技术总结
与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物。本发明提供了一种形成光刻胶浮雕像的方法，所述方法包括：(a)在基材上涂覆包括树脂的减反射涂料组合物，所述树脂包括1)共价连接的交联剂组分和2)对应于下列式的化合物；(b)在上述涂料组合物层上涂覆光刻胶组合物；和(c)曝光和显影所述光刻胶层，从而制得光刻胶浮雕像，所述树脂包含聚酯键，所述树脂是由具有下式的一个或多个化合物形成的。
技术研发人员：A·赞皮尼;V·简恩;刘骢;S·克雷;O·昂格伊;
受保护的技术使用者：罗门哈斯电子材料有限公司;
技术研发日：2010.05.20
技术公布日：2016.07.13