防尘薄膜组件以及其安装方法与流程

本发明涉及在半导体装置，IC封装体，印刷基板，液晶面板或者有机EL面板等制造时，作为灰尘防止器使用的防尘薄膜组件以及其安装方法。

背景技术：

在LSI，超LSI等的半导体或液晶面板等的制造中，要将紫外线等的波长短的光向光掩模照射，使用在半导体晶片或者液晶用玻璃上制作图案的曝光机。此时，如在使用的光掩模上附着灰尘，该灰尘对紫外光进行折射，反射，使转印的图案变形，短路等，品质会受损。

因此，这些的操作通常在无尘室中进行，但是即使如此，保持光掩模的清洁也是困难的，所以要在光掩模表面将作为灰尘防止器的防尘薄膜组件贴附后进行曝光。在该场合，异物不会在光掩模的表面上直接附着，而是在防尘薄膜组件上附着，所以光刻时只要将焦点对准在光掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关了。

再者，作为一部分的特殊用途，在光掩模以外的曝光机内的光学部件安装的防尘薄膜组件也存在。曝光机内内反光镜，透镜，窗等，紫外光反射、透过的光学部件很多，这些光学部件，从光源将紫外光导向光掩模以及工件(半导体晶片或者液晶基板)。这些光学部件上如果有异物以及污物附着，极易对曝光品的品质发生影响，他们的清洁度虽不及光掩模的清洁度，但是，对于这些光学部件也要在可能的限度内有保持清洁的必要。

进而，这些光学部件，是进行了精密的位置调整而被安装的，因此，在制造现场将个别的部件卸下进行清洗是极为困难的。因此，如果发生了脏污，其清洗以及再调整就需要很多的时间，或造成严重的工作效率的低下。因此，为了防止这种情况，在一部分的曝光装置中，不仅光掩模，这些光学部件上也要安装上防尘薄膜组件，在发生脏污时，将防尘薄膜更换即可。

这样的防尘薄膜组件，一般说来，是将由良好透光的硝酸纤维素，醋酸纤维素或者氟树脂等组成的透明的防尘薄膜贴附在由铝，不锈钢，工程塑料等制成的防尘薄膜组件框架的一个端面上而构成。再者，在防尘薄膜组件框架的另一端面上，设置为了安装光掩模的由环氧树脂，聚醋酸乙烯基酯树脂，丙烯酸树脂，硅树脂等组成的粘着层以及为了保护粘着层的离型层(剥离片)。

在防尘薄膜组件中，有安装在光掩模上的防尘薄膜组件和安装在其以外的光学部件的防尘薄膜组件，这两者之间在构造上没有大的不同。重要的是，在光学部件上安装的防尘薄膜组件，与频繁更换的光掩模用的防尘薄膜组件相比，要长期间使用，所以要求有更高的耐光性。再者，在光掩模用的防尘薄膜组件中，一般用粘着剂安装，光学部件用的防尘薄膜组件中为设置没有粘着性的衬垫层，用螺钉等机械固定装置安装。

例如，在专利文献1中，记载了，防尘薄膜组件框架的光掩模侧的端面上设置具有衬垫的功能的弹性体层，对其用螺钉等的缔结装置加压，得到可以保持高的密封性的防尘薄膜组件。该防尘薄膜组件，不需要光掩模粘着层，而且给光掩模造成的变形极小。进而，在这样的防尘薄膜组件中，由于从被保护面(光掩模的图案面等)到防尘薄膜面的距离(以下称离焦距离)越大异物的离焦性越高，所以离焦距离大的优选。

先行技术文献

专利文献

<专利文献1>特开2014－211591

但是，近年，为了减少在防尘薄膜组件贴附时的光掩模的变形，使用可以使防尘薄膜组件框架的高度方向的刚性变低的低离焦距离的防尘薄膜组件。再者，由于装置的空间的问题，与以往相比具有低的离焦距离的防尘薄膜组件的使用也变得多了起来，特别是，在光学部件用的防尘薄膜组件之中，有离焦距离为1mm以下之物。

这样的离焦距离低的防尘薄膜组件的场合，由于防尘薄膜组件框架的高度方向的刚性极低，处理时框架的挠曲以及扭曲变大，所以具有处理困难的问题。特别是，从防尘薄膜组件收纳容器取出时，除了防尘薄膜组件的处理困难之外，防尘薄膜组件的安装时问题也大，处理时由于防尘薄膜组件框架设计上的形状不能被保持，防尘薄膜发生褶皱以及扭曲，如原封 不动地将其进行安装，就会发生问题。

技术实现要素：

因此，本发明，就是为了解决上述的问题而成的，本发明的目的就是，提供一种即使离焦距离小，防尘薄膜组件框架的刚性低的防尘薄膜组件，也可容易地对其进行处理，从防尘薄膜组件收纳容器中安全取出，可以没有缺陷地安装于光掩模等的防尘薄膜组件以及其安装方法。

本发明的防尘薄膜组件特征还在于，在防尘薄膜组件框架的防尘薄膜接着层侧设置可装可卸的防尘薄膜组件支持装置的同时，离焦距离/外尺寸对角长的值为0.0001～0.003。

再者，本发明的防尘薄膜组件特征还在于，该防尘薄膜组件支持装置由平板状或者框状的支持体构成，该支持体通过设置的微粘着性物质，在防尘薄膜组件框架的防尘薄膜接着层侧被可装可卸设置。进而，该微粘着性物质优选在支持体的多处被分割配置，所述微粘着性物质的粘着力，在垂直方向以0.5mm/s的速度剥离的场合，为0.01～0.5N的范围。

进而，本发明的防尘薄膜组件优选，所述微粘着性物质为从硅树脂或者聚氨酯选择的凝胶状物质，在防尘薄膜组件支持装置中，优选设置在处理时使用的把持部。

本发明的安装方法特征还在于，在防尘薄膜组件被贴附于安装面光掩模之后，防尘薄膜组件框架上设置的防尘薄膜组件支持装置被卸下。

发明的效果

根据本发明，提供一种即使是离焦距离小，防尘薄膜组件框架的刚性低的防尘薄膜组件，其处理也容易，可以没有防尘薄膜组件框架的变形以及防尘薄膜的褶皱等缺陷而安装于光掩模等的防尘薄膜组件以及其安装方法。

附图说明

图1本发明的防尘薄膜组件的平面图。

图2图1的A－A截面图。

图3图1的B－B截面图。

图4图2的C部放大图。

图5本发明的矩形的防尘薄膜组件和用于该防尘薄膜组件的防尘薄膜组件支持装置分离的状态的斜视图。

图6在圆形的防尘薄膜组件施用的防尘薄膜组件支持装置的斜视图。

图7防尘薄膜组件收纳容器的斜视图。

图8图7的D－D截面图。

图9本发明的防尘薄膜组件在光掩模上安装的顺序截面示意图。

图10“外尺寸对角长”的示意图。

具体实施方式

以下，对本发明的一实施方式基于附图进行详细说明，但是本发明并不限于此。

本发明的防尘薄膜组件中，如图4表示的那样，在防尘薄膜组件10的防尘薄膜接着层12侧配置防尘薄膜组件支持装置20，两者是通过缔结装置17缔结的。图5为，矩形的防尘薄膜组件10和防尘薄膜组件支持装置20分离的状态。

本发明的防尘薄膜组件10的离焦距离(包括光掩模粘着层的高度)和外尺寸对角长的比(离焦距离/外尺寸对角长)为0.0001～0.003，在框的一个端面上，设置防尘薄膜接着层12，防尘薄膜14在其上绷紧设置。再者，在其相对的面，光掩模粘着层13被设置，其表面根据需要设置保护光掩模粘着层13的剥离片15。

在此，所谓外尺寸对角长，如图10表示的那样，为矩形的防尘薄膜组件的长边外圈和短边外圈延长线交差点间的长度。一般地，矩形的防尘薄膜组件框架中，角部的外侧有若干R面切角，此处的外尺寸对角长将该R部忽略。

在离焦距离/外尺寸对角长的值为0.0001未满的防尘薄膜组件，由于作为防尘薄膜组件10，其形状维持困难，所以其采用困难。再者，超过0.003，由于具有一定的刚性，处理时的问题少，所以适用本发明的好处不多。

因此，本发明被施用的“刚性低的防尘薄膜组件”，虽然与受材质有关，但是材质为铝合金的场合，离焦距离/外尺寸对角长低于0.003的尺 寸的防尘薄膜组件为优选。

另一方面，防尘薄膜组件10的离焦距离，由使用的曝光装置侧的要求事项来进行决定，例如，长边为150mm左右的边长的短的半导体用防尘薄膜组件中，离焦距离为0.5mm以下的场合，处理时问题易于发生。再者，长边为900～1700mm的液晶中使用的大型的防尘薄膜组件中，即使离焦距离为7mm的场合，处理时也难说具有充分的刚性，低于6mm，处理困难的问题发生。稍微小型的长边为400～800mm程度的液晶用的防尘薄膜组件，如果离焦距离为2.5mm以下，处理时问题易于发生。因此，本发明施用的“离焦距离小的防尘薄膜组件”为，虽然根据防尘薄膜组件10的边长不同而不同，但是优选离焦距离的具体的的数值为0.2～6mm程度的防尘薄膜组件。

防尘薄膜组件框架11的形状，在图1～图4的实施方式中为矩形，但是，角部有斜边的八角形以及圆形等他的形状也可，没有特别的限定。圆形的防尘薄膜组件10的场合，上述的外尺寸对角长相当于外尺寸直径。

防尘薄膜组件框架11的材质为，铝合金，镁合金等的轻合金，不锈钢，碳素钢等铁系合金，还具有GFRP，CFRP等的纤维强化塑料。特别是，以使用不锈钢等的刚性高，耐腐蚀性也好的金属为优选，优选用激光切断，切削加工等的加工方法制作为好。纤维强化塑料的场合，在膜张力方向的刚性确保的点来看，为优选，但是，本发明的那样的离焦距离小的防尘薄膜组件中，由于刚性具有各向异性，易于产生扭曲，其处理有些困难。

防尘薄膜组件框架11任何一个材质，优选在其表面实施防锈，发尘防止以及耐光性的材料进行涂装，电镀，阳极氧化处理等的表面处理。再者，使用时，为了对曝光光的反射进行防止，使附着异物的观察容易，黑色为特别优选。

防尘薄膜接着层12为，使用硅树脂，氟系树脂，丙烯酸系树脂等的公知的接着剂，用空气加压式分布器等的涂布装置在防尘薄膜组件框架11上平滑涂布而形成。

防尘薄膜14，依据使用的曝光机的光源波长，选择氟系树脂，纤维素系树脂等组成的膜材料，用旋涂法，模涂布法等，在平滑基板上成膜，干燥后从基板上剥离而得到。再者，根据需要设置反射防止层也可。曝光 机内的光学部件用的防尘薄膜组件的场合，为了使更换频度变低，使用耐光性优良的氟系树脂为特别优选。

防尘薄膜14的膜厚，对透过率，膜强度进行考虑，综合判断来设定为好，但是厚度以0.2～10μm的范围为好。进而，防尘薄膜14，为了不产生褶皱以及松弛，另外为了不使防尘薄膜组件框架11过度的挠曲，加以适当的张力，与防尘薄膜组件框架11上的防尘薄膜接着层12接着为优选。

光掩模粘着层13，可以使用橡胶系粘着剂，硅系粘着剂，丙烯酸系粘着剂，热溶性粘着剂等的公知的材料。再者，根据需要，其表面进行平坦化处理为好。进而，其表面根据需要安装保护光掩模粘着层13剥离片15，但是，该剥离片15为，在厚度0.05～0.3mm程度的PET等组成的薄膜的一个面上进行离型剂涂布，使其与光掩模粘着层13的外形相合而切断，使用。

光掩模用的防尘薄膜组件10的场合，一般说来，用光掩模粘着层13，将防尘薄膜组件10粘着在光掩模91而安装，但是，近年，代替光掩模粘着层13，设置实质上没有粘着性的弹性体组成的衬垫层，用夹子以及螺栓等的机械的装置来进行安装的方法也出现了，本发明使用这种方法也可。

再者，曝光机内的光学部件用的防尘薄膜组件10的场合，可以在装置侧设置夹持机构，螺钉，扣环，夹子，静电力，磁力等各种各样的种类的固定装置。因此，不一定非使用具有粘着力的光掩模粘着层13不可。在装置侧设置衬垫层的场合，可以在防尘薄膜组件框架11的表面不设置任何与光掩模粘着层以及衬垫层类似之物。本发明，在这样的场合，也可采用。

以上那样的部件构成的防尘薄膜组件10可以和在防尘薄膜接着层12侧配置的平板状或者框状防尘薄膜组件支持装置20通过缔结装置17缔结成一体为好。进而，该防尘薄膜组件10，在安装之前，与防尘薄膜组件支持装置20一体运用、搬运，在防尘薄膜组件10向被保护面安装之后，将缔结装置17的缔结解除，防尘薄膜组件支持装置20卸下。

这样的防尘薄膜组件支持装置20为，如图5表示的那样，框状形的支持体16和防尘薄膜组件10缔结的缔结装置17，由处理时使用的把持部18构成。支持体16为，虽然在该实施方式中为框状，但是只要注 意其不与防尘薄膜14接触，平板状也可，进行了补强了的框形状也可。再者，防尘薄膜组件支持装置的外形为，与尘薄膜组件10的外形大略一致为佳，例如，图6，表示了圆形的防尘薄膜组件10中用的防尘薄膜组件支持装置60，圆形的支持体61上，设置了缔结装置62和把持部63。

作为支持体16的材质，以铝合金等的轻量，高刚性的金属为优选，使用管材等的中空构造也优选。但是，使用管材的场合，为了防止发尘，有必要进行开口部堵塞处理。

在此，支持体16的防尘薄膜组件缔结侧的平面度为，虽然与其大小有关，但是为了防止缔结的防尘薄膜组件发生扭曲等而造成安装不良，优选至少为0.5mm，最佳为0.2mm以下。

把持部18，是用于防尘薄膜组件的处理，所以优选用具有适当的强度的金属以及工程塑料制作，由此可以直接用手，或者夹具等对其进行把持处理。

将防尘薄膜组件10和防尘薄膜组件支持装置20缔结的缔结装置17，由微粘着性物质构成，如图5以及图6表示的那样，在防尘薄膜组件支持装置20上多处分割配置。关于配置以及个数，只要在防尘薄膜组件10的框架的是否变形以及膜的褶皱等是否发生，以及安定固定与否来决定，但是在矩形的防尘薄膜组件10的场合，至少包括四个角部是必要的。

再者，在多处配置的缔结装置17的粘着力为，在垂直方向以0.5mm/s的速度剥离场合0.01～0.5N的范围为优选。0.01N未满，固定力过小不能安定的保持，超过0.5N粘着力太强，从防尘薄膜组件10上将防尘薄膜组件支持装置20卸下会变得困难。

作为缔结装置17的这样的微粘着性物质，可以从硅树脂或者聚氨酯选择的凝胶状物质为好，可以从板状成形物切出加工，或向所希望的形状模型注射成形。使用的凝胶状物质，以对表面的粘着力加以考虑选择为好，并且硬度也有加以考虑的必要。最合适的硬度，虽然与使用的厚度有关，但是作为选择的素材本身的目标，以ASKER-C硬度计50以下好。超过50，防尘薄膜组件10安装后，防尘薄膜组件支持装置20会变得难以倾斜，缔结装置17的剥离困难。但是，如果过于柔软的场合，形状不安 定，操作困难，针入度以超过90为好。

该缔结装置17，可以在支持体16的一个面上安装，仅由微粘着性物质构成也可，选择的硬度，会由于尺寸变得过于柔软，有形状不能保持一定的危险。因此，缔结装置17的构成，用树脂以及金属等的空间剂，仅在其上部用微粘着性物质构成为特别优选。该场合，微粘着性物质的厚度为，以在先端为1～5mm为优选。

再者，缔结装置17，在图1～6的实施方式中为圆柱状，圆形截面，但是椭圆以及矩形等其他的截面形状也可以。缔结装置17和防尘薄膜组件10的接触形状，可以为平面，但是，如为稍微有一点凸的曲面形状，支持装置20的卸下容易，优选。缔结装置17的大小以及形状，和防尘薄膜组件的接触面积，可以考虑缔结防尘薄膜组件10的粘着力来决定，但是，从防止与防尘薄膜14的接触的观点来看，其接触宽，以为薄膜接着层宽的70％以下为好。

进而，缔结装置17，在防尘薄膜组件框架11为碳钢以及铁系不锈钢等的磁性材料的场合，可以考虑用磁石构成。防尘薄膜组件框架11，在除了全体都为磁性材料制作之外，将磁性体埋入，表面接着以及涂布等具有同等的功能的方法也可，在这些场合，缔结装置的磁力，可以选择对防尘薄膜组件的支持，固定没有问题的范围即可。重要的是，在磁力的场合，即使如何调整，缔结时，要使其慢慢地固定也是很难的，再者相反，卸下瞬间，需要大的力，顺利操作变得困难，所示有必要考虑不使用永久磁石，使用电磁力，或用机械的操作，即使磁力衰减的装置的追加是必要的。

如本发明的离焦距离的小的防尘薄膜组件10，刚性极低，没有安定性，将防尘薄膜组件支持装置20根据需要进行频繁装卸是困难的。因此，优选在防尘薄膜组件10的制作的阶段，要将防尘薄膜组件10和防尘薄膜组件支持装置20缔结，直至在客户使用防尘薄膜组件10的眼前，要进行一体运用、搬运。因此，从该观点来看，防尘薄膜组件10和防尘薄膜组件支持装置20优选通过缔结装置17以缔结的状态在防尘薄膜组件收纳容器70中收纳，保管以及搬运。

图7以及图8为，收纳本发明的防尘薄膜组件10的防尘薄膜组件收纳容器70的图。图7为，全体的斜视图，图8为，图7中的D－D线的截面图。防尘薄膜组件收纳容器70，由防尘薄膜组件收纳容器本体71 和盖体72构成，在防尘薄膜组件收纳容器本体71中，将与防尘薄膜组件支持装置20缔结的防尘薄膜组件10载置，在周缘部嵌合密闭。优选该周缘部，用粘着带(未图示)等密闭，或用夹子以及扣环(未图示)等来固定，以不使盖体72从防尘薄膜组件收纳容器本体71滑落。

防尘薄膜组件收纳容器本体71以及盖体72的材质为，使用厚度2～8mm的PMMA，PAN，ABS，PC，PVC等的树脂，用注塑成型或者真空成形等的加工方法进行制作为好。防尘薄膜组件的边长为超过1500mm那样的特别大型的防尘薄膜组件，为了确保刚性，收纳防尘薄膜组件收纳容器本体71可以用铝合金，镁合金，不锈钢等的金属。再者，作为其他的提高刚性的装置，可以将板状或者棒状的补强装置安装在外面。

再者，防尘薄膜组件收纳容器70，从易于观察附着异物的观点，黑色为优选，盖体72，为了对其内部进行确认，优选透明。进而，可以通过材料的选择或者表面的涂布，来确保导电性以及难燃性为优选。

防尘薄膜组件支持装置20的把持部18，可以搭载在防尘薄膜组件收纳容器本体71上设置的固定部73上。再者，优选在该固定部73上设置和把持部18嵌合的沟以及凹陷等，使防尘薄膜组件支持装置20不进行水平方向移动，进而把持部18的上端在盖体72的内侧被规制。支持防尘薄膜组件10以及防尘薄膜组件支持装置20的高度，为了不对防尘薄膜组件10加过大的负荷，下面以与防尘薄膜组件收纳容器本体71的表面相接触程度为优选。

再者，固定部73，为了防止划擦发尘，以用PA，POM，PE，PEEK等的工程树脂以及聚氨酯系，硅系，氟系，烯烃系等的弹性体构成，另外，如使其具有带电防止性，也良好。进而，该固定部73为，可以用切削加工以及射出成型，注塑成形等的公知的方法制作，用螺栓等(未图示)将其固定在防尘薄膜组件收纳容器本体71上。

防尘薄膜组件10，如此，通过防尘薄膜组件支持装置20，间接地在防尘薄膜组件收纳容器70内被固定，防尘薄膜组件收纳容器70的运输中不发生移动，变形等的破损以及异物的附着就被防止。

然后，图9(a)，(b)，(c)，(d)为，将本发明的防尘薄膜组件10安装在被安装面的光掩模91的方法(顺序)的截面示意图。

首先，将防尘薄膜组件收纳容器70的盖体72打开之后，把持把持 部18，使防尘薄膜组件支持装置20和缔结装置17通过缔结的防尘薄膜组件10取出(未图示)的同时，经过检查等的所定的工程之后，将防尘薄膜组件10的剥离片15剥离，准备。进而，图9(a)中，将准备的防尘薄膜组件10和防尘薄膜组件支持装置20搬送，对光掩模91进行位置调整，与所定的安装位置相合。

然后，图9(b)中，原封不动地使防尘薄膜组件10和光掩模91接近，使光掩模粘着层13接触。该操作，可以用简单的夹具手工进行，但是优选使用把持防尘薄膜组件支持装置20使其移动的搬送装置(未图示)。另外，该阶段中，光掩模粘着层13为轻轻接触的状态，虽然接着，但是没有得到完全的接着力。

再者，图9(c)中，进行将防尘薄膜组件支持装置20从防尘薄膜组件10卸下(剥离)操作。随着将防尘薄膜组件支持装置20从防尘薄膜组件10斜向剥离的操作，从在支持体16上多个配置的微粘着性的缔结装置17的表面，依次将防尘薄膜组件10的剥离，在所有的地方的剥离终了后，防尘薄膜组件支持装置20被从防尘薄膜组件10卸下。

进而，最后，图9(d)中，在快速将防尘薄膜组件支持装置20卸下的同时，用另外设置的加压装置(未图示)，对卸下防尘薄膜组件支持装置20的防尘薄膜组件10施加所定的负荷，通过光掩模粘着层13将防尘薄膜组件10完全安装在光掩模91上。

另外，该操作，采用与夹子等与光掩模粘着层不同的固定装置的防尘薄膜组件的场合以及，即使防尘薄膜组件的安装对象不是光掩模而是曝光机的光学部件也可同样实施。在使所定的防尘薄膜组件固定装置动作使防尘薄膜组件固定，将防尘薄膜组件支持装置20斜向剥离卸下的点上没有任何的不同。再者，图9的实施方式中，从操作性和异物附着减低的观点，将光掩模91倾斜配置，可在在该倾斜状态下实施各操作，但是，用水平以及垂直等的另外的配置状态实施也可。

实施例

以下，对本发明的实施例进行详细说明。该实施例中，首先，制作如图1～图5那样的防尘薄膜组件10以及防尘薄膜组件支持装置20，对其制作顺序进行说明，所有的操作为都在10级无尘室内中进行。

防尘薄膜组件框架11为，将SUS 304不锈钢用激光切断和机械 切削加工而成的，外尺寸756x913mm，内寸740x901mm，角部内侧R 2mm，角部外侧R 6mm，高度1.8mm。再者，防尘薄膜组件框架11的各长边中，直径0.4mm的通气孔(未图示)分别设置8个。进而，棱部为C 0.2mm程度的切角(未图示)，全面进行Ra 0.5程度喷砂之后，进行黑色镍电镀。

然后，将该防尘薄膜组件框架11用界面活性剂和纯水良好洗净干燥之后，在框的一个端面上设置光掩模粘着层13，即将硅粘着剂(商品名；KR3700，信越化学工业(株)制)用在3轴直交机器人上搭载的空气加压式分布器涂布。此时的光掩模粘着层的厚度为1.2mm，烘箱中130℃加热完全硬化。再者，光掩模粘着层13的表面上，贴附剥离片15，该剥离片是在厚度125μm的PET薄膜的一个面上进行离型剂涂布，以与防尘薄膜组件框架11的外形大略一致的形状切断制作的。

另外，该防尘薄膜组件框架11，其垂直方向的刚性极低，不能处理，由此这些的操作，是在防尘薄膜组件框架11被载置在铝制的平板(未图示)上的状态下进行的。

光掩模粘着层13形成之后，将所述防尘薄膜组件框架11上下反转，与上述同样，光掩模粘着层13的相反的面上设置防尘薄膜接着层12，即将硅粘着剂(商品名；KR3700，信越化学工业(株)制)涂布至厚度50μm，烘箱130℃加热，使其完全硬化。再者，PTFE多孔质膜组成的过滤器用丙烯酸粘着片接着(未图示)，长边的通气孔被覆盖。

防尘薄膜14，其材料为氟系树脂(商品名；CYTOP，旭硝子(株)制)。进而，首先，在850x1200x厚度10mm的合成石英组成的成膜基板上用型涂法成膜，溶媒干燥之后，在与基板外形同尺寸的暂用框上接着，从成膜基板剥离，得到厚度4.5μm的剥离膜。其后，该剥离膜在防尘薄膜组件框架11上的防尘薄膜接着层12上接着，成为防尘薄膜14，将防尘薄膜组件框架11外侧的剩余膜用刀切断除去，防尘薄膜组件10的制作完成。

以以上的制作顺序完成的防尘薄膜组件10，其光掩模粘着层13的厚度为1.2mm，与防尘薄膜组件框架11的高度1.8mm加在一起的高度，即离焦距离为，3.0mm。进而，所述防尘薄膜组件框架11的外尺寸对角长为1185.37mm，离焦距离和外尺寸对角长的比(离 焦距离/外尺寸对角长)为0.0025。

然后，对防尘薄膜组件支持装置20的制作顺序进行说明，首先，防尘薄膜组件支持装置20的构成支持体16为，将A6063铝合金的20x20mm的方形管用焊接制成外尺寸780x940mm的框状物，其一面用机械切削得到平面度0.2mm。在该面安装18个缔结装置17，四个角部附近，用带电防止POM制作的把持部18用螺栓(未图示)安装。

再者，缔结装置17为，作为其材料使用2液混合的硅凝胶(商品名；KE1051，信越化学工业(株)制)注射成形之物，圆筒形的SUS304制的基底(未图示)上注射成形，硬化。此时的缔结装置17和防尘薄膜组件10的接触面的直径，约4mm。然后，将该缔结装置17通过在SUS304制的基底部分设置的内螺纹，用螺栓(未图示)安装在支持体16上。

进而，将以以上的顺序制作的防尘薄膜组件支持装置20对载置在平板上防尘薄膜组件10的位置进行调整，向防尘薄膜组件10的防尘薄膜接着层12以及接着的防尘薄膜14押附，用缔结装置17的粘着力将防尘薄膜组件支持装置20接着于防尘薄膜组件10。此时的缔结装置17的粘着力为，事前用速度0.5mm/s剥离时确认的值的0.15N/处。

最后，将与防尘薄膜组件10一体化的防尘薄膜组件支持装置20以各种各样的姿态搬运，对外观，异物，膜的透过率等进行检查，得知，防尘薄膜组件框架11的变形以及防尘薄膜14的褶皱等的缺陷没有发生，再者，从缔结装置17脱落的部分也没有发现，可以安定地进行防尘薄膜组件10的处理。

然后，为了收纳本发明的防尘薄膜组件10，图7以及图8所示的那样，准备防尘薄膜组件收纳容器70。其为用厚度5mm的带电防止ABS树脂板，真空成形制作之物。该防尘薄膜组件收纳容器本体71上，防尘薄膜组件支持装置20的把持部18嵌合的带电防止PE制的固定部73用螺栓(未图示)安装，将该防尘薄膜组件收纳容器70用界面活性剂和纯水良好洗净，完全干燥。

在防尘薄膜组件收纳容器70中，将防尘薄膜组件10和防尘薄膜组 件支持装置20收纳。防尘薄膜组件支持装置20的把持部18被收纳在固定部73的沟中之后，处理时接触的地方，用纯水浸润的PVA制擦布进行清洗。进而，将盖体72盖上，周缘部用PVC制粘着带密封，最后，在盖体72的内面收纳的把持部18的上面接触按压，确认防尘薄膜组件支持装置20以及防尘薄膜组件10被固定。

进而，为了对其捆包形态进行评价，将防尘薄膜组件10，防尘薄膜组件收纳容器支持装置20收纳的防尘薄膜组件收纳容器70装在缓冲材料瓦楞纸箱中，约1000km用卡车运输，再一次搬运至无尘室内，对内部进行确认，得知防尘薄膜组件收纳容器70内的防尘薄膜组件10与防尘薄膜组件支持装置20处于结实地缔结的状态，防尘薄膜组件框架11的变形以及防尘薄膜14的褶皱等的缺陷没有被发现。再者，固定部73和支持装置18的划擦产生的发尘也没有发现。

然后，按照图9(a)～(d)所示的顺序，对本发明的防尘薄膜组件10的贴附状态(安装状态)进行评价。首先，如图9(a)表示的那样，准备800x950x厚度10mm的石英玻璃组成的清洁的光掩模91，将其在台子(未图示)上以从垂直算起10°的倾斜状态载置。进而，防尘薄膜组件支持装置20，在使缔结的防尘薄膜组件10向光掩模91接近的同时，边进行位置调整边以同样的状态接近，使其处于所定的贴附位置，如图9(b)表示的那样，使防尘薄膜组件10的光掩模粘着层13与光掩模91接触。另外，光掩模粘着层13保护的剥离片15已经事前剥离。

然后，如图9(c)表示的那样，防尘薄膜组件支持装置20被慢慢地倾斜移动，使缔结装置17从防尘薄膜组件10依次剥离，将防尘薄膜组件支持装置20卸下。图9(d)为，防尘薄膜组件支持装置20卸下之后的防尘薄膜组件10的状态。

进而，最后，将在光掩模91上暂时接着的防尘薄膜组件10用加压装置(未图示)以加压力120kgf加压，使光掩模粘着层13以与光掩模91呈完全接着的状态，对防尘薄膜组件10进行良好观察，得知防尘薄膜组件框架11，在无变形地贴附的同时，防尘薄膜14也没有发现褶皱以及松弛，被正常地安装。

比较例

比较例中，将离焦距离小，防尘薄膜组件框架的刚性低的与实施例相同的防尘薄膜组件用相同的工序制作，比较例的防尘薄膜组件，与实施例的防尘薄膜组件10相比，在防尘薄膜组件框架上防尘薄膜组件支持装置没有设置的点上不同。

再者，比较例中，该防尘薄膜组件框架也在其垂直方向的刚性低，由于不能处理，将防尘薄膜组件框架在铝制的平板上载置的方式原封不动地进行防尘薄膜组件的制作。进而，该作制的防尘薄膜组件，以该状态用集光灯向膜面照射，进行外观以及异物的检查，没有看到特别的异常。

然后，为了将该防尘薄膜组件收纳于与实施例相同的防尘薄膜组件收纳容器70，操作者2名将防尘薄膜组件费力的抬起了，但是马上就出现了防尘薄膜组件框架扭曲，防尘薄膜发生了褶皱。因此，虽然想对光掩模的直接贴附进行评价，但是，由于该防尘薄膜组件在处理的阶段发生了防尘薄膜组件框架的扭曲，以及防尘薄膜出现了褶皱，没有能进行贴附操作。

符号的说明

10 防尘薄膜组件

11 防尘薄膜组件框架

12 防尘薄膜接着层

13 光掩模粘着层

14 防尘薄膜

15 剥离片

16 支持体

17 缔结装置

18 把持部

20 防尘薄膜组件支持装置

60 防尘薄膜组件支持装置(圆形)

61 支持体(圆形)

62 缔结装置

70 防尘薄膜组件收纳容器

71 防尘薄膜组件收纳容器本体

72 盖体

73 固定部

91 光掩模。