用于检验能借助电磁辐射激励的样品的装置以及分束器的制作方法

文档序号:13426399阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种用于检验能借助电磁辐射(07)激励的样品(10)的装置(01)。该装置包括具有在其底面上相互连接的第一和第二棱镜(03a、03b)的第一二色性分束器(02)以及布置在两个棱镜(03a、03b)的底面之间的二色性层(04),其中,第一棱镜(03a)的射入面(06)与二色性层(04)围成在10°至<40°的范围内的角度(β)。此外,该装置还包括用于提供适用于激励样品(10)的电磁辐射(07)的光源(05),其中,辐射(07)耦入第一棱镜(03a)的射入面(06),并且其中,辐射(07)的一部分在二色性层(04)上朝样品(10)的方向反射,该样品定位在第一棱镜(03a)的射出面(11)之后。最后,该装置还包括用于检测由样品(10)发射的引导穿过分束器(02)并在测量面(16)上离开分束器的电磁辐射(13)的探测器(14)。本发明此外还涉及一种二色性分束器(02),其尤其是用于使用在所提到的装置(01)中。

技术研发人员:拉尔夫·米勒;汉斯-格奥尔格·奥特勒普
受保护的技术使用者:艾森思有限公司
技术研发日:2016.02.06
技术公布日:2018.01.09
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