显示不均匀缺陷显现装置、方法和检测设备与流程

文档序号:11152683
显示不均匀缺陷显现装置、方法和检测设备与制造工艺

本发明涉及显示不均匀缺陷显现技术领域,尤其涉及一种显示不均匀缺陷显现装置、方法和检测设备。



背景技术:

MM(宏观微观)测试设备是TFT-LCD面板领域在宏观检测段主要设备。随着面板尺寸的大型化,高分辨率,轻薄化,和低功耗的发展,玻璃基板越来越薄,其中像素也越来越小,在工艺制程中出现显示不均匀缺陷几率也逐渐增大,因此显示不均匀缺陷显现就显得越发重要,其可以拦截不良,同时提高产品良率,但是现有的显示不均匀缺陷显现装置中存在以下问题:

第一:虽然能检测出Mura(显示不均匀)缺陷,但无法准确的定位和描述形貌,只能靠人工简单粗略的记录,这样就存在不能准确的反馈显示不均匀缺陷的位置和形貌的问题;

第二:在人工记录过程后,再反馈给工艺科室匹配接触点,无形中会有大量产品仍然在生产和产生不良,增大了产品的不良率。



技术实现要素:

本发明的主要目的在于提供一种显示不均匀缺陷显现装置、方法和检测设备,解决现有的显示不均匀缺陷显现装置虽然能检测出显示不均匀缺陷,但无法准确的定位和描述形貌,只能靠人工简单粗略的记录,不能准确的反馈显示不均匀缺陷的位置和形貌的问题。

为了达到上述目的,本发明提供了一种显示不均匀缺陷显现装置,用于显现显示基板上的显示不均匀缺陷,所述显示不均匀缺陷显现装置包括激光发射源、激光感应器、运动支撑单元、显示不均匀缺陷显现单元以及位置检测单元,其中,

所述激光发射源用于被控制而向所述显示基板上的显示不均匀缺陷处发射激光信号,并被控制而描绘出所述显示不均匀缺陷的形貌;

所述运动支撑单元,与所述激光感应器连接,用于支撑所述激光感应器,并控制所述激光感应器运动至能够接收到所述激光发射源发射的激光的位置;

所述激光感应器,用于接收并记录所述激光发射源发射的激光信号;

所述显示不均匀缺陷显现单元,与所述激光感应器连接,用于将所述激光感应器接收到的激光信号转换为数字信号,以模拟出显示不均匀缺陷的形貌;

所述位置检测单元,与所述运动支撑单元连接,用于通过检测所述运动支撑单元支撑的激光感应器与所述显示基板的相对坐标,而得到所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标。

实施时,所述运动支撑单元还用于控制所述激光感应器的表面与所述显示基板之间的角度小于预定角度。

实施时,所述显示基板设置于机台上;

所述运动支撑单元包括固定轨道、伸缩杆、旋转支撑模组和动力机构,其中,

所述动力机构分别与所述伸缩杆和所述旋转支撑模组连接;

所述固定轨道沿第一方向固定设置于所述机台的一侧边;

所述伸缩杆沿着第二方向设置,所述伸缩杆包括固定端和伸缩端;

所述伸缩杆的固定端设置于所述固定轨道上,所述伸缩杆能够被所述动力机构控制而沿着所述固定轨道滑动;

所述伸缩杆的伸缩端能够被所述动力机构控制而沿着第二方向运动;

所述旋转支撑模组设置于所述伸缩杆的伸缩端;

所述旋转支撑模组与所述动力机构连接,用于支撑所述激光感应器,并能够被所述动力机构控制而带动所述激光感应器旋转;

所述激光感应器位于所述机台和所述显示基板之间。

实施时,所述旋转支撑模组包括支撑旋转球和支撑部;

所述支撑旋转球,设置于所述伸缩杆的伸缩端,与所述动力机构连接,能够被动力机构控制而旋转;

所述支撑部与所述支撑旋转球连接,并用于支撑所述激光感应器,能够随着所述支撑旋转球旋转而带动所述激光感应器相应旋转。

实施时,所述位置检测单元包括位移传感器、角度传感器、显示基板位置检测模块,相对位置检测模块,其中,

所述位移传感器设置于所述伸缩杆的伸缩端;

所述角度传感器设置于所述旋转支撑模组;

所述位移传感器用于检测得到所述伸缩杆的伸缩端的线性位移信号;

所述角度传感器用于检测当所述旋转支撑模组被所述动力机构控制而旋转至所述激光感应器与所述显示基板平行时,所述旋转支撑模组需要旋转的角度信息;

所述显示基板位置检测模块,用于检测所述显示基板的绝对位置信息;

所述相对位置检测模块,分别与所述位移传感器、所述角度传感器和所述显示基板位置检测模块连接,用于根据所述显示基板的绝对位置信息,所述线性位移信号和所述角度信息,计算得到所述激光感应器在所述显示基板上的位置坐标。

实施时,本发明所述的显示不均匀缺陷显现装置还包括:

显示不均匀缺陷存储单元,分别与所述显示不均匀缺陷显现单元和所述位置检测单元连接,用于存储所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标以及显示不均匀缺陷的形貌。

本发明还提供了一种显示不均匀缺陷显现方法,应用于上述的显示不均匀缺陷显现装置,所述显示不均匀缺陷显现方法包括:

激光发射源向显示基板上的显示不均匀缺陷处发射激光信号;

运动支撑单元控制激光感应器运动至能够接收到所述激光发射源发射的激光的位置,并控制所述激光感应器与所述显示基板之间的角度小于预定角度;

所述激光发射源描绘出所述显示不均匀缺陷的形貌;

所述激光感应器接收并记录所述激光发射源发射的激光信号;

显示不均匀缺陷显现单元所述激光感应器接收到的激光信号转换为数字信号,以模拟出显示不均匀缺陷的形貌;

位置检测单元通过检测所述运动支撑单元支撑的激光感应器与所述显示基板的相对坐标,而得到所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标。

本发明还提供了一种检测设备,包括机台,还包括如权利要求1至6中任一权利要求所述的显示不均匀缺陷显现装置;

所述显示不均匀缺陷显现装置用于检测设置于所述机台上的显示基板上的显示不均匀缺陷。

实施时,本发明所述的检测设备还包括接触点位存储单元、历史形貌存储单元、第一比较单元和第二比较单元;

所述接触点位存储单元,用于预先存储在生产过程中各工艺设备分别与所述显示基板接触的接触点位;

所述历史形貌存储单元,用于预先存储在生成过程中形成的多个历史显示不均匀缺陷的形貌,及形成该历史显示不均匀缺陷的工艺原因;

所述第一比较单元,分别与所述接触点位存储单元和所述显示不均匀缺陷显现装置包括的位置检测单元连接,用于通过比对来自所述位置检测单元的显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标和所述接触点位,以得到显示不均匀缺陷位置匹配记录;

所述第二比较单元,分别与所述历史形貌存储单元和所述显示不均匀缺陷显现装置包括的显示不均匀缺陷显现单元连接,用于通过比较来自显示不均匀缺陷显现单元的显示不均匀缺陷的形貌和所述历史显示不均匀缺陷的形貌,以得到形成该显示不均匀缺陷的工艺原因。

与现有技术相比,本发明所述的显示不均匀缺陷显现装置通过激光发射源向所述显示基板上的显示不均匀缺陷处发射激光信号,并描绘出所述显示不均匀缺陷的形貌、并设置由运动支撑单元控制运动至能接受激光的位置的激光感应器,由显示不均匀缺陷显现单元根据该激光感应器接收到的激光信号而模拟出显示不均匀缺陷的形貌,由位置检测单元确定所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标,从而可以清楚准确的检测得到显示基板上的显示不均匀缺陷的形貌和位置。

并且,本发明实施例所述的检测设备通过接触点位存储单元预先存储在生产过程中各工艺设备分别与所述显示基板接触的接触点位,之后通过第一比较单元比较显示不均匀缺陷显现装置包括的位置检测单元检测得到的显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标和所述接触点位,可以得到显示不均匀缺陷位置匹配记录,也即可以得到所述显示不均匀缺陷可能是由那个设备造成的;本发明实施例所述的检测设备还通过历史形貌存储单元预先存储在生成过程中形成的多个历史显示不均匀缺陷的形貌,及形成该历史显示不均匀缺陷的工艺原因,之后通过第二比较单元比较显示不均匀缺陷显现装置包括的显示不均匀缺陷显现单元检测得到的显示不均匀缺陷的形貌和所述历史显示不均匀缺陷的形貌,可以得到形成该显示不均匀缺陷的工艺原因。

附图说明

图1是本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现装置的结构图;

图2是本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现装置包括的运动支撑单元13的结构示意图;

图3是本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现装置包括的运动支撑单元中的旋转支撑模组的结构图;

图4是本发明另一实施例所述的显示不均匀缺陷显现装置的结构图;

图5是本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现方法的流程图;

图6是本发明实施例所述的检测设备包括的机台的结构示意图;

图7是本发明实施例所述的检测设备的结构图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

如图1所示,本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现装置,用于显现显示基板10上的显示不均匀缺陷,所述显示不均匀缺陷显现装置包括激光发射源11、激光感应器12、运动支撑单元13、显示不均匀缺陷显现单元14以及位置检测单元15,其中,

所述激光发射源11用于被控制而向所述显示基板10上的显示不均匀缺陷处发射激光信号,并被控制而描绘出所述显示不均匀缺陷的形貌;

所述运动支撑单元13,与所述激光感应器12连接,用于支撑所述激光感应器12,并控制所述激光感应器12运动至能够接收到所述激光发射源11发射的激光的位置;

所述激光感应器12,用于接收并记录所述激光发射源11发射的激光信号;

所述显示不均匀缺陷显现单元14,与所述激光感应器12连接,用于将所述激光感应器12接收到的激光信号转换为数字信号,以模拟出显示不均匀缺陷的形貌;

所述位置检测单元15,与所述运动支撑单元13连接,用于通过检测所述运动支撑单元13支撑的激光感应器12与所述显示基板10的相对坐标,而得到所述显示不均匀缺陷在所述显示基板10上的位置坐标。

本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现装置通过激光发射源11向所述显示基板10上的显示不均匀缺陷处发射激光信号,并描绘出所述显示不均匀缺陷的形貌、并设置由运动支撑单元13控制运动至能接受激光的位置的激光感应器12,由显示不均匀缺陷显现单元14根据该激光感应器12接收到的激光信号而模拟出显示不均匀缺陷的形貌,由位置检测单元15确定所述显示不均匀缺陷在所述显示基板10上的位置坐标,从而可以清楚准确的检测得到显示基板10上的显示不均匀缺陷的形貌和位置。

在实际操作时,所述激光发射源11即相当于一只激光笔,工作人员可以操作该激光发射源11描绘显示不均匀缺陷的形貌。

在实际操作时,所述激光感应器12与所述激光发射源11通信连接。

在实际操作时,所述显示基板10设置于机台(图1中未示出)上,所述显示基板10由设置于所述机台上的多个吸附支撑柱101支撑。

在具体实施时,所述运动支撑单元还用于控制所述激光感应器的表面与所述显示基板之间的角度小于预定角度。

在检测过程中,运动支撑单元还需要控制激光感应器与显示基板平行(由于在实际操作时比较难控制两者精确的平行,因此限定两者之间的角度小于预定角度,所述预定角度例如可以为1度),以便确定显示不均匀缺陷在显示基板上的坐标。

在实际操作时,所述显示基板可以设置于机台上;

如图2所示,所述运动支撑单元13包括固定轨道131、伸缩杆132、旋转支撑模组133和动力机构(图2中未示出),其中,

所述动力机构(图2中未示出)分别与所述伸缩杆和所述旋转支撑模组连接;

所述固定轨道131沿第一方向固定设置于所述机台(图2中未示出)的一侧边;

所述伸缩杆132沿着第二方向设置,所述伸缩杆132包括固定端和伸缩端;

所述伸缩杆132的固定端设置于所述固定轨道131上,所述伸缩杆132能够被所述动力机构控制而沿着所述固定轨道131滑动;

所述伸缩杆132的伸缩端能够被所述动力机构控制而沿着第二方向运动;

所述旋转支撑模组133设置于所述伸缩杆132的伸缩端;

所述旋转支撑模组133与所述动力机构(图2中未示出)连接,用于支撑所述激光感应器(图2中未示出),并能够被所述动力机构控制而带动所述激光感应器旋转;

所述激光感应器(图2中未示出)位于所述机台(图2中未示出)和所述显示基板之间。

在实际操作时,所述动力机构可以包括多个马达或者其他任何可以驱动物体线性运动并旋转的动力器件,所述动力器件的设置位置可以在任何方便驱动伸缩杆132沿着固定轨道131滑动的位置、方便驱动伸缩杆132的伸缩端沿着第二方向运动的位置,以及方便驱动旋转支撑模组133旋转的位置。

如图2所示,所述第一方向例如可以为前后方向(Y方向),所述第二方向例如可以为左右方向(X方向);所述旋转支撑模组133设置于所述伸缩杆132的伸缩端,并所述伸缩杆132的固定端设置于所述固定轨道131上,因此随着伸缩杆132沿着固定轨道131前后移动可以控制旋转支撑模组133带动激光感应器(图2中未示出)前后移动,随着伸缩杆132的伸缩端左右移动,可以控制旋转支撑模组133带动激光感应器(图2中未示出)左右移动,从而通过伸缩杆132的伸缩端的沿着X方向的移动距离和伸缩杆132沿着固定轨道131的沿着Y方向的移动距离,可以得到旋转支撑模组133支撑的激光感应器12的线性位移信号;之后再结合旋转支撑模组133控制激光感应器旋转的角度(旋转支撑模组133控制激光感应器旋转至其表面与显示基板平行),以及旋转后旋转支撑模组133支撑的激光感应器与显示基板之间的固定距离,通过计算和补偿,可以得到所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标。

具体的,所述第一方向可以为沿着所述机台的该侧边的方向,所述第二方向优选为垂直于所述第一方向,但是在实际操作时所述第二方向也可以为其他的方向,但是需保证所述第二方向与所述第一方向不同。

在本发明如图2所示的运动支撑单元的具体实施例中,运动支撑单元包括固定轨道、伸缩杆、旋转支撑模组和动力机构,以能够方便准确的控制激光感应器线性位移及旋转至能够接收到激光发射源发射的激光的位置,并激光感应器与显示基板近似平行,以便通过激光感应器接收到的激光信号描绘出显示不均匀缺陷形貌,并得到显示不均匀缺陷在显示基板上的坐标。

在优选情况下,运动支撑单元能够控制激光感应器与显示基板平行。

具体的,所述旋转支撑模组可以包括支撑旋转球和支撑部;

所述支撑旋转球,设置于所述伸缩杆的伸缩端,与所述动力机构连接,能够被动力机构控制而旋转;

所述支撑部与所述支撑旋转球连接,并用于支撑所述激光感应器,能够随着所述支撑旋转球旋转而带动所述激光感应器相应旋转。

根据一种具体实施方式,如图3所示,所述旋转支撑模组可以包括支撑旋转球31和支撑部;

所述支撑旋转球31,设置于所述伸缩杆132的伸缩端,与所述动力机构(图3中未示出)连接,能够被动力机构控制而旋转;

所述支撑部包括支撑杆321和支撑圆盘322;

所述支撑圆盘322通过所述支撑杆321与所述支撑旋转球31连接,并用于支撑所述激光感应器12,能够随着所述支撑旋转球31旋转而带动所述激光感应器12相应旋转。

在实际操作时,所述支撑圆盘也可以被替换为其他的形状,只需能够支撑激光感应器12即可。

在实际操作时,所述位置检测单元可以包括位移传感器、角度传感器、显示基板位置检测模块,相对位置检测模块,其中,

所述位移传感器设置于所述伸缩杆的伸缩端;

所述角度传感器设置于所述旋转支撑模组;

所述位移传感器用于检测得到所述伸缩杆的伸缩端的线性位移信号;

所述角度传感器用于检测当所述旋转支撑模组被所述动力机构控制而旋转至所述激光感应器与所述显示基板平行时,所述旋转支撑模组需要旋转的角度信息;

所述显示基板位置检测模块,用于检测所述显示基板的绝对位置信息;

所述相对位置检测模块,分别与所述位移传感器、所述角度传感器和所述显示基板位置检测模块连接,用于根据所述显示基板的绝对位置信息,所述线性位移信号和所述角度信息,计算得到所述激光感应器在所述显示基板上的位置坐标。

在实际操作时,位置检测单元包括位移传感器、角度传感器、显示基板位置检测模块,相对位置检测模块,位移传感器可以检测伸缩杆的伸缩端的线性位移信号,角度传感器可以检测旋转支撑模组的旋转的角度信号,然后相对位置检测模块根据所述线性位移信号、所述角度信号和显示基板的绝对位置信息可以计算得到显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标。

在具体实施时,如图4所示,本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现装置还包括:

显示不均匀缺陷存储单元16,分别与所述显示不均匀缺陷显现单元14和所述位置检测单元15连接,用于存储所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标以及显示不均匀缺陷的形貌。

如图5所示,本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现方法,应用于上述的显示不均匀缺陷显现装置,所述显示不均匀缺陷显现方法包括:

S1:激光发射源向显示基板上的显示不均匀缺陷处发射激光信号;

S2:运动支撑单元控制激光感应器运动至能够接收到所述激光发射源发射的激光的位置,并控制所述激光感应器与显示基板之间的角度小于预定角度;

S3:所述激光发射源描绘出所述显示不均匀缺陷的形貌;

S4:所述激光感应器接收并记录所述激光发射源发射的激光信号;

S5:显示不均匀缺陷显现单元所述激光感应器接收到的激光信号转换为数字信号,以模拟出显示不均匀缺陷的形貌;

S6:位置检测单元通过检测所述运动支撑单元支撑的激光感应器与所述显示基板的相对坐标,而得到所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标。

本发明实施例所述的显示不均匀缺陷显现方法通过激光发射源向所述显示基板上的显示不均匀缺陷处发射激光信号,并描绘出所述显示不均匀缺陷的形貌、并设置由运动支撑单元控制运动至能接受激光的位置的激光感应器,由显示不均匀缺陷显现单元根据该激光感应器接收到的激光信号而模拟出显示不均匀缺陷的形貌,由位置检测单元确定所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标,从而可以清楚准确的检测得到显示基板上的显示不均匀缺陷的形貌和位置。

本发明实施例所述的检测设备,包括机台,还包括上述的显示不均匀缺陷显现装置;

所述显示不均匀缺陷显现装置用于检测设置于所述机台上的显示基板上的显示不均匀缺陷。

所述检测设备即为MM(宏观微观)检测设备,如图6所示,所述机台60上设置有多个真空吸附孔61;所述真空吸附孔61用于吸附显示基板(图6中未示出),所述机台60上还设置有多个用于固定显示基板的定位器62,在所述机台60的一侧边设置有固定轨道(图6中未示出),伸缩杆132的固定端设置于所述固定轨道上,所述伸缩杆132能够沿着所述固定轨道滑动;所述伸缩杆132的伸缩端设置有旋转支撑模组133;

另外,所述机台60上设置有多个支撑架63,所述真空吸附孔61设置于所述支撑架63上;

在检测显示基板上的显示不均匀缺陷时,所述显示基板位于所述伸缩杆132的上方。

优选的,如图7所示,本发明实施例所述的检测设备还包括接触点位存储单元71、历史形貌存储单元72、第一比较单元73和第二比较单元74;

所述接触点位存储单元71,用于预先存储在生产过程中各工艺设备分别与所述显示基板接触的接触点位;

所述历史形貌存储单元72,用于预先存储在生成过程中形成的多个历史显示不均匀缺陷的形貌,及形成该历史显示不均匀缺陷的工艺原因;

所述第一比较单元73,分别与所述接触点位存储单元71和所述显示不均匀缺陷显现装置包括的位置检测单元15连接,用于通过比对来自所述位置检测单元15的显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标和所述接触点位,以得到显示不均匀缺陷位置匹配记录;

所述第二比较单元74,分别与所述历史形貌存储单元72和所述显示不均匀缺陷显现装置包括的显示不均匀缺陷显现单元14连接,用于通过比较来自显示不均匀缺陷显现单元14的显示不均匀缺陷的形貌和所述历史显示不均匀缺陷的形貌,以得到形成该显示不均匀缺陷的工艺原因。

在实际操作时,所述接触点位存储单元71、所述历史形貌存储单元72、所述第一比较单元73和所述第二比较单元74可以设置于数据处理系统中。

本发明实施例所述的检测设备通过接触点位存储单元71预先存储在生产过程中各工艺设备分别与所述显示基板接触的接触点位,之后通过第一比较单元73比较显示不均匀缺陷显现装置包括的位置检测单元15检测得到的显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标和所述接触点位,可以得到显示不均匀缺陷位置匹配记录,也即可以得到所述显示不均匀缺陷可能是由那个设备造成的;本发明实施例所述的检测设备还通过历史形貌存储单元72预先存储在生成过程中形成的多个历史显示不均匀缺陷的形貌,及形成该历史显示不均匀缺陷的工艺原因,之后通过第二比较单元74比较显示不均匀缺陷显现装置包括的显示不均匀缺陷显现单元14检测得到的显示不均匀缺陷的形貌和所述历史显示不均匀缺陷的形貌,可以得到形成该显示不均匀缺陷的工艺原因。

本发明实施例所述的检测设备可以快速匹配显示不均匀发生设备和工艺,从而及时反馈给相应的工艺科室,调整设备硬件或参数,改善显示不均匀缺陷,提升产品品质。

本发明实施例在MM(宏观微观)检测设备中用于承载显示基板的机台下方设计一种显示不均匀缺陷显现装置;

在实际操作时,所述显示基板可以为玻璃基板;

所述显示不均匀缺陷显现装置包括手持的激光发射源(激光笔等)、可以前后和左右移动的伸缩杆(所述伸缩杆的伸缩端设置有位移感应器)、固定轨道(伸缩杆的固定端设置于所述固定轨道,并伸缩杆可以沿着所述固定轨道移动)、线性马达、激光感应器、用于支撑所述激光感应器的运动支撑单元(所述旋转支撑模组设置于所述伸缩杆的伸缩端),以及记录系统;

所述记录系统包括显示不均匀缺陷显现单元以及位置检测单元;

所述显示不均匀缺陷显现单元可以模拟出显示不均匀缺陷的形貌;

所述位置检测单元可以检测得到所述显示不均匀缺陷在所述显示基板上的位置坐标;

包括所述显示不均匀缺陷显现装置的MM检测设备还包括匹配系统;

所述匹配系统包括接触点位存储单元、历史形貌存储单元、第一比较单元和第二比较单元;

所述匹配系统通过各个工位的设备接触点和显示不均匀缺陷发生记录,匹配发现的显示不均匀缺陷产生工序和显示不均匀缺陷产生设备,通过所述匹配系统调查,告知相关工艺科室及时改善,以解决显示不均匀不良。

在显示不均匀缺陷显现过程中,显示基板会进行移动,因此设计了具有位移感应器的伸缩固定杆,通过线性马达驱动移动,记录行坐标和列坐标;

在显示不均匀检测过程中,显示基板会进行旋转,因此设计了中心有激光感应器的圆盘状旋转支撑模组,通过角度传感器记录旋转角度,根据旋转后圆盘面和显示基板之间的固定距离,通过计算和补偿,标出激光在显示基板上的具体坐标,也就是显示不均匀缺陷的位置坐标,同时随着激光的移动,采集一系列坐标点,在系统选取(线性、带状、条状等)模拟出显示不均匀的具体形貌;

建立一个具有各个工艺设备的接触点位和显示不均匀缺陷发生记录,通过以上的数据录入到系统,进行匹配记录,及时快速的调查出原因,反馈给工艺科室调整改善;

在以上操作过程中,首次设计出显示不均匀缺陷定位和定形貌的装置,另外还第一次实现坐标上传显示不均匀缺陷匹配记录库,代替只能粗略记录大概位置和手动画出简单轮廓后,手动匹配大体坐标。因此很大程度上保证了数据的准确性和原因查找的迅速性,及时改善,减少损失,提升产品品质。

在MM检测设备每日点检的过程中,主设备切换到Maintenance(维护)状态,检查显示不均匀缺陷显现装置是否能正常工作,匹配记录系统是否及时更新,和正常上传;

在检测显示基板上的显示不均匀缺陷状况时,移动和旋转显示基板,通过灯光的照射,发现宏观显示不均匀不良,再手持激光发射源(激光笔等)照射显示不均匀缺陷位置,同时遥控激光感应器,使其从初始的位置移动至显示基板下方的激光线能照射到的位置,感应到激光存在,记录移动的坐标(X1,Y1);其中,X1为伸缩杆的伸缩端左右位移的行坐标,Y1为伸缩杆沿着轨道前后移动的列坐标;

然后旋转中心点设置有激光感应器的旋转支撑模组,使支撑圆盘面和显示基板平行,记录旋转角度α,通过支撑圆盘和显示基板之间的已知距离,计算出补偿坐标(△X,△Y),从而得到显示不均匀的具体坐标(X1+△X,Y1+△Y);

当显示不均匀缺陷为二维线状、带状等形状时,随着激光笔的移动,激光感应器也随之移动,记录一系列的点位和补偿点位,通过计算系统,模拟出显示不均匀的具体形貌;

开启显示不均匀曲线记录数据库,通过以前上传的显示不均匀缺陷坐标和显示不均匀缺陷形貌,匹配数据库的各个工艺和设备的接触点和具体形貌历史记录,因此快速的查找到不良产生根因,及时调整设备和工艺,改善不良;

在日常PM(Plant Maintenance,设备维护)过程中,增加检查,以使得激光感应器能够正常移动、旋转和感应。

以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

再多了解一些
当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1