以上且0.2质量%以下,优选为0.002质量%以上且0.1质量%以下,更优选为0.01质量%以上且0.05质量%以下。此外,该含量并不含上述颜料分散剂的含量。

本发明的着色感光性树脂组合物也可视需要含有填充剂、其他高分子化合物、密接促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、光稳定剂、链转移剂等添加剂。

本发明的着色感光性树脂组合物可通过利用先前公知的方法,将着色剂(A)、树脂(B)、聚合性化合物(C)及聚合引发剂(D)、根据需要的溶剂(E)或流平剂(F)等其他添加剂搅拌、混合而制造。

优选为在混合后,利用孔径0.05~5.0μm左右的过滤器进行过滤。

作为着色剂(A)而含有的C.I.颜料蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、卤化锌酞菁颜料、及C.I.颜料黄185优选分别以颜料分散液的形式与其他成分混合。

各颜料分散液可通过使上述颜料中的任一者分散至含有颜料分散剂的溶剂(E)中而制备。

颜料分散剂可单独使用,也可组合使用2种以上。

作为颜料分散剂,可举出丙烯酸系表面活性剂等公知的颜料分散剂,以商品名而言可举出:KP(信越化学工业(株)制造)、Flowlen(共荣社化学(株)制造)、Solsperse(注册商标)(Avecia公司制造)、EFKA(注册商标)(BASF公司制造)、Ajisper(注册商标)(Ajinomoto Fine-Techno(株)制造)、Disperbyk(注册商标)(BYK-Chemie公司制造)等。

颜料分散剂的使用量相对于颜料,优选为1质量%以上且100质量%以下,更优选为5质量%以上且50质量%以下。若颜料分散剂的使用量处于该范围,则可得到均匀的分散状态的颜料分散液。

当使颜料分散至溶剂(E)中时,可使用珠磨机等公知的分散机。

本发明的着色感光性树脂组合物作为彩色滤光片等的涂膜(以下,有时将某些形状解像而成的涂膜称为“图案”)的材料而有用。由该着色感光性树脂组合物得到的彩色滤光片的图案形状优异。

作为由本发明的着色感光性树脂组合物形成图案的方法,可举出光刻法、喷墨法、印刷法等。其中,优选为光刻法。

光刻法是通过将上述着色感光性树脂组合物涂布至基板,进行干燥,隔着掩模曝光,并进行显影而得到图案的方法。

作为上述基板,例如可举出玻璃、金属、塑料等,可为板状,也可为膜状。也可在这些基板上形成有彩色滤光片、各种绝缘或导电膜、驱动电路等结构体。

对基板的涂布例如可使用旋转涂布机、狭缝式&旋转涂布机、狭缝式涂布机(有时也被称为模涂机、淋幕式平面涂布机、非旋转涂布机)、喷墨等涂布装置而进行。

作为涂布至基板的着色感光性树脂组合物的干燥方法,例如可举出:加热干燥、自然干燥、通风干燥、减压干燥等方法。也可将多种方法组合而进行。作为干燥温度,优选为10~120℃,更优选为50~100℃。另外,作为加热时间,优选为10秒钟~60分钟,更优选为30秒钟~10分钟。减压干燥优选为在50~150Pa的压力下,以20~25℃的温度范围进行。

通过干燥而得到的膜隔着用来形成目标图案的掩模而曝光。

此时的掩模上的图案形状并无特别限定,是使用对应于目标用途的图案形状。

作为用于曝光的光源,优选为产生250~450nm的波长的光的光源。也可使用例如对该波长区域进行截止的滤光片而截止不足350nm的光,或使用提取这些波长区域的带通滤光片而选择性地提取436nm附近、408nm附近、365nm附近的光。具体可举出:汞灯、发光二极管、金属卤化物灯、卤素灯等。

为了能够均匀地对整个曝光面照射平行光线,或进行掩模与基材的准确的对位,优选使用掩模对准器、步进机等装置。

在曝光后,使未曝光部接触显影液而溶解,由此进行显影。通过该显影,可得到图案。作为显影液,也可使用有机溶剂,但为了不易因显影液发生涂膜的曝光部的溶解、溶胀,得到良好的形状的图案,优选碱性化合物的水溶液。

显影方法可为搅拌法、浸渍法、喷雾法等中的任一种。进而,也可在显影时将基板倾斜任意的角度。

优选为在显影后进行水洗。

作为上述碱性化合物,可举出:氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、氨等无机碱性化合物;氢氧化四甲基铵、氢氧化2-羟乙基三甲基铵、单甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、单乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、单异丙基胺、二异丙基胺、乙醇胺等有机碱性化合物。其中,优选为氢氧化钾、碳酸氢钠、及氢氧化四甲基铵。

这些碱性化合物的水溶液中的浓度优选为0.01~10质量%,更优选为0.03~5质量%。

上述碱性化合物的水溶液也可含有表面活性剂。

作为表面活性剂,可举出:聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、氧化乙烯/丙二醇嵌段共聚物、山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等非离子系表面活性剂;月桂醇硫酸酯钠、油醇硫酸酯钠、月桂基硫酸钠、月桂基硫酸铵、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基萘磺酸钠等阴离子系表面活性剂;硬脂胺盐酸盐、月桂基三甲基氯化铵等阳离子系表面活性剂等。

碱性化合物的水溶液中的表面活性剂的浓度优选为0.01~10质量%,更优选为0.05~8质量%,特别优选为0.1~5质量%。

也可进一步根据需要进行后烘烤。后烘烤优选为以150~250℃、1~240分钟的范围而进行。

可适当调整后烘烤后的涂膜的膜厚,优选为0.5~5μm,特别优选为0.5~3μm。

通过本发明的着色感光性树脂组合物而得到的图案作为彩色滤光片是有用的。

该彩色滤光片能够以公知的实施方式用于显示装置(液晶显示装置、有机EL装置等)、固体摄像元件、电子纸等各种与着色图像相关的机器。

实施例

接下来,列举实施例而更具体地说明本发明。实施例及比较例中的“%”及“份”,只要无特别说明,则为质量%及质量份。

合成例1

对具备回流冷凝器、滴液漏斗、及搅拌机的1L的烧瓶内通入适量氮气,而置换成氮气环境,加入丙二醇单甲醚乙酸酯280重量份,一面搅拌,一面加热至80℃。接着,用时5小时滴加丙烯酸38重量份、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸-8或/及9-基酯的混合物289重量份、及丙二醇单甲醚乙酸酯125重量份的混合溶液。另一方面,历时6小时滴加使2,2-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)33重量份溶解在丙二醇单甲醚乙酸酯235重量份后所得的混合溶液。在滴加结束后,以同一温度保持4小时后,冷却至室温,得到B型粘度(23℃)为125mPa.s,固形物成分为37.0重量%,溶液酸值为27mg-KOH/g的共聚物的溶液(树脂B-1溶液)。所得到的共聚物(树脂B-1)的重量平均分子量Mw为9200,分散度为2.08。

关于上述合成例中得到的树脂的聚苯乙烯换算重量平均分子量Mw及数量平均分子量Mn的测定,使用GPC法,利用以下的条件而进行。

装置:HLC-8120GPC(Tosoh(株)制造)

色谱柱:TSK-GEL G2000HXL

柱温:40℃

溶剂:四氢呋喃[THF]

流速:1.0mL/min

被检液体固形物成分浓度:0.001~0.01质量%

进样量:50μL

检测器:RI(RefractiveIndex,折射率)

校正用标准物质:TSK STANDARD POLYSTYRENE

F-40、F-4、F-288、A-2500、A-500

(Tosoh(株)制造)

[颜料分散液1的制备]

13.0份的C.I.颜料绿58、

2.0份的丙烯酸系颜料分散剂、及

85.0份的丙二醇单甲醚乙酸酯

混合,使用珠磨机,使颜料充分地分散,由此得到颜料分散液(A-1)。

[颜料分散液2的制备]

5.0份的C.I.颜料黄185、

3.5份的丙烯酸系颜料分散剂、及

91.5份的丙二醇单甲醚乙酸酯

混合,使用珠磨机,使颜料充分地分散,由此得到颜料分散液(A-2)。

[颜料分散液3的制备]

12.0份的C.I.颜料蓝15:3、

4.0份的丙烯酸系颜料分散剂、及

84.0份的丙二醇单甲醚乙酸酯

混合,使用珠磨机,使其充分地分散,由此得到颜料分散液(A-3)。

[颜料分散液4的制备]

15.0份的C.I.颜料黄138、

4.5份的丙烯酸系颜料分散剂、及

80.5份的丙二醇单甲醚乙酸酯

混合,使用珠磨机,使颜料充分地分散,由此得到颜料分散液(A-4)。

[颜料分散液5的制备]

11.0份的C.I.颜料绿7、

3.0份的丙烯酸系颜料分散剂、及

86.0份的丙二醇单甲醚乙酸酯

混合,使用珠磨机,使颜料充分地分散,由此得到颜料分散液(A-5)。

实施例1~6和比较例1~2

[着色感光性树脂组合物的制备]

将表1所记载的成分混合,而得到着色感光性树脂组合物。以使着色感光性树脂组合物的固形物成分成为表1的“固形成分(%)”的方式,混合丙二醇单甲醚乙酸酯。

表1

在表1中,各成分如下所述。

着色分散剂(A1):颜料分散液(A-1)

着色分散剂(A2):颜料分散液(A-2)

着色分散剂(A3):颜料分散液(A-3)

着色分散剂(A4):颜料分散液(A-4)

着色分散剂(A5):颜料分散液(A-5)

树脂(B1):树脂B-1溶液

聚合性化合物(C1):二季戊四醇六丙烯酸酯(KAYARAD DPHA;日本化药(株)制造)

聚合引发剂D1:N-苯甲酰氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亚胺(Irgacure OXE01;BASF公司制造;O-酰基肟化合物)

[图案的制作]

通过旋转涂布法,对2英寸见方的玻璃基板(Eagle XG;Corning公司制造)上涂布着色感光性树脂组合物后,以100℃预烘烤3分钟。冷却后,将涂布有该着色感光性树脂组合物的基板与具有图案的石英玻璃制掩模的间隔设为100μm,使用曝光机(TME-150RSK;TOPCON(株)制造),在大气环境下,以150mJ/cm2的曝光量(365nm基准)进行光照射。作为掩模,使用形成有线宽50μm(间距50μm)的线与间隙图案的掩模。在光照射后,在24℃下,将上述涂膜浸渍于含有0.12%的非离子系表面活性剂及0.04%的氢氧化钾的水系显影液中60秒钟而进行显影,水洗后,在烘箱中,在230℃下进行30分钟后烘烤,而得到图案。

[膜厚测定]

对所得到的图案,使用膜厚测定装置(DEKTAK3;日本真空技术(株)制造)测定膜厚。将结果示于表2。

[色度评价]

对所得到的图案,使用测色机(OSP-SP-200;Olympus(株)制造)测定分光,使用C光源的特性函数,测定CIE的XYZ表色系统中的xy色度座标(x,y)与亮度Y。将结果示于表2。

[图案形状]

对所得到的图案的剖面,使用扫描型电子显微镜(S-4000;HitachiHigh-Technologies(株)制造),观察形状。为图1(p1)所示的形状时评价为○,为图1(p2)所示的形状时评价为×。当为图1(p1)所示的形状,则在图案上层叠无机膜时,倾向于不易在无机膜上发生龟裂、剥离。将结果示于表2。

[剥离片的观察]

在图案的制作中,以目视观察显影后的显影液。将在显影液中未观察到来源于着色感光性树脂组合物的剥离片的情况评价为○,将观察到剥离片的情况评价为×。当在显影液中观察到来源于着色感光性树脂组合物的剥离片时,则有可能以异物的形式附着在图案上,从而成为不良的原因,因而不优选。将结果示于表2。

表2

注:表2中着色剂浓度是将固形物成分总量设为100%而换算的浓度

产业实用性

能够由本发明的着色感光性树脂组合物制造亮度高的彩色滤光片。

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