修复方法及修复装置与流程

文档序号:11132616阅读:484来源:国知局
修复方法及修复装置与制造工艺

本发明涉及一种修复方法,更详细地说,涉及一种防止修复物质过多排放或过少排放并且能够提高修复工艺的效率的修复方法。



背景技术:

最近,随着手机、笔记本电脑、PDA(Personal Digital Assistants)及大型TV等电子机器的显示需求增加,厚度薄并且轻便的平板显示装置(Flat Panel Display)技术正在急剧发展。

这种平板显示装置有液晶显示装置(LCD:Liquid Crystal Display)、有机发光显示装置(OLED:Organic Light Emitting Diode display)等,其中液晶显示装置的制造工艺大致包括基板清洗工艺、基板制造工艺、基板粘合/液晶注入工艺、执行工艺等。

在如上所述的液晶显示装置的制造工艺中,基板制造工艺分为作为上部基板的彩色滤光片基板的制造工艺与作为下部基板的薄膜传输基板的制造工艺,彩色滤光片基板的制造方法包括:在基板上形成预定图案的黑矩阵的步骤;在黑矩阵之间的基板上形成彩色滤光片(CF:Color Filter)的步骤;在基板上部形成共同电极的步骤;及在共同电极上形成取向膜的步骤。

这时,彩色滤光片使特定波长频带的光透过来显示红色(R:Red)、绿色(G:Green)、蓝色(B:Blue),但是制造工艺中可发产生针孔等不良薄膜。

另外,平板显示装置由阵列基板、对置基板、液晶层等构成。其中,对阵列基板的检查用如下的方式执行:使调制器(Modulator)在阵列基板上隔离固定距离之后,移动调制器的同时确认形成在阵列基板上的信号布线的短路与断线。

这时,存在于阵列基板上的异物与调制器接触的同时调制器表面的薄膜受损,进而可出现缺陷。据此,可出现通过薄膜的缺陷被薄膜覆盖的液晶向外部泄露的问题。

在现有的技术中,为了修复彩色滤光片或调制器的缺陷,向出现缺陷的部分排放油墨。但是若缺陷大小不同,则按照缺陷的大小调节油墨的排放量,但是需要安装缺陷的大小确定多种排放量的工艺研究,并且存在很难控制排放量达到细微大小的问题。据此,相比缺陷的大小可过多或过少的排放油墨,据此可减少修复缺陷的成功率。

(现有技术文献)

(专利文献0001)KR 2006-0001167 A



技术实现要素:

(要解决的技术问题)

本发明提供一种能够防止修复物质过多排放或过少排放的修复方法。

本发明提供一种能提高对缺陷的修复效率的修复方法。

(解决问题的手段)

本发明包括:确认薄膜上的缺陷的过程;以提前设定的去除设定值中所输入的大小,去除所述薄膜的出现所述缺陷的区域的过程;向所述被去除的部分供应修复物质的过程;及干燥或硬化所述修复物质的过程。

确认所述薄膜上的缺陷的过程包括:确认所述缺陷的位置的过程;及测量所述缺陷的面积及厚度的过程。

所述去除设定值为具有输入相互不同面积值的、多个值,其中,去除出现所述缺陷的区域的过程包括:在所述多个去除设定值中,筛选出面积值具有所述缺陷面积以上的去除设定值的过程;在筛选出的去除设定值中,选择面积值具有与所述缺陷的面积最接近的去除设定值的过程;及根据选出的去除设定值,去除出现所述缺陷的区域的过程。

所述去除设定值为具有输入相互不同深度值的、多个值,其中,去除出现所述缺陷的区域的过程包括:在所述多个去除设定值中,筛选深度值具有所述缺陷厚度以上的去除设定值的过程;在筛选出的设定值中,选择深度值具有与所述缺陷厚度最接近的去除设定值的过程;及根据选出的去除设定值,去除所述出现所述缺陷的区域的过程。

向所述被去除的部分供应修复物质的过程包括:为使所述修复物质的高度与所述薄膜表面的高度在误差范围内位于同一条线上,以提前设定的 供应设定值中所输入的量,供应修复物质的过程。

所述供应设定值为具有输入了所述修复物质的相互不同的供应量值的、多个值,其中,填充所述修复物质的过程包括:对应于输入于所述去除设定值的面积值及深度值,在所述多个供应设定值中选择一个值的过程;及根据已选择的供应设定值,向所述薄膜的被去除的部分供应修复物质的过程。

所述薄膜包括彩色滤光片,所述修复物质包括颜色相互不同的多个物质,其中,填充所述修复物质的过程包括:在多个修复物质中选择颜色与出现所述缺陷的彩色滤光片的颜色对应的修复物质的过程;及向所述彩色滤光片的被去除部分供应被选出的修复物质的过程。

所述缺陷包括针孔缺陷及凸起缺陷中的至少一种缺陷。

所述薄膜包括覆盖形成在薄膜一侧的液晶层的保护膜,其中,去除出现所述缺陷的区域的过程包括去除出现所述缺陷的区域的保护膜及液晶层的过程。供应所述修复物质的过程包括向所述保护膜及所述液晶层的被去除的部分的边缘区域供应修复物质的过程。

向所述边缘位置区域供应修复物质的过程为,对应于所述被去除的部分的周界而在多个位置供应修复物质,或沿着所述周界移动的同时供应修复物质。

向所述边缘位置区域供应修复物质的过程为,形成覆盖所述液晶层的侧壁,使所述液晶层内的液晶不泄露。

所述薄膜包括聚酰亚胺薄膜,所述缺陷包括所述聚酰亚胺薄膜的撕裂。

本发明包括:激光部,生成切割薄膜的激光束,向所述薄膜上的出现缺陷的区域照射所述激光束;修复物质供应部,向因所述激光束去除的、所述缺陷出现的区域,供应修复物质;干燥硬化部,干燥或硬化所述修复物质;及控制部,控制所述激光部的运行,根据提前设定的去除设定值去除出现所述缺陷的区域。

所述薄膜包括彩色滤光片。其中,所述修复物质供应部包括供应相互不同颜色的修复物质的一个以上的喷嘴单元,以供应颜色与出现所述缺陷的彩色滤光片的颜色对应的修复物质。所述控制部为,根据提前设定的供 应设定值向所述被去除的部分供应修复物质,控制所述修复物质供应部的运行以使所述修复物质填充于所述被去除的部分。

所述薄膜包括覆盖形成在薄膜一侧的液晶层的保护膜,所述控制部为,去除出现所述缺陷的区域的保护膜及液晶层,并控制所述激光部及所述修复物质供应部的运行,以使所述修复物质供应到所述保护膜及所述液晶层的被去除的部分的边缘位置区域。

(发明效果)

根据本发明的实施例,以提前设定的大小去除缺陷,并供应按照去除部分的大小而确定的量的修复物质(例如油墨)。据此,防止修复物质过多排放或过少排放进而提高修复作业的成功率。

并且,无需对应于各种大小的缺陷而计算待排放的修复物质的量,因此能够使修复工艺简单化并且缩短修复时间。据此,能够提高修复工艺的效率。

另外,能够精密地控制排放的修复物质的量,因此能够在被细微去除的部分中排放所需量的修复物质,并且能够防止因过多排放而浪费修复物质。

附图说明

图1是示出根据本发明实施例的修复装置结构的图面。

图2是示出根据本发明实施例的修复方法的流程图。

图3是示出根据本发明实施例的彩色滤光片修复过程的图面。

图4是示出根据本发明实施例的去除设定值的表。

图5是示出根据本发明实施例的供应设定值的表。

图6是示出根据本发明实施例的调制器修复过程的图面。

(附图标记说明)

100:激光部 110:激光生成单元

140:物镜 200:修复物质供应部

210:喷嘴单元 220:电源供应单元

300:干燥硬化部 400:控制部

具体实施方式

以下,参照附图更加详细说明本发明的实施例。但是,本发明不限于以下公开的实施例,而是能够以相互不同的形态实现。本实施例只是使本发明的公开更加完整,并且使具有通常知识的技术人员得知本发明的范围而提供的。为了详细说明本发明,可夸张示出图面,在图面上中相同符号称为相同要素。

图1是示出根据本发明实施例的修复装置结构的图面。

参照图1,根据本发明一实施例的修复装置包括:激光部100,生成切割薄膜的激光束,并且向所述薄膜上出现缺陷的区域照射激光束;修复物质供应部200,向因所述激光束去除的、出现所述缺陷的区域中供应修复物质;干燥硬化部300,干燥所述修复物质或硬化所述修复物质;及控制部400,控制所述激光部100的运行,进而根据提前设定的去除设定值去除出现所述缺陷的区域。这时薄膜可以是非导电性或绝缘膜。更详细地说,薄膜可以是彩色滤光片,缺陷可包括针孔缺陷及凸起缺陷中的至少一种。

首先,对彩色滤光片基板的结构进行简单说明,在基板上以固定图案形成多个黑矩阵(black matrix),在基板上黑矩阵之间形成红色R、绿色G及蓝色B的彩色滤光片,这时,因为异物或工艺不良(装备运行不良、材料不良等),在彩色滤光片可形成凸起或针孔的缺陷。

为了形成红色、绿色及蓝色的彩色滤光片,需要分别独立进行三次(R、G、B)的彩色滤光片形成工艺。即,在形成红色彩色滤光片之后,接着分别进行绿色彩色滤光片形成工艺及蓝色彩色滤光片形成工艺。因此,在各个彩色滤光片形成工艺产生的异物也影响到其他工艺的彩色滤光片。尤其是,采用染色法与颜料分散法时,因利用光刻胶的照片蚀刻工艺形成,因此可因光刻胶的残留物在下一工艺的彩色滤光片中产生针孔缺陷或凸起缺陷。

一般地说,去除凸起的方法采用由研磨装置研磨凸起的方法,去除针孔的方法采用在出现针孔(pin hole)的部分填入油墨的方法。但是,利用研磨装置去除凸起的情况下,不仅去除了凸起,还去除了彩色滤光片的表面中的一部分,进而可在彩色滤光片产生针孔。

另外,向针孔填充油墨的情况下,按照针孔的大小调节油墨的排放量,因此需要按照针孔的各种大小确定各种排放量的工艺研究,而在排放量控制上存在很难精密至细微的大小的问题。据此,相比于针孔的大小可过多或过少排放,进而可减少对针孔的修复成功率。因此,利用根据本发明实施例的修复装置能够对彩色滤光片的针孔缺陷及凸起缺陷中的至少一种缺陷执行修复工艺。

根据本发明实施例的修复装置包括激光部100、修复物质供应部200、干燥硬化部300及控制部400。另外,修复装置可包括凸起研磨部(未图示)。

凸起研磨部配置在激光部100的一侧,以去除在彩色滤光片出现的凸起缺陷,并且凸起研磨部起到与出现所述凸起缺陷的部分接触从而研磨凸起缺陷的部分的作用。例如,凸起研磨部可包括:测量凸起缺陷的高度的测量单元;研磨出现凸起缺陷的部分的研磨单元。据此,利用研磨部研磨与在测量单元测量出的高度相当的高度,以研磨出现凸起缺陷的部分。

激光部100起到向彩色滤光片上照射激光束来切割彩色滤光片的作用。激光部100包括:生成激光束的激光生成单元110;调节激光束大小及形状的间隙120;向彩色滤光片上照射激光束的物镜140;及拍摄彩色滤光片的摄像机130。

激光生成单元110用一个光源可同时振荡出相互不同的激光束。激光生成单元110可包括:生成激光束的激光生成器(未图示);使已生成的激光束分支来振荡出波长相互不同的激光束的激光振荡器(未图示);及开闭被分支的各个激光束的移动路径的多个衰减器(未图示)。

例如,在本实施例中,分支成红外线(IR:Infrared Ray)激光束(波长范围780nm以上)、可视光线(Visible)激光束(波长范围380~780nm)、紫外线(UV:Ultraviolet)激光束(波长范围380nm以下),可振荡出三个种类的激光。另外,可开放或关闭被分支的激光束的移动路径中的至少一个来选择激光束的波长。因此,可选择性地使用波长相互不同的激光束来切割彩色滤光片。但是,并不限定于此,激光生成单元110也可具有多种激光光源。另外,被分支的激光束的种类或所振荡出来的激光束的个数也不限定于此,而是可多样地构成。

间隙120被锁定在激光束的移动路径中,调节向物镜140移动的激光束的大小及形状。例如,间隙120配置在激光生成单元110与物镜140之间,可调节由激光生成单元110生成的激光束的大小及形态。但是间隙120的大小并不限定于此,可以多样形态构成。

摄像机130可使用CCD摄像机(Charge-Coupled Device Camera),来拍摄彩色滤光片的表面或切割彩色滤光片的过程。摄像机130通过配置在物镜140与间隙120之间的激光镜可拍摄彩色滤光片。这时。在激光镜一面使经过间隙的激光束透过,在彩色滤光片中反射的光在激光镜另一面被反射而引导向摄像机130。据此可用摄像机130监控向彩色滤光片照射的激光束。

物镜140起到压缩激光束并照射的作用。即,物镜140使激光束聚集于彩色滤光片。物镜140可由旋转型(revolver)或直线型构成,进而可选择性地使用具有相互不同的放大率的多个透镜。例如,物镜140可包括×5透镜、×10透镜、×20透镜、×50透镜。据此,根据作业选择物镜140的放大率进而可调节激光束的尺寸。但是,物镜140的放大率及能够改变的放大率的数量不限于此,而是可以多样方式构成。

另外,可在激光生成单元(未图示)与间隙120之间,或间隙120与物镜140之间,设置前进方向调节单元(未图示)。前进方向调节单元在使修复装置整体不移动的状态下可移动激光束照射于彩色滤光片的区域。例如,激光生成单元可包括反射激光束的第一扫描镜与第二扫描镜,调节第一扫描镜的倾斜度来调节在左右方向的激光束前进方向,调节第二扫描镜的倾斜度来调节在前后方向的激光束前进方向。但是不限于此,而是可用各种方法调节激光束的前进方向。

修复物质供应部200连接于激光部100的一侧,起到向彩色滤光片的被激光束切割而被去除的部分供应修复物质的作用。修复物质供应部200可包括:排放修复物质的喷嘴单元210;对喷嘴单元210供应电源,以在彩色滤光片与喷嘴单元之间形成磁场的电源供应单元220;及储存修复物质的储存单元230。这时,修复物质可以是液体状态的修复油墨,并且可具有与彩色滤光片的颜色对应的红色修复物质、绿色修复物质、蓝色修复物质及黑色修复物质。

喷嘴单元210起到向彩色滤光片的被激光束去除的部分排放修复物质的作用。喷嘴单元210的排放修复物质的部分朝向下侧配置或向下倾斜配置。相比于玻璃或塑料等金属,喷嘴单元210可由容易加工处理的材质制作,使排放修复物质的部分的面积能够按照要求的大小制作。

另外,喷嘴单元210的表面涂覆金属材质,可执行喷嘴单元210的电极的功能。据此,可使喷嘴单元210的排放修复物质的部分形成微小结构来排放微量的修复物质,并且用金属材质均匀地涂覆喷嘴单元210的表面,因此能够形成均匀的磁场。因此,可对喷嘴单元210内部的修复物质施加均匀的力,因此可精密地调节修复物质的排放量。但是喷嘴单元210的结构及材质并不限定于此,可以多样形态构成。

储存单元230内部储存修复物质,与喷嘴单元210连接起到向喷嘴单元210供应修复物质的作用。储存单元230可以是绝缘材质,或可进行绝缘处理,以使电气在喷嘴单元210在仅向基板流动。但是储存单元230的连接结构并不限定于此,而是可以多样方式进行设置。

电源供应单元220起到对喷嘴单元210供应电源进而在喷嘴单元210与基板之间形成磁场的作用。电源供应单元220与涂覆在喷嘴单元210表面的金属连接。据此,喷嘴单元210整体以基板为基准具有恒定电位,并且因喷嘴单元210与基板之间的电位差形成磁场。向喷嘴单元210供应直流电源的情况下,基板应当连接于电极,但是在交流电源的情况下,则无需使基板接地,因此能够使装置的构成简单化。

对于以油墨形态的修复物质的排放量、及是以液滴形态(droplet)排放还是连续排放,由电源供应单元220供应的电源的强度、频率、电流的量等确定。从而,控制电源供应单元220的运行,电源强度越高,则由喷嘴单元210排放的修复物质的形态从液滴形态变换为喷射形态。另外,根据频率改变每秒排放的液滴的数量,因此可调节频率来控制排放量。

另外,不仅用电源还用气压辅助调节油墨排放量的情况,在这一情况下,若使气压的强度不同,则由气压形成的弯月面(Meniscus:因毛细管现象,油墨在喷嘴末端具有鼓起的形状)形状不同,据此控制排放量。例如,若气压高,则形成大的弯月面,因此排放的体积变大,在这情况下,就算供应低电压,也可通过喷嘴单元210排放油墨。

这时,修复物质供应部200可具有供应相互不同颜色的修复物质的一个以上的喷嘴单元,以供应与出现缺陷的彩色滤光片的颜色对应的颜色的修复物质。例如,为了根据颜色个别供应修复物质,按照颜色的数量配置多个喷嘴单元,并且也可个别配置连接于各个喷嘴单元的储存单元与电源供应单元。

在本发明的实施例中,可具有供应红色修复物质的喷嘴单元、供应绿色修复物质的喷嘴单元、供应蓝色修复物质的喷嘴单元及供应黑色修复物质的喷嘴单元。据此,在对应于各个颜色的彩色滤光片出现缺陷的情况下,可按照彩色滤光片的颜色供应修复物质。但是修复物质的颜色种类并不限定于此,可以多样方式进行设置。

干燥硬化部300连接于修复物质供应部200的一侧,并且起到使彩色滤光片的被去除的部分供应修复物质干燥或者硬化的作用。例如,干燥硬化部300可使用UV灯,可向修复物质照射UV来进行干燥或硬化。但是,干燥或硬化修复物质的方法并不限定于此,而是可能以多样方式实施。

控制部400与激光部100及修复物质供应部200连接。控制部400根据提前设定去除设定值来去除出现缺陷的区域,并且控制激光部100及修复物质供应部200的运行,以使根据提前设定的供应设定值向被去除的部分供应修复物质,进而使修复物质填满被去除的部分。

去除设定值是由激光束待去除的部分的面积与深度的值。因此,根据去除设定值去除了出现缺陷的部分的情况下,可以知道被去除的部分的体积。

供应设定值是对修复物质的供应量的值。若知道根据去除设定值去除的部分的体积,则为了填充待去除的部分,可计算应当向待去除的部分将供应的修复物质的准确的量。从而,若以计算出的值(即,供应设定值)供应修复物质,则能够防止修复物质被过多或过少供应于待去除的部分的情况。

另外,无需对应于各种大小的针孔缺陷来测量针孔缺陷的体积进而根据测量出的体积値计算待排放的修复物质的量,因此修复工艺简单,并且能够缩短时间。另外,由于能够精密得控制排放修复物质的量,因此能够将所需量的修复物质精密地排放于被细微去除的部分,并且能够防止因过 多排放而导致修复物质的浪费。

这时,为了对应形成各种大小的针孔缺陷,可提前设定多个去除设定值,并且计算对应于各个去除设定值的修复物质供应量,进而也可提前设定多个供应设定量。因此,选择在针孔缺陷的大小以上且与针孔缺陷的大小最类似的去除设定值,来去除出现缺陷的区域,根据对应于被选择出来的去除设定值的供应设定量,可向已被去除的部分供应修复物质。据此,对应于缺陷的大小可执行最佳的修复作业,因此能够提高作业效率并且防止修复物质浪费。据此,可提高修复工艺的效率。

另外,根据本发明另一实施例的修复装置包括:生成切割薄膜的激光束,并向所述薄膜上出现缺陷的区域照射激光束的激光部100;向被所述激光束去除出现所述缺陷的区域供应修复物质的修复物质供应部200;干燥或硬化所述修复物质的干燥硬化部300;及控制所述激光部100的运行,以根据提前设定的去除设定值去除出现所述缺陷的区域的控制部400。这时,所述薄膜可以是非导电性膜或绝缘膜。更详细地说,薄膜可以是覆盖形成在一侧的液晶层的保护膜,缺陷可以是因异物保护膜被撕裂。另外,保护膜可具有检查基板缺陷的调制器。

根据本发明另一实施例的修复装置具有与根据本发明实施例的修复装置相同的结构,但是在修复物质供应部200的结构及控制部400的运行方法上存在差异。因此,在此仅说明根据本发明另一实施例的修复物质供应部200的结构及控制部400的运行方法。

根据本发明另一实施例的修复物质供应部200供应一种种类的修复物质。即为了防止液晶泄漏,可使用能够覆盖液晶层并且透明的修复物质。因此,可无需设置多个喷嘴单元210,而是可通过一个喷嘴单元210对缺陷执行修复工艺,但是,修复物质供应部200的结构并不限定于此,可具有多样的结构。

根据本发明另一实施例的控制部400,根据提前设定的去除设定值来去除出现缺陷的区域的保护膜21及液晶层,并控制激光部100及修复物质供应部200的运行,以使修复物质供应到保护膜21及液晶层的被去除的部分的边缘位置区域。

去除设定值是对于被激光束待去除的部分的面积与深度的值。因此, 根据去除设定值来去除出现缺陷的部分的情况下,可以知道被去除的部分的周长。因此,只向被去除的部分的边缘位置区域供应修复物质的情况下,可沿着被去除的部分的周界改变修复物质的掉落点。据此,仅使修复物质向被准确去除的部分的边缘位置区域掉落来遮盖液晶层,进而能够防止液晶泄露。

如上所述,仅向边缘位置区域供应修复物质,因此工艺简单并且能够节省修复物质的使用量。这时,为了不使修复物质流出,在供应修复物质的同时可对修复物质执行干燥或硬化作业。但是修复物质的供应量及供应方法并不限定于此,还能以直到填满被去除的部分为止供应的方法。

图2是示出根据本发明实施例的修复方法的流程图。图3是示出根据本发明实施例的彩色滤光片修复过程的图面。图4是示出根据本发明实施例的去除设定值的表。图5是示出根据本发明实施例的供应设定值的表。以下,说明根据本发明一实施例的修复方法。

根据本发明实施例的修复方法包括如下步骤:确认薄膜上的缺陷的过程(S100);以输入于提前设定的去除设定值的大小,去除在所述薄膜出现所述缺陷的区域的过程(S200);向所述被去除的部分供应修复物质的过程(S300);及干燥或硬化所述修复物质的过程(S400)。这时,薄膜可以是彩色滤光片,并且可具有颜色相互不同的多个修复物质,所述缺陷包括针孔及凸起中的至少一种。

首先,对彩色滤光片基板的结构进行简单说明,在基板11上以预定图案形成多个黑矩阵(black matrix)12,在基板上的黑矩阵之间形成红色13a(R)、绿色13b(G)及蓝色13c(B)的彩色滤光片13。这时,因为异物或者工艺不良(例如,装置运行不良、材料不良等),在彩色滤光片12可形成凸起或者针孔的缺陷。

为了找出这种缺陷,可利用检查装置检查彩色滤光片13上的缺陷。若发现彩色滤光片13上的缺陷,则确认缺陷的位置,进而可确认与缺陷位置相关的Z轴坐标及Y轴坐标。在缺陷为针孔缺陷的情况下,可测量针孔缺陷的面积及厚度。

之后,使修复装置移动到确认到的缺陷的位置。在被确认到的缺陷为凸起缺陷的情况下,利用凸起研磨部测量凸起的高度,按照测量出的高度 可研磨凸起形成的部分。另外,如图3(a)确认到的缺陷为针孔缺陷或研磨凸起缺陷的同时在彩色滤光片13的表面凹陷的缺陷的情况下,可如下执行修复作业。

首先,能够以输入于去除设定值的大小,去除出现缺陷的区域。去除设定值是对于被激光束待去除的部分的面积与深度的值。去除设定值可以有多个,可具有输入了相互不同面积值的多个值及输入了相互不同深度值的多个值。

为了在多个去除设定值中选择一个,可将针孔缺陷的面积与输入于去除设定值的面积进行比较。即,在多个去除设定值中,可筛选出大于针孔缺陷面积的去除设定值。之后,在筛选出的去除设定值中,可选择具有与针孔缺陷的面积最接近的面积值的去除设定值。据此,可以知道用激光束待去除的部分的面积。

之后,可将输入于去除设定值的深度与针孔缺陷的厚度进行比较。即,在去除设定值中筛选出深度值具有缺陷厚度以上的去除设定值。之后,在筛选出的设定值中可选择出深度值具有与所述缺陷厚度最接近的去除设定值。据此,可以知道待用激光束去除的部分的深度。

例如,参照图3,真空缺陷的面积在A1与A2之间,针孔缺陷的厚度在B1以下的情况下,可在去除设定值中筛选出面积值具有大于A1的A2、A3、A4。在筛选出的去除设定值中,可选择与针孔缺陷的面积最接近的直的A2。之后,关于深度值,在去除设定值中筛选出深度值具有B1以上的B1与B2,在筛选出的去除设定值中可选择与针孔缺陷的厚度最接近的B1。据此,如图3(b)对于出现的针孔缺陷,可确定以A2面积及B1深度为限来去除(去除A2B1大小)。

如上所述,若已确定去除设定值的面积与深度,则如图3(c),将激光束照射于出现缺陷的区域,根据选出的去除设定值挖出出现缺陷的区域。例如,被去除的部分的模样可以是直六面体形状。即,真空缺陷可出现各种形状,但是四角形形状容易覆盖缺陷。因此,若能够以四角形形状的面积加上深度来去除出现缺陷的部分,则能够以直六面体形状去除出现缺陷的部分。但是被去除的部分的形状并不限定于此,而是可以各种形状来形成。

之后,如图3(d),为使修复物质E的高度与彩色滤光片13的表面高度在误差范围内位于同一条线上,以输入于提前设定的供应设定值的量,将修复物质供应于已被去除的部分。在误差范围内供应修复物质E是意味着,使修复物质E的高度准确设置为与彩色滤光片13的表面高度相同,或者修复物质E的高度可设置为稍微高于或低于彩色滤光片13的表面高度。但是,按照被去除的部分的体积来选择修复物质E的填充量,因此修复物质E的高度设置为与彩色滤光片13的表面的高度几乎相同。

修复物质E可分别具有颜色相互不同的多个物质,以供应与出现缺陷的彩色滤光片13的颜色对应的颜色的修复物质E。例如,可具有红色修复物质、绿色修复物质、蓝色修复物质及黑色修复物质,以对应红色彩色滤光片13a、绿色彩色滤光片13b、蓝色彩色滤光片13c及黑矩阵12。修复物质E可以是液体状态的修复油墨,可以是与彩色滤光片相同材质的油墨。

供应设定值是对修复物质E的供应量的值。若知道用激光束去除的部分的体积,则为了填充待去除的部分,可计算应该向待去除的部分供应的修复物质E的准确的量。由于知道用去除设定值去除的部分的面积与深度,因此可计算通过去除设定值去除的部分的体积,并且通过计算出的体积,可计算应该供应于待去除的部分的修复物质E的量。

供应设定值具有多个输入了修复物质的相互不同的供应量值的值。

即,在设定多个去除设定值的情况下,则可提前设定与各个去除设定值对应的供应设定值,即以去除设定值正确计算出的应该供应于去除的部分的修复物质E的供应量的供应设定值。例如,若以A2B1的大小选择去除设定值来去除出现缺陷的区域,则如图5可选择A2B1,即可选择与为A2的面积值与为B1的深度值对应的X21的供应设定值。

另外,在多个修复物质E中,可选择与出现所述缺陷的彩色滤光片的颜色对应的颜色的修复物质。例如,出现缺陷的彩色滤光片的颜色为绿色的情况下,可选择绿色修复物质。

若选择出应该供应修复物质E的量与颜色,则根据选择出的供应设定值,向用激光束去除的部分供应选择出的颜色的修复物质E。之后,利用干燥硬化部干燥或硬化供应的修复物质E,进而可完成对缺陷的修复工艺。

如上所述,以提前设定的大小去除缺陷,并供应按照已去除的大小而确定的量的修复物质E,因此防止修复物质E过多或过少排放,进而提高修复作业的成功率。

另外,无需计算对应于以各种大小出现的缺陷而待排放的修复物质E的量,因此修复工艺简单,并且能够缩短修复时间。另外,能够精密地控制排放的修复物质E的量,因此能够将所需量的修复物质精密地排放于被细微去除的部分,并且能够防止因过多排放而浪费修复物质E。据此,能够提高修复工艺的效率。

图6是示出根据本发明实施例的调制器修复过程的图面。在以下,说明根据本发明另一实施例的修复方法。

根据本发明另一实施例的修复方法包括如下过程:确认薄膜上的缺陷的过程;以提前设定的去除设定值之所输入的大小,去除所述薄膜上出现所述缺陷的区域的过程;向所述被去除的部分,供应修复物质E的过程;及干燥或硬化所述修复物质E的过程。这时,薄膜可包括覆盖形成在一侧的液晶层22的保护膜21,保护膜21可配置在检查基板缺陷的调制器中,并且缺陷可以是保护膜21被撕裂的缺陷。

对阵列基板的检查以如下的方式执行:在阵列基板上与调制器间隔固定距离,然后移动调制器的同时确认形成在阵列基板上的信号布线的短路与断线。这时,存在于阵列基板上的异物与调制器接触的同时调制器表面的保护膜21受损,可出现保护膜21被撕裂的缺陷。据此,如图6(a),因与保护膜21的缺陷,可发生被保护膜21覆盖的液晶向外部泄漏的问题。这时,保护膜21可以是聚酰亚胺薄膜。但是薄膜的材质并不限定于此,而是可使用各种材质。

首先,能够以输入于去除设定值的大小,去除出现缺陷的区域。去除设定值是对于被激光束待去除的部分的面积与深度的值。在修复保护膜21的缺陷的情况,应该去除保护膜21与液晶层22。因此,可由保护膜21的厚度与液晶层的厚度加起来的值,提前设定去除设定值的深度值。据此,可仅选择去除设定值的面积值,来去除出现缺陷的区域。去除设定值可以有多个,可提前设定多个、输入了相互不同面积值的去除设定值。

为了在多个去除设定值中选择一个值,可将缺陷的面积与输入于去除 设定值的面积进行比较。即,在多个去除设定值中可筛选出面积大于缺陷面积的去除设定值。之后,如图6(b),在筛选出的去除设定值中,选择面积值具有与缺陷面积最接近的去除设定值。

之后,如图6(c),向出现缺陷的区域照射激光束,根据去除设定值去除出现缺陷的区域的保护膜21及液晶层22。

之后,如图6(d),只向保护膜21及液晶层22被去除的部分的边缘位置区域,供应修复物质E。为了防止液晶泄漏,修复物质E可使用能够覆盖液晶层22的液体状态的透明的修复物质E。例如,修复物质E可以是与保护膜21相同的材质。但是修复物质E的材质不限定于此,而是可使用各种材质。

根据去除设定值去除出现缺陷的部分的情况下,可以知道被去除的部分的周长。因此,只向被去除的部分的边缘位置区域供应修复物质E的情况下,可沿着被去除的部分的周界改变修复物质E的掉落点。例如,对应于被去除的部分的周界,沿着被去除的周界连续移动排放修复物质E的喷嘴单元210,同时可只向边缘位置区域供应修复物质E。

或者,考虑到掉落的修复物质E的扩散,对应于被去除的部分的周界,可在多个位置供应修复物质E。例如,被去除的部分的周界形状为四边形,向被去除的部分的一面的中心部供应的修复物质E被扩散进而可覆盖一面的液晶层22的情况下,在四面的中心部分别掉落修复物质E,进而可全部覆盖四面的液晶层22。

向边缘位置区域供应的修复物质E形成覆盖所述液晶层22的侧壁,进而不使液晶层22内的液晶泄漏。即,修复物质E围绕保护膜21与液晶层22的被去除的部分的周界,可堵住会泄漏液晶层22内液晶的空间。据此,供应少量的修复物质可修复调制器。

如上所述,只向边缘位置区域供应修复物质,因此工艺简单并且能够节省修复物质E的使用量。这时,为了不使修复物质E流出,在供应修复物质E的同时可对液晶物质E执行干燥或硬化作业。但是,修复物质E的供应量及供应方发并不限定于此,也可填满被去除的部分。

如上所述,在本发明的详细说明中说明了具体实施例,但是在不超出本发明的范围内可进行多种变形。因此,本发明的范围并不限定于说明的 实施例,而且不仅是在以下记载的权利要求,还应该由等同于权利要求范围的技术确定。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1