改进的光阻预烤炉移动销的制作方法

本实用新型涉及一种改进的光阻预烤炉移动销，其通过驱动装置控制移动销进行圆周往复平移，能达到支撑玻璃基板的作用，并防止残留销痕。

背景技术：

玻璃基板是液晶显示设备(TFT-LCD)的主要制造原料，即俗称的母玻璃或素玻璃，其是一种高精密透明的电子零件，玻璃基板在液晶显示设备产业中扮演的角色类似于半导体产业中的晶圆，因此液晶显示设备产业对玻璃基板表面精度的要求相当高。

其次，液晶显示设备的制造过程是分别利用两块无碱玻璃基板，于无碱玻璃基板表面构装彩色滤色片与IC电路，并将玻璃基板表面经过干式蚀刻，将红、蓝、绿三原色与黑色以微细的结构建置于玻璃表面，成为彩色滤色片，IC驱动电路则利用半导体制造过程，再将CMOS电路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能为做为彩色滤色片与IC驱动电路的承载材料，液晶显示设备的制造过程需要真空蒸镀与蚀刻，所以玻璃基板必须要能耐受强酸强碱的腐蚀、高温环境，并且必须具备非常精密的表面平整度与平面起伏度。

因此，玻璃基板在制造过程中的每个流程都非常精密，其中，当涂抹光阻液后，需经过烘烤将感光剂及光阻液等化学物质挥发，此时，如图1所示，该基板1进行烘烤时，先将基板1放在热板11上，再通过热板11的热度使基板1表面的化学物质挥发，在此过程中，该固定销12由热板11下方向上凸伸出来，以支撑基板1，并对基板1进行烘烤。然而，于烘烤过程中，该固定销12持续定位在基板1的下表面，因而造成基板1下表面产生销痕，从而影响液晶显示设备的质量。

有鉴于此，本案发明人特别针对支撑玻璃基板的固定销进行改进，从而设计出一种平移式圆周往返运动的移动销，其不仅能支撑玻璃基板，且能够在玻璃基板的下表面不断地移动，有效防止玻璃基板产生销痕，以降低产品的不合格率，实为一理想的光阻预烤炉移动销。

技术实现要素：

本实用新型公开了一种改进的光阻预烤炉移动销，其通过平移式圆周往返运动来支撑玻璃基板，能避免在玻璃基板上残留刮痕，以降低玻璃基板的不合格率。其主要由腔体、热板、驱动装置及移动销组成，该腔体为一容槽状，内设有热板及驱动装置，驱动装置上设有固定销及可移动的多个移动销，该固定销用以支撑热板，移动销贯穿热板并置放在轨道沟内，且移动销链接有驱动装置，驱动装置中的驱动器控制移动销进行平面式圆周往返运动，供支撑玻璃基板。

组装时，将驱动装置装设于腔体的底层，并将热板放置于腔体上方，该驱动装置上设有多个锥状的固定销及移动销，其中，该固定销用以定位热板，该移动销用以支撑玻璃基板，且该驱动装置中的驱动器与移动销链接，使移动销能通过驱动装置预先设定的轨道路线来移动，并进行平移式圆周往返运动；热板上开设有多个轨道沟，该轨道沟为圆环状，以使移动销能在轨道沟内进行来回往返运动。

当烘烤玻璃基板时，利用机器手臂将玻璃基板插置入热板上方，此时，该驱动装置会向上升，使移动销贯穿热板并置放在轨道沟内，从而能将移动销顶部接触到玻璃基板表面，即能通过热板对玻璃基板进行烘烤，于此同时，该移动销会顺着轨道沟进行圆周往返运动，使该移动销的顶部在玻璃基板表面以圆形轨迹进行往复平移，随着移动销持续地移动，即能通过移动销不断地以不同的多个点支撑着玻璃基板的下表面，达到支撑玻璃基板及防止玻璃基板表面产生销痕的目的，从而能有效以提升玻璃基板的质量。

附图说明

图1为现有的支撑基板的示意图；

图2为本实用新型组装的示意图；

图3为本实用新型组装的完成图；

图4为本实用新型烘烤玻璃基板的示意图；

图5为本实用新型移动销支撑玻璃基板的示意图；

图6为本实用新型移动销平移的路线图。

附图标记说明：1-基板；11-热板；12-固定销；2-光阻预烤炉；20-腔体；21-热板；211-轨道沟；22-驱动装置；221-固定销；222-驱动器；23-移动销；3-玻璃基板。

具体实施方式

首先，如图2所示，本实用新型组装的示意图，其主要由腔体20、热板21、驱动装置22及移动销23组成，该腔体20为一容槽状，内设有热板21及驱动装置22，驱动装置22上设有固定销221及可移动的多个移动销23，该固定销221用以支撑热板21，移动销23贯穿热板21置放在轨道沟211内，且移动销23链接有驱动装置22，即能通过驱动装置22中的驱动器222控制移动销进行平面移动，供支撑玻璃基板3，并利用热板21将腔体20封闭，从而为一光阻预烤炉2(如图3所示)。

组装时，如图2所示，将驱动装置22装设于腔体20的底层，并将热板21放置于腔体20上方，该驱动装置22上设有多个锥状的固定销221及移动销23，其中，该固定销221用以定位热板21，该移动销23用以支撑玻璃基板3，且该驱动装置22中的驱动器222与移动销23连结，使移动销23能通过驱动装置22预先设定的轨道进行移动，实现平移式圆周往返运动；位于热板21上开设有多个轨道沟211，该轨道沟211为圆环状，使移动销23能在轨道沟211内进行来回往返运动。

当烘烤玻璃基板3时，如图4及图5所示，利用机器手臂(图中未显示)将玻璃基板3放置在热板21上方，此时，该驱动装置22会先向上升，使移动销23贯穿热板21并置放在轨道沟211内，从而能将移动销23顶部接触到玻璃基板3的下表面，即能通过热板21对玻璃基板3进行烘烤，于此同时，该移动销23会顺着轨道沟211进行圆周往返运动(如图6所示)，使该移动销23的顶部在玻璃基板3的下表面以圆形轨迹进行往复的平移，随着移动销23持续地移动，即能通过移动销23不断地以不同的多个点支撑着玻璃基板3的下表面，达到支撑玻璃基板3及防止玻璃基板3表面产生销痕的目的，从而能有效提升玻璃基板3的质量。

综上所述，本实用新型通过驱动装置中的驱动器，使移动销进行平移式圆周往返运动，进而取代定点式的固定销，来达到支撑玻璃基板的作用，避免移动销持续于同一定点支撑玻璃基板，确实能够防止玻璃基板产生刮痕，能提升玻璃基板的质量，使用上相当理想。