光瞳分面反射镜的制作方法

技术总结
本发明的目的为改善投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜。本发明的本质是形成具有不同尺寸的光瞳分面(29)的光瞳分面反射镜。光瞳分面(29)尤其还可具有不同形式。光瞳分面的至少一子集可具有规则形式。它们尤其具有不同长度的侧边缘。它们可尤其具有不规则多边形的形式。

技术研发人员：T.费希尔
受保护的技术使用者：卡尔蔡司SMT有限责任公司
文档号码：201680024997
技术研发日：2016.05.11
技术公布日：2018.01.09