利用长弧紫外线灯的倾斜曝光及硬化装置中使用的光学部件的制作方法

本发明涉及利用长弧紫外线灯的倾斜曝光及硬化装置中使用的光学部件，更详细而言，涉及一种根据灯外壳的倾斜角度，对作为光学部件的滤光镜及滤光镜夹的相互对接的端部进行斜切加工，构成得进行面接触，使透过的光的损失及特性变化实现最小化，使得能够实现光的精密控制的利用长弧紫外线灯的倾斜曝光及硬化装置中使用的光学部件

背景技术：

现代堪称图像化、信息化社会，随着信息处理系统的发展，正在开发能够显示大量信息的大面积用显示元件。而且，最近随着消费者的要求转变为既少占用安装空间又能够提供大型画面的显示元件，正在开发能够满足如上所述要求的有机EL(electro luminescent)、LCD(liquid crystal display)及PDP(plasma display panel)等平板显示装置(flat panel display)制品并进行商用化。

如上所述的大面积平板显示元件为了形成图案而需要利用了光掩模的大面积曝光装置，具体而言，利用基于点光源(short arc)超高压水银灯的椭圆聚光镜和蝇眼透镜(fly-eyelens)及聚光透镜(condenser lens)等，向平板显示装置的前面玻璃，按约90％以上的照度照射紫外线(特别是365nm的i线)，实施曝光作业。

但是，如上所述的以往曝光装置不仅需要高费用的维持费，而且，由于超高压水银灯(点光源)寿命短，需要大量更换费用，另外，由于所述超高压水银灯昂贵，在降低生产成本方面存在局限。另外，以往的硬化装置由于未安装另外的冷却装置，因而在曝光作业或硬化作业时，由于从灯发散的高温，存在大面积平板显示装置的表面变形的问题。

另一方面，近来，在诸如替代CRT的LCD或PDP等的大面积 平板显示装置的曝光或硬化作业时，开发并使用利用长弧紫外线灯的曝光装置，其利用价格比点光源低廉的长弧紫外线灯体现照度的均一性，能够降低生产成本并提高生产率。

所述长弧紫外线灯不需要蝇眼透镜和聚光透镜及各种反射镜(球面镜、平面镜)，可以以比短弧灯(short arc lamp)低廉的价格使用灯，另外，由于不使用所述的构成品，因而具有能够降低生产成本、提高生产率的优点。不仅如此，以往曝光装置中应用的短弧灯的寿命一般为500～1000小时，但本发明中使用的长弧紫外线灯，可以使用800～2000小时左右，因而具有能够节省更换费用的效果。

另一方面，就这种长弧紫外线灯而言，当利用一个长弧紫外线灯对大面积一面基准(1500mm以上)的平板显示装置制品进行曝光作业时，随着平板显示装置的前面玻璃大小(size)的增大，紫外线灯的长度也应加长，紫外线灯的长度能制作至1500mm以上(3000mm水平)，但制作上困难，而且，存在紫外线灯的处置(运输及更换)困难的问题，另外，随着紫外线灯的长度的加长，容易发生弯曲问题，在提高照度的均一性方面存在更困难的问题。

因此，为了对大面积的平板显示装置制品进行曝光作业，把长弧紫外线灯沿长度方向配置两个以上，与安装1个曝光装置的情形相比，可以应用具有照度均一性(Uniformity)及特定区域波长的光学部件，用于对大面积制品进行曝光及硬化。

但是，当如上所述把两个长弧紫外线灯沿长度方向配置时，各长弧紫外线灯存在其两侧端部的光源强度比中央部下降的问题，因此，如果把两个长弧紫外线灯沿长度方向配置，则由于两个长弧紫外线灯的重叠部分的光源强度弱，存在无法体现均一照度的缺点。

【现有技术文献】

【文献】

文献1:注册实用新型公报第20-0245077号(曝光装置)

文献2:公开专利公报第2001-0055188号(曝光机用照明光学装置)

文献3:注册专利公报第10-0360450号(竖直型曝光装置的掩模排列装置)

文献4:公开专利公报第10-2005-0061231号(利用远心成像光学系的数字曝光装置)

文献5:公开专利公报第10-2006-0122505号(曝光装置)

技术实现要素：

发明要解决的技术问题

因此，旨在解决如上所述问题的本发明的目的在于提供一种利用长弧紫外线灯的倾斜曝光及硬化装置中使用的光学部件，根据灯外壳的倾斜角度，对作为光学部件的滤光镜及滤光镜夹的相互对接的端部进行斜切加工，构成得实现面接触，能够使透过的光的损失及特性变化实现最小化，使得实现光的精密控制。

解决问题的技术方案

旨在达成所述目的的本发明的特征在于，包括：灯外壳，其从两侧下端越向中央部越向上倾斜地形成，使得整体上具有“∧”剖面形态；第1、2长弧紫外线灯，其分别安装于所述灯外壳的内部空间两侧，根据所述灯外壳的倾斜角度，相互倾斜地配置并照射光源；第1、2滤光镜，其位于所述第1、2长弧紫外线灯下方，使得构成与所述第1、2长弧紫外线灯平行的角度，并使所述第1、2长弧紫外线灯照射的光源透过；所述第1、2滤光镜的端部进行斜切加工，构成得以相互进行面接触的状态对接。

优选所述第1、2滤光镜安装于能从所述灯外壳内部引出到外部地插入的第1、2滤光镜夹；所述第1、2滤光镜夹的端部进行斜切加工，构成得以相互进行面接触的状态对接。

发明的效果

本发明为了照度的均一性，根据中央部高度制作得较高的灯外壳的倾斜角度，对作为安装于所述灯外壳的光学部件的滤光镜及滤光镜夹的相互对接的端部进行斜切加，使得构成得其端部实现相 互面接触，从而使透过的光的损失及特性变化实现最小化，具有能够实现光的精密控制的作用效果。而且，向两侧相连的部分，除光学部件之外，当对器具部件也应用相同结构时，能够有效应用于切断漏光及加装结构。

附图说明

图1是图示本发明优选实施例的利用长弧紫外线灯的倾斜曝光及硬化装置的整体构成的图。

图2是截取图1的装置中使用的光学部件并图示的图。

图3是图2的立体图。

图4是图示以往光学部件的对接状态的图。

符号说明

10:灯外壳20,22:第1、2长弧紫外线灯

30,32:第1、2滤光镜40,42:第1、2滤光镜夹

30a,32a,40a,42a:端部

具体实施方式

下面参照附图，说明本发明的实施例。在后述的详细说明中，为了实现所述的技术课题，提示了本发明的代表性的实施例。而且，作为本发明而可以提示的其它实施例，在本发明的构成中替代说明。

本发明不是使用一个安装了长弧紫外线灯的曝光装置，而是沿紫外线灯的长度方向安装两个以上，执行曝光作业，那么，与安装1个曝光装置相比，具有能够进一步提高照度均一性的优点。

即，当利用一个长弧紫外线灯，对大面积一面基准(1500mm以上)的平板显示装置制品进行曝光作业时，随着平板显示装置的前面玻璃大小(size)的增大，紫外线灯的长度也应加长，紫外线灯的长度可制作至1500mm以上(3000mm水平)，但制作上困难，而 且，存在紫外线灯的处置(运输及更换)困难的问题，另外，随着紫外线灯长度的加长，容易发生弯曲问题，在提高照度均一性方面存在更困难的问题，因此，如本发明所示，把两个曝光装置沿紫外线灯的长度方向配置并使用，从而能够解决如上所述的问题。

此时，使沿长弧紫外线灯的长度方向串联配置的灯外壳的中央部分位于稍高处，具体而言，当以所述灯外壳的左/右侧面下端为基准面时，使灯外壳位于约30°以下，能够体现可以使因灯外壳间串联而重叠的部分的照度均一性提高的利用长弧紫外线灯的曝光装置。

特别是本发明要体现一种利用长弧紫外线灯的倾斜曝光及硬化装置中使用的光学部件，为了长弧紫外线灯发散的照度的均一性，对加装于灯外壳的作为光学部件的滤光镜及滤光镜夹的端部进行斜切加工，构成得在把所述滤光镜及滤光镜夹与相向的相反侧滤光镜及滤光镜夹对接时实现面接触，能够使光的损失及特性变化实现最小化，实现光的精密控制。

下面根据本发明的优选实施例进行详细说明，所述本发明并非限定于实施例。

{实施例1}

附图图1是图示本发明优选实施例的利用长弧紫外线灯的倾斜曝光及硬化装置的整体构成的图，图2是截取图1的装置中使用的光学部件并图示的图，图3是图2的立体图。

如图1至图3所示，本发明的曝光装置作为对大面积的平板显示装置的前面玻璃(200)执行曝光工序的装置，为了提高照度的均一性，把两个第1、2长弧紫外线灯(20,22)在灯外壳(10)两侧沿长度方向分别排列安装构成。

即，本发明可以把两个第1、2长弧紫外线灯(20,22)安装于灯外壳(10)的左、右两侧，执行大面积的平板显示装置(一面基准1500mm以上)的曝光作业。

所述曝光装置(100)包括灯外壳(10)、第1、2长弧紫外线灯(20,22)、第1、2滤光镜(30,32)、第1、2滤光镜构件(40,42)及移送轴 (50)构成。

所述灯外壳(10)构成所述曝光装置(100)的外形，在内部形成有能够安装第1、2长弧紫外线灯(20,22)、第1、2滤光镜(30,32)、第1、2滤光镜夹(40,42)的空间(12)。

优选所述灯外壳(10)使中央部(10c)位于稍高处，使得整体上构成“∧”剖面形态，具体而言，当以所述灯外壳(10)的左/右侧面(10a,10b)下端为基准面时，所述灯外壳(10)的中央部(10c)较高地形成，使得为30°以下，这是为了可以使第1、2长弧紫外线灯(10,12)间因串联而重叠的部分的照度均一性提高。

即，从左、右侧面(10a,10b)下端越向中央部(10c)越向上倾斜(R)地配置构成所述灯外壳(10)，从而在所述灯外壳(10)的内部空间(12)两侧分别安装的第1、2长弧紫外线灯(10,12)也并非相互串联配置，而是只能根据所述灯外壳(10)的倾斜(R)角度，相互倾斜地配置，由此，能够消除因在第1、2长弧紫外线灯(10,12)也相互串联配置时发生的第1、2长弧紫外线灯(10,12)间的距离差异而导致的照度的不均一性(即，在第1、2长弧紫外线灯之间，与其距离差异相应，光源相对减弱的问题)。

在所述灯外壳(10)的上端，安装有至少一个以上的移送轴(50)。所述移送轴(50)发挥使所述灯外壳(10)向左/右方向移动的作用，随着这种动作，能够减小灯外壳(10)间存在的照度差异，另外，能够克服照度均一性比点光源下降的问题。此时，所述移送轴(50)的详细构成应用通常的传动装置即可，例如，使用由电动机、齿轮、皮带等构成的通常的驱动装置。

优选所述第1、2长弧紫外线灯(20,22)按能够覆盖(cover)平板显示装置的前面玻璃(以下简称“前面玻璃”)(200)的个数安装，根据所述第1、2长弧紫外线灯(20,22)的个数，灯外壳(10)与第1、2滤光镜(30,32)等也按相同个数安装。

所述第1、2长弧紫外线灯(20,22)安装于所述灯外壳(10)的内部空间(12)，此时，所述第1、2长弧紫外线灯(20,22)通过所述灯外壳(10)具有的形状，即，通过从左、右侧面下端越向中央越向上倾斜地形成的灯外壳(10)的结构，当安装于所述灯外壳(10)的内部 空间(12)时，所述第1、2长弧紫外线灯(20,22)也并非相互串联配置，而是根据所述灯外壳(10)的倾斜(R)角度相互倾斜地配置，能够消除串联配置时因第1、2长弧紫外线灯(20,22)间的距离差异而导致的照度不均一性。

所述第1、2滤光镜(30,32)安装于可引出外部地插入于所述灯外壳(10)的内部空间(12)的第1、2滤光镜夹(40,42)，随着使所述第1、2滤光镜夹(40,42)从所述灯外壳(10)引出及引入的动作，位于已安装于所述灯外壳(10)内部的第1、2长弧紫外线灯(20,22)下方，使从所述第1、2长弧紫外线灯(20,22)发散的光源透过。此时，所述第1、2滤光镜(30,32)配置得构成与所述第1、2长弧紫外线灯(20,22)的倾斜角度平行的角度。

所述第1、2滤光镜(30,32)沿第1、2长弧紫外线灯(20,22)的长度方向不同地形成透过率，优选使第1、2长弧紫外线灯(20,22)照射的光源的透过率，以滤光镜中央部分低、越向两侧末端部分越提高透过率的方式进行涂布并制作滤光镜，以便只有紫外线区域波长可以透过，这可以使因第1、2长弧紫外线灯(20,22)的长度导致的照度差异实现最小化，提高整体的照度均一性。

即，从所述第1、2长弧紫外线灯(20,22)照射的光源由于中央最强，越向两侧越弱，因此，如果如上所述地调整滤光镜的透过率，则可以体现均一的照度。

所述第1、2滤光镜(30,32)和所述第1、2滤光镜夹(40,42)也根据所述灯外壳(10)具有的从两侧下端越向中央越向上倾斜地形成的灯外壳(10)的倾斜(R)角度，相互倾斜地配置构成，使第1、2长弧紫外线灯(20,22)照射的光源透过。

特别是本发明可以如图2所示，对根据灯外壳(10)的倾斜(R)角度而相互对接的所述第1、2滤光镜夹(40,42)及所述第1、2滤光镜(30,32)的各端部(30a,32a,40a,42a)进行斜切加工构成，由此，在相互对接所述第1、2滤光镜(30,32)及所述第1、2滤光镜构件(40,42)的端部(30a,32a,40a,42a)时，不是线接触，而是构成面接触，可以实现光的损失及特性变化的最小化，实现光的精密控制。

即，在象以往技术一样不对第1、2滤光镜(30,32)及第1、2滤 光镜构件(40,42)的端部(30a,32a,40a,42a)进行斜切加工的状态下，当如图4所示相互对接第1、2滤光镜(30,32)及第1、2滤光镜构件(40,42)的端部((30a,32a,40a,42a)时，构成线形态的接触，因而在第1、2长弧紫外线灯(20,22)发散的光源透过第1、2滤光镜(30,32)的过程中，透过所述第1、2滤光镜(30,32)的相互对接的端部(30a,32a)的光源，其未经适当控制的波长会漏光到制品，无法实现光的精密控制，存在会诱发制品的不良的问题。

与此相反，本发明对所述第1、2滤光镜(30,32)及所述第1、2滤光镜夹(40,42)的相互对接的端部(30a,32a,40a,42a)进行斜切加工，当把所述第1、2滤光镜(30,32)与所述第1、2滤光镜构件(40,42)相互对接时，并非线接触，而是实现面接触，从而透过所述第1、2滤光镜(30,32)的相互对接的端部(30a,32a)的光源能够实现适当控制，因而能够实现光的精密控制，能够防止制品的不良于未然。