一种基于垂直耦合原理的硅基槽波导起偏器的制作方法

文档序号:14686251发布日期:2018-06-15 00:09阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种基于垂直耦合原理的硅基槽波导起偏器,其特征在于,包括由两根平行设置在衬底(3)上的硅基纳米线构成的槽波导(1)和上层条形波导(2);所述槽波导(1)沿长度方向分为信号输入段、中间传输段和信号输出段,上层条形波导(2)设置在中间传输段的正上方,与槽波导(1)之间的高度间距为D;上层条形波导(2)的宽度大于槽波导(1)的宽度;上层条形波导(2)与中间传输段形成垂直耦合区;

包含横磁模和横电模的输入信号从所述槽波导(1)的信号输入段输入,在进入垂直耦合区后,输入的横磁模信号被耦合至上层条形波导(2)并在上层条形波导(2)的输出端因上层条形波导(2)与槽波导(1)的信号输出段之间的光场衍射而损耗;输入的横电模信号直接在槽波导(1)中传输并在信号输出段输出。

2.根据权利要求1所述的一种基于垂直耦合原理的硅基槽波导起偏器,其特征在于,所述上层条形波导(2)为矩形波导,其长度为3μm~4μm,宽度为1μm~1.2μm,厚度为200nm;所述槽波导(1)宽度为500nm~550nm,厚度为250nm,中间微槽的宽度为70nm~100nm;上层条形波导(2)与槽波导(1)之间的高度间距D为250nm~280nm。

3.根据权利要求1所述的一种基于垂直耦合原理的硅基槽波导起偏器,其特征在于,所述上层条形波导(2)沿长度方向均分为两段,其中,靠近槽波导(1)信号输入段的一段为矩形波导,另一段为等腰梯形波导;等腰梯形波导的两个平行边中,较短的一边与矩形波导相连且该边长度与矩形波导宽度相等。

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