技术总结
所公开的是一种光学系统(200)，其包括：第一光学控制回路(233a)，其配置为调节第一光学元件(124)相对于第一模块传感器框架(208a)的位置和/或对准；以及第一模块控制回路(216a)，其配置为调节第一模块传感器框架(208a)相对于主传感器框架(204)的位置和/或对准；和/或第二光学控制回路(233b)，其配置为调节第二光学元件(126)相对于第二模块传感器框架(208b)的位置和/或对准；以及第二模块控制回路(216b)，其配置为调节第二模块传感器框架(208b)相对于主传感器框架(204)的位置和/或对准。
技术研发人员：R.弗赖曼;J.拜耳;S.弗里切
受保护的技术使用者：卡尔蔡司SMT有限责任公司
文档号码：201680035728
技术研发日：2016.06.17
技术公布日：2018.03.20