反射镜及镜保持机构的制作方法

本发明涉及具有凹曲面状的反射面的反射镜。另外，本发明涉及具备该反射镜的镜保持机构。

背景技术：

以往，已知有一种投射光学系统，其具备：镜筒；以及反射镜，在该反射镜形成有将透过了镜筒内的透镜的图像光反射的反射面(例如，参照专利文献1)。专利文献1中所记载的投射光学系统具备：保持反射镜的镜保持部件；以及保持镜保持部件并且固定于镜筒的固定部件。在反射镜的反射面的反侧面形成有用于调整镜筒与反射镜的相对位置的平面。在专利文献1中所记载的投射光学系统中，在调整镜筒与反射镜的相对位置时使用准直仪。准直仪具备：工作台；配置于工作台的上方的光源部；以及用于调整工作台和光源部的位置及角度的调整部。

在专利文献1中所记载的投射光学系统中，在调整镜筒与反射镜的相对位置时，例如，首先，以镜筒的基准面与工作台的上表面实质上平行的方式将镜筒设置于工作台。之后，将固定部件安装在镜筒，将保持有反射镜的状态下的镜保持部件安装于固定部件。之后，从光源部射出的光碰到形成于反射镜的反侧面的平面。另外，在确认被平面反射的光的同时，调整反射镜相对于镜保持部件的角度，直至镜筒的基准面与平面成为实质上平行为止。

【现有技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开2014-145894号公报

技术实现要素：

在专利文献1中所记载的投射光学系统中，若形成于反射镜的反侧面的平面的面精度(平面度)低，则不易在确认被平面反射的光的同时，适当调整镜筒与反射镜的相对位置。另外，在该投射光学系统中，若形成于反射镜的反侧面的平面的反射率低，则不易在确认被平面反射的光的同时，适当调整镜筒与反射镜的相对位置。因此，在专利文献1中所记载的投射光学系统中，必须以形成于反射镜的反侧面的平面的面精度变高，并且平面的反射率变高的方式制造反射镜，由此反射镜的制造成本变高。

因此，本发明的课题在于提供一种反射镜，根据本发明，不仅在装配有反射镜的投射光学系统中能够适当调整镜筒与反射镜的相对位置，而且也能够降低反射镜的制造成本。另外，本发明的课题在于提供一种具备该反射镜的镜保持机构。

为了解决上述课题，本发明的反射镜具有凹曲面状的反射面，该反射镜具有如下特征：将形成有反射面的一侧的面设为正面、将正面的相反侧的面设为反面、将与反射镜的光轴平行的方向设为第1方向、将第1方向中的从正面朝向反面的方向设为第2方向时，在反面形成有：与第1方向垂直的平面、以及从平面的周围的至少一部分朝向第2方向立起的壁面。

在本发明的反射镜中，在形成有反射面的正面的相反侧的面即反面形成有：与第1方向垂直的平面、以及从平面的周围的至少一部分朝向第2方向立起的壁面。因此，在装配有本发明的反射镜的投射光学系统中调整镜筒与反射镜的相对位置时，即使将形成为平板状的调整用镜配置在反射镜的平面上，也能够通过壁面防止配置在平面上的调整用镜的偏移并在固定的位置配置调整用镜。因此，在该投射光学系统中，能够在确认被调整用镜反射的光的同时，适当调整镜筒与反射镜的相对位置。即，在该投射光学系统中，即使不利用被反射镜的平面反射的光，也能够适当调整镜筒与反射镜的相对位置。因此，在本发明中，即使不以反射镜的平面的面精度变高并且平面的反射率变高的方式制造反射镜，也能够适当调整镜筒与反射镜的相对位置。其结果是，在本发明中，不仅能够适当调整镜筒与反射镜的相对位置，而且还能够降低反射镜的制造成本。

在本发明中，优选为壁面以包围平面的整周的方式从平面的整周朝向第2方向立起。根据这种构成，能够可靠地防止配置在平面上的调整用镜的偏移。另外，根据这种构成，在反射镜的反面形成有朝向正面凹陷的凹部，由此能够在反射镜的反面形成平面及壁面，因此能够容易形成平面及壁面。另外，在这种情况下，优选为平面形成在反射镜的光轴上。根据这种构成，与在从反射镜的光轴偏移的位置形成有平面的情况相比，容易在反射镜的反面形成凹部。

在本发明中，优选为在平面形成有朝向第2方向突出的三个以上的突起部。根据这种构成，调整用镜放置于三个以上的突起部，因此能够以调整用镜的反射面与第1方向垂直的方式在反射镜的平面上配置调整用镜。即，能够在反射镜的平面上高精度地配置调整用镜。

本发明中，优选为在从第1方向观察时，三个以上的突起部配置为包围平面的中心。另外，在这种情况下，优选为在从第1方向观察时，三个突起部相对于平面的中心呈等角度间距地配置。根据这种构成，能够以3点平衡性良好地支承调整用镜，因此能够在反射镜的平面上更高精度地配置调整用镜。

本发明的反射镜能够用于具备保持该反射镜的镜保持部件的镜保持机构中。在装配有该镜保持机构的投射光学系统中，不仅能够适当调整镜筒与反射镜的相对位置，而且也能够降低反射镜的制造成本。

(发明效果)

如上所述，在本发明中，不仅能够在装配有反射镜的投射光学系统中适当调整镜筒与反射镜的相对位置，而且也能够降低反射镜的制造成本。

附图说明

图1是装配有本发明实施方式所涉及的反射镜的投射光学系统的立体图。

图2是从不同的角度示出图1所示的投射光学系统的立体图。

图3是图1所示的镜保持机构的分解立体图。

图4是从与图3不同的角度示出图1所示的镜保持机构的分解立体图。

图5是图1所示的镜保持机构的纵剖视图。

图6是图1所示的镜保持机构的横剖视图。

图7是示出从图5的e-e方向观察的反射镜的平面及其周边部分的放大图。

图8是图5的f部的放大图。

图9是图1所示的投射光学系统中调整镜筒与反射镜的相对位置时使用的准直仪的示意图。

图10是用于说明图1所示的投射光学系统中进行反射镜的调整时的状态的立体图。

(符号说明)

1镜保持机构

2反射镜

2a反射面

2h反面

2j平面

2k壁面

2m突起部

3镜保持框(镜保持部件)

l1反射镜的光轴

z第1方向

z2第2方向

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

(投射光学系统的概略构成)

图1是搭载有本发明实施方式涉及的反射镜2的投射光学系统4的立体图。图2是从不同的角度示出图1所示的投射光学系统4的立体图。

本实施方式的反射镜2具备曲面状的反射面2a。该反射镜2构成镜保持机构1的一部分，该镜保持机构1具有作为保持反射镜2的镜保持部件的镜保持框3。该镜保持机构1构成投射光学系统4的一部分。投射光学系统4是放大来自图像调整元件(图示省略)的图像光并投射到屏幕等的投射面的系统。该投射光学系统4具备成像光学系统，成像光学系统通过多个透镜构成。在投射光学系统4中，从图像调整元件射出并透过成像光学系统的图像光在反射面2a被反射，被放大投射到投射面上。在该投射光学系统4中，通过使用反射面2a能够使投射视场角广角化。因此，在投射光学系统4中，即使是较短的投射距离，也能够将大尺寸的投射图像向投射面投射。

在以下的说明中，将与反射镜2的光轴l1平行的方向(图1等的z方向)设为“前后方向”，将与前后方向垂直的图1等的x方向设为“左右方向”，将与前后方向和左右方向垂直的图1等的y方向设为“上下方向”。另外，将z方向的一侧即z1方向设为“前方向”，将z方向的另一侧即z2方向设为“后(后面)方向”，将x方向的一侧即x1方向设为“右方向”，将x方向的另一侧即x2方向设为“左方向”，将y方向的一侧即y1方向设为“上方向”，将y方向的另一侧即y2方向设为“下方向”。本实施方式的前后方向(z方向)是第1方向。

投射光学系统4具备内周侧配置有构成成像光学系统的多个透镜的镜筒5和固定有镜保持框3并且固定于镜筒5的固定框6。多个透镜各自保持于透镜框。透镜框以能够沿前后方向移动的方式配置于镜筒5的内周侧。另外，在图1、图2中，仅示出镜筒5的后端侧的一部分。

以成像光学系统的光轴l2与前后方向平行的方式配置镜筒5。另外，镜筒5配置为成像光学系统的光轴l2与反射镜2的光轴l1大致一致。图像调整元件配置于相比镜筒5更加前侧的位置。从图像调整元件射出的图像光向后面侧透过成像光学系统。固定框6是保持镜保持框3的框形状的部件。固定框6具备固定于镜筒5的被固定部6a和固定有镜保持框3的固定部6b。被固定部6a构成固定框6的前侧部分，固定部6b构成固定框6的后面侧部分。被固定部6a通过螺栓7固定于镜筒5的后端侧。

(镜保持机构的构成)

图3是图1所示的镜保持机构1的分解立体图。图4是从与图3不同的角度示出图1所示的镜保持机构1的分解立体图。图5是图1所示的镜保持机构1的纵剖视图。图6是图1所示的镜保持机构1的横剖视图。图7是示出从图5的e-e方向观察平面2j及其周边部分的放大图。图8是图5的f部的放大图。

镜保持机构1除了具备上述反射镜2和镜保持框3之外，还具备：能够转动地保持于镜保持框3的两个凸轮部件9；一端侧与反射镜2卡合并且另一端侧与镜保持框3以及凸轮部件9卡合的两个轴部件10。另外，镜保持机构1具备：对反射镜2的上侧部分施加向前侧的力的板簧11；对反射镜2的下侧部分施加向后面侧的力的压缩螺旋弹簧12；将反射镜2的下侧部分和镜保持框3的下侧部分连接的螺栓13。

轴部件10形成为带凸缘的圆柱状。轴部件10由构成轴部件10的一端侧部分的圆柱状的轴部10a、构成轴部件10的另一端侧部分的圆柱状的轴部10b、以及配置于轴部10a与轴部10b之间的圆板状的凸缘部10c构成。轴部10a的长度比轴部10b的长度短。螺栓13例如是带六角孔的螺栓，其由轴部13a和头部13b构成。在轴部13a的顶端侧形成有外螺纹。

反射镜2形成为大致曲板状，其中，形成有反射面2a一侧的面即正面成为凹曲面状，与正面相反侧的面即反面2h成为凸曲面状。即，在反射镜2中形成有凹曲面状的反射面2a。在本实施方式中，以正面成为反射镜2的前面且反面2h成为反射镜2的后面的方式配置反射镜2。本实施方式的后面方向(z2方向)是第2方向，该第2方向是从第1方向即前后方向中的形成有反射面2a的正面朝向反面2h的方向。

在反射镜2的上端的中心位置处，朝向上侧突出形成有与板簧11抵接的弹簧抵接部2b。在反射镜2的下端的中心位置处，朝向下侧突出形成有与螺栓13卡合的螺栓卡合部2c。在螺栓卡合部2c形成有沿前后方向贯通该螺栓卡合部2c的贯通孔2d。贯通孔2d形成为圆孔状。贯通孔2d的内径大于螺栓13的轴部13a的外径。另外，如图5所示，在螺栓卡合部2c的前面形成有配置有压缩螺旋弹簧12的一部分的凹部2e。凹部2e形成为从螺栓卡合部2c的前面向后面侧凹陷。另外，凹部2e形成为从前后方向观察时的内周面的形状为圆形状。该凹部2e与贯通孔2d配置在同轴上。

在反射镜2的左右方向上的两端面分别形成有与轴部件10的轴部10a卡合的卡合槽2f。卡合槽2f形成为卡合槽2f的长度方向与前后方向一致。另外，卡合槽2f形成为向左右方向的内侧凹陷。卡合槽2f的前端侧开口，从左右方向观察时的卡合槽2f的形状成为大致u形状。卡合槽2f的上下方向的宽度与轴部10a的外径大致相等。在反射镜2的反面2h的左右方向的两端侧分别形成有与前后方向垂直的平面2g。在本实施方式中，在卡合槽2f的后面侧形成有平面2g，卡合槽2f和平面2g形成为在前后方向上重叠。

另外，在反射镜2的反面2h形成有与前后方向垂直的平面2j。平面2j形成为从前后方向观察时的形状为圆形状。另外，平面2j形成于反射镜2的光轴l1上。具体而言，平面2j形成为光轴l1经过平面2j的中心。另外，在反面2h形成有壁面2k，该壁面2k以包围平面2j的整周的方式从平面2j的整周朝向后面侧立起。即，在反面2h形成有从平面2j的整周朝向后面侧立起的圆筒面状的壁面2k。在本实施方式中，前后方向观察时的形状成为圆形状的凹部以朝向前侧凹陷且光轴l1经过该凹部的中心的方式形成于反面2h，由此形成平面2j和壁面2k。另外，平面2j成为对光进行反射的反射面。

如图7、图8所示，在平面2j形成有朝向后面侧突出的三个或三个以上的突起部2m。在本实施方式中，形成有三个突起部2m。三个突起部2m形成为相同形状。另外，三个突起部2m配置为从前后方向观察时包围平面2j的中心。即，三个突起部2m配置为从前后方向观察时包围光轴l1。另外，三个突起部2m配置为从前后方向观察时相对于平面2j的中心呈等角度间距。即，在平面2j形成有三个突起部2m，三个突起部2m配置为从前后方向观察时相对于平面2j的中心呈120°间距。另外，三个突起部2m配置为从前后方向观察时相对于平面2j的中心呈同心状。另外，突起部2m的表面形成为球面状。

镜保持框3是保持反射镜2的框形状的部件。镜保持框3具备：以在左右方向上夹持反射镜2的方式分别配置于反射镜2的左右两侧的两个侧面部3a；放置并固定于固定框6的固定部6b的两个被固定部3b；连结两个侧面部3a的连结部3c、连结部3d。侧面部3a形成为大致平板状，并且被配置为侧面部3a的厚度方向与左右方向一致。两个被固定部3b分别与两个侧面部3a各自的下端侧连接。两个被固定部3b分别从两个侧面部3a各自向左右方向的外侧扩展。连结部3c形成为大致平板状，并且被配置为连结部3c的厚度方向与上下方向一致。该连结部3c连接两个侧面部3a的上端侧且后端侧。连结部3d形成为从前后方向观察时的形状呈向下侧鼓出的大致圆弧状，该连结部3d连接两个侧面部3a的下端侧且前端侧。另外，连结部3d相比侧面部3a更加朝向下侧突出。

两个侧面部3a从左右方向两侧夹持反射镜2的上侧部分。在侧面部3a形成有：将凸轮部件9以能够转动的方式加以支承的圆柱状的支承轴3e；用于固定凸轮部件9的圆柱状的突起部3f；供轴部件10的轴部10b插通的导孔3g；支承后述的调整用夹具30的圆筒状的轴支承部3h。支承轴3e、突起部3f以及轴支承部3h形成为从两个侧面部3a各自的左右方向的外侧的面向左右方向的外侧突出。在支承轴3e的顶端侧以及突起部3f的顶端侧形成有螺纹孔。突起部3f配置于支承轴3e的正上方。导孔3g形成为贯通侧面部3a。另外，导孔3g形成为将上下方向设为长度方向的长孔状。导孔3g的前后方向的宽度与轴部10b的外径大致相等。该导孔3g配置于支承轴3e的正下方。即，突起部3f、支承轴3e和导孔3g形成为在上下方向上从上侧开始依次排列。轴支承部3h配置于相比导孔3g更加后面侧的位置处。

在被固定部3b形成有沿上下方向贯通该被固定部3b的贯通孔3i。被固定部3b在放置于固定框6的固定部6b的状态下通过插通于贯通孔3i的螺栓15而固定于固定部6b。另外，在被固定部3b形成有用于相对于固定框6调整镜保持框3的左右方向的位置的螺纹孔3j。具体而言，从两个被固定部3b各自的左右方向的外侧面向左右方向的内侧形成有螺纹孔3j。

在连结部3c的上表面的中心位置处，朝向上侧突出形成有用于固定板簧11的弹簧固定部3k。在弹簧固定部3k上形成有抵接部3m(参照图5)，反射镜2的弹簧抵接部2b从后面侧抵接于该抵接部3m上。另外，在弹簧固定部3k的后面侧，形成有用于固定板簧11的平面状的弹簧固定面3n。弹簧固定面3n配置于相比抵接部3m更加后面侧的位置处。在连结部3c的左右方向上的两端侧，朝向上侧突出形成有用于定位并固定后述的调整用夹具31的圆柱状的突起部3s。在突起部3s的顶端侧形成有螺纹孔。

在连结部3d的下端侧，形成有与螺栓13的外螺纹卡合的螺纹孔3p、和配置有压缩螺旋弹簧12的一部分的凹部3r。凹部3r形成为从连结部3d的后面向前侧凹陷。另外，凹部3r形成为从前后方向观察时的内周面的形状成为圆形状。螺纹孔3p形成于凹部3r的前侧。该螺纹孔3p与凹部3r配置在同轴上。

凸轮部件9形成为大致圆板状。在凸轮部件9的中心位置处，形成有供镜保持框3的支承轴3e插入的插入孔9a。插入孔9a形成为贯通凸轮部件9。在凸轮部件9的外周面形成有齿轮9b。齿轮9b形成于凸轮部件9的外周面的整周上。在凸轮部件9的一个面上形成有与轴部件10的轴部10b的顶端侧部分卡合的凸轮槽9c、和用于防止转动的凸轮部件9与镜保持框3的突起部3f之间的干扰的退避槽9d。凸轮槽9c和退避槽9d配置为从凸轮部件9的一个面向另一个面凹陷。

凸轮槽9c形成为大致半圆弧状。凸轮部件9的径向上的凸轮槽9c的外侧面成为轴部10b的顶端侧部分所接触的凸轮面9e。凸轮面9e形成为凸轮部件9的中心与凸轮面9e的距离在凸轮部件9的圆周方向上连续地变化的曲面状。退避槽9d形成为大致半圆弧状。另外，退避槽9d形成于没有形成凸轮槽9c的部分。在形成有退避槽9d的范围内，形成有贯通凸轮部件9的圆弧状的贯通孔9f。

凸轮部件9配置于相比侧面部3a更加左右方向外侧的位置处。即，两个凸轮部件9分别配置于左右方向上的两个侧面部3a各自的两外侧。另外，凸轮部件9配置为形成有凸轮槽9c以及退避槽9d的面朝向左右方向的内侧。该凸轮部件9能够转动地保持于侧面部3a。具体而言，凸轮部件9是在侧面部3a的支承轴3e插入于插入孔9a的状态下，通过从左右方向上的凸轮部件9的外侧与支承轴3e的螺纹孔卡合的螺栓17安装于侧面部3a。凸轮部件9能够转动地支承于支承轴3e，并且将左右方向设为转动的轴向而转动。在凸轮部件9保持于侧面部3a的状态下，侧面部3a的突起部3f配置于退避槽9d中。在贯通孔9f中，从左右方向上的凸轮部件9的外侧插通有螺栓18。螺栓18的顶端侧与突起部3f的螺纹孔卡合。螺栓18实现将凸轮部件9固定于侧面部3a的功能。

如上所述，反射镜2配置于两个侧面部3a之间。在该状态下，如图6所示，轴部件10的轴部10a卡合于反射镜2的卡合槽2f。另外，轴部10b插通于导孔3g。轴部10b的顶端侧部分与凸轮槽9c卡合，与凸轮面9e接触。因此，当凸轮部件9转动时，轴部件10沿着导孔3g在上下方向上连续地移动，并且反射镜2的右端侧和/或左端侧与轴部件10一起在上下方向上连续地移动。另外，轴部10b插通于导孔3g，并且轴部10b的顶端侧部分卡合于凸轮槽9c，轴部10b从反射镜2向左右方向的外侧突出。具体而言，两个轴部10b各自从反射镜2向左右方向的两外侧突出。在配置于右侧的轴部件10的凸缘部10c与配置于右侧的侧面部3a之间配置有波形垫圈21。在波形垫圈21的内周侧，插通有轴部10b。波形垫圈21朝向配置于左侧的侧面部3a，对反射镜2以及两个轴部件10施力。

另外，在反射镜2配置于两个侧面部3a之间的状态下，反射镜2的弹簧抵接部2b配置于相比镜保持框3的弹簧固定部3k的抵接部3m更加后面侧的位置处。另外，在该状态下，反射镜2的螺栓卡合部2c配置于相比镜保持框3的连结部3d的下端侧部分更加后面侧的位置处。板簧11通过螺栓22而固定于弹簧固定部3k的弹簧固定面3n。板簧11以弹簧抵接部2b从后面侧与抵接部3m抵接的方式对弹簧抵接部2b施力。

另外，如图5所示，压缩螺旋弹簧12的前端侧配置于镜保持框3的凹部3r中，压缩螺旋弹簧12的后端侧配置于反射镜2的凹部2e中。螺栓13的头部13b配置于相比螺栓卡合部2c更加后面侧的位置处。轴部13a插通于贯通孔2d以及压缩螺旋弹簧12的内周侧。另外，形成于轴部13a的外螺纹卡合于连结部3d的螺纹孔3p。压缩螺旋弹簧12对螺栓卡合部2c施力，使得螺栓卡合部2c与连结部3d的下侧部分相互分离，并且螺栓卡合部2c与头部13b接触。因此，反射镜2的下侧部分以相对于镜保持框3的下侧部分不移动的方式保持于镜保持框3的下侧部分。

(镜筒与反射镜的相对位置的调整方法)

图9是图1所示的投射光学系统4中调整镜筒5与反射镜2的相对位置时使用的准直仪25的示意图。图10是用于说明图1所示的投射光学系统4中进行反射镜2的调整时的状态的立体图。

对于投射光学系统4，例如，在制造工厂中组装投射光学系统4时，使用准直仪25调整镜筒5与反射镜2的相对位置。如图9所示，准直仪25具备：用于放置投射光学系统4的工作台26；向工作台26射出调整用的光并且对反射的光进行计测的准直仪部27；用于调整工作台26和准直仪部27的位置及角度的调整部28。在调整镜筒5与反射镜2的相对位置时，首先，通过调整部28调整准直仪25，使得准直仪部27的光轴l3与工作台26的装配面26a垂直。

之后，在工作台26的装配面26a设置投射光学系统4。具体而言，以配置于镜筒5的内周侧的成像光学系统的光轴l2与准直仪部27的光轴l3平行的方式在装配面26a设置投射光学系统4。另外，以投射光学系统4的后面侧(z2方向侧)朝向准直仪部27侧、且投射光学系统4的前侧(z1方向侧)朝向工作台26侧的方式在装配面26a设置投射光学系统4。之后，通过调整部28调整准直仪25，使得光轴l3通过反射镜2的平面2j。

之后，将形成为圆板状的调整用镜29(参照图8)放置于反射镜2的突起部2m，从准直仪部27向调整用镜29射出调整用的光。另外，在确认被调整用镜29反射的光的同时，调整反射镜2的角度，使得调整用镜29的反射面29a与光轴l3垂直。具体而言，通过调整螺栓13相对于镜保持框3的螺纹孔3p的拧入量，调整将左右方向设为转动的轴向的反射镜2的角度。

另外，通过按压反射镜2的平面2g，调整将上下方向设为转动的轴向的反射镜2的角度。在本实施方式中，使用调整用夹具31，调整将上下方向设为转动的轴向的反射镜2的角度。调整用夹具31具备：夹具主体部32、用于将夹具主体部32固定于镜保持框3的两根固定用螺栓33、以及用于调整反射镜2的角度的两根调整用螺栓34。固定用螺栓33具备握持部33a和从握持部33a突出的轴部(图示省略)，在轴部形成有外螺纹。调整用螺栓34具备握持部34a和从握持部34a突出的轴部34b，在轴部34b形成有外螺纹。轴部34b的顶端成为平面状(参照图6)。

夹具主体部32由放置并固定于镜保持框3的连结部3c的平板状的被固定部32a、和保持调整用螺栓34的两个螺栓保持部32b构成。在被固定部32a的左右两端侧，形成有供固定用螺栓33的轴部插通的贯通孔(图示省略)。螺栓保持部32b形成为与前后方向垂直的平板状。两个螺栓保持部32b分别与被固定部32a的左右两端侧连接。另外，两个螺栓保持部32b形成为分别从被固定部32a的左右两端侧弯折成直角。在螺栓保持部32b，形成有与调整用螺栓34的轴部34b的外螺纹卡合的螺纹孔32c(参照图6)。

调整用夹具31是通过在连结部3c放置被固定部32a并且固定用螺栓33的外螺纹拧入突起部3s的螺纹孔，从而安装于镜保持框3。安装于夹具主体部32的两根调整用螺栓34的轴部34b的顶端配置于能够分别从后面侧与反射镜2的两个平面2g各自抵接的位置。调整调整用螺栓34相对于螺纹孔32c的拧入量并调整两个平面2g的按压量，由此调整将上下方向设为转动的轴向的反射镜2的角度。将上下方向设为转动的轴向的反射镜2的角度的调整结束后，从镜保持框3拆下调整用夹具31。

另外，本实施方式中，在螺栓15松动的状态下，以调整用螺栓(图示省略)的顶端与固定框6接触的方式，从左右方向的外侧使调整用螺栓卡合在镜保持框3的螺纹孔3j，并且调整调整用螺栓相对于螺纹孔3j的拧入量，从而调整镜保持框3相对于固定框6的左右方向的安装位置，由此调整左右方向上的反射镜2的位置。另外，在螺栓18松动的状态下，使两个凸轮部件9转动而相对于镜保持框3使反射镜2的左右两侧升降，由此能够调整上下方向上的反射镜2的位置或将前后方向设为转动的轴向的反射镜2的角度。

在本实施方式中，使用调整用夹具30，调整上下方向上的反射镜2的位置或将前后方向设为转动的轴向的反射镜2的角度。调整用夹具30具有：形成为圆柱状的握持部30a；在外周面形成有与凸轮部件9的齿轮9b啮合的夹具侧齿轮30b的齿轮部30c；能够转动地支承于侧面部3a的轴支承部3h的圆柱状的转动中心轴部30d。在调整上下方向上的反射镜2的位置或将前后方向设为转动的轴向的反射镜2的角度时，以齿轮9b与夹具侧齿轮30b啮合的方式将转动中心轴部30d插入轴支承部3h之后，握住握持部30a而使调整用夹具30转动。当调整用夹具30转动时，凸轮部件9也一起转动，由此上下方向上的反射镜2的位置或将前后方向设为转动的轴向的反射镜2的角度被调整。另外，调整结束时，调整用夹具30被拆下。

(本实施方式的主要效果)

如以上说明，在本实施方式中，在反射镜2的反面2h形成有：与前后方向垂直的平面2j；以包围平面2j的整周的方式从平面2j的整周朝向后面侧立起的壁面2k。因此，本实施方式中，在投射光学系统4中调整镜筒5与反射镜2的相对位置时，即使将调整用镜29配置于反射镜2的平面2j上，也能够通过壁面2k防止配置在平面2j上的调整用镜29的偏移并将调整用镜29配置于固定的位置。因此，在本实施方式中，如上所述，能够在确认被调整用镜29反射的光的同时，适当调整反射镜2的角度。即，在本实施方式中，即使不利用被反射镜2的平面2j反射的光，也能够适当调整反射镜2的角度。因此，在本实施方式中，即使不以平面2j的面精度变高并且平面2j的反射率变高的方式制造反射镜2，也能够适当调整镜筒5与反射镜2的相对位置。其结果是，在本实施方式中，能够适当调整镜筒5与反射镜2的相对位置，也能够降低反射镜2的制造成本。

另外，在本实施方式中，壁面2k是以包围平面2j的整周的方式从平面2j的整周向后面侧立起，因此能够可靠地防止配置在平面2j上的调整用镜29的偏移。另外，在本实施方式中，在反射镜2的反面2h形成有向前侧凹陷的凹部，从而能够在反面2h形成平面2j及壁面2k，因此能够容易地形成平面2j及壁面2k。另外，在本实施方式中，平面2j形成在反射镜2的光轴l1上，因此与平面2j形成于从光轴l1偏移的位置的情况相比，容易在形成为大致曲板状的反射镜2的反面2h形成凹部。

在本实施方式中，在平面2j形成有向后面侧突出的三个突起部2m，在调整镜筒5与反射镜2的相对位置时，调整用镜29放置于三个突起部2m。即，在本实施方式中，在调整镜筒5与反射镜2的相对位置时，调整用镜29通过三个突起部2m进行3点支承。因此，在本实施方式中，能够以调整用镜29的反射面29a与前后方向垂直的方式(即，与反射镜2的光轴l1垂直的方式)，在平面2j上配置调整用镜29。即，能够在平面2j上高精度地配置调整用镜29，其结果是，能够高精度地调整镜筒5与反射镜2的相对位置。

(其他实施方式)

在上述实施方式中，平面2j形成为光轴l1经过平面2j的中心，但平面2j也可以形成为光轴l1经过从平面2j的中心偏移的位置。在这种情况下，平面2j也可以形成于从光轴l1偏移的位置。即，也可以在与光轴l1不相交的位置形成有平面2j。另外，上述实施方式中，壁面2k以包围平面2j的整周的方式从平面2j的整周朝向后面侧立起，但壁面2k也可以形成为从平面2j的周围的一部分朝向后面侧立起。在这种情况下，例如，从反面2h朝向后面侧立起的壁部的内侧面成为壁面2k，不在反面2h形成用于形成壁面2k的凹部。

在上述实施方式中，三个突起部2m配置为从前后方向观察时相对于平面2j的中心呈等角度间距，但三个突起部2m也可以配置为相对于平面2j的中心不呈等角度间距。另外，在上述实施方式中，三个突起部2m配置为从前后方向观察时相对于平面2j的中心呈同心状，但三个突起部2m也可以配置为相对于平面2j的中心不呈同心状。进而，在上述实施方式中，在平面2j形成有三个突起部2m，但在平面2j形成的突起部2m的数目也可以是四个或四个以上。

在上述实施方式中，突起部2m是表面的形状呈球面状的突起，但突起部2m也可以是形成为圆锥状、圆锥台状、圆柱状、多棱锥状、多棱锥台状或者多棱柱状等的突起。另外，突起部2m也可以是形成为呈平板状或者u形状等的曲板状等的突起。在这种情况下，只要是放置于突起部2m的调整用镜29稳定，则突起部2m的数目也可以是两个或者一个。另外，在上述实施方式中，平面2j形成为从前后方向观察时的形状成为圆形状，但平面2j也可以形成为从前后方向观察时的形状成为椭圆形状或者多边形状等的其他形状。在这种情况下，调整用镜29与平面2j的形状对应地形成为椭圆板状或者多边板状等。

另外，在上述实施方式中，在调整镜筒5与反射镜2的相对位置时，在平面2j上配置调整用镜29，但只要能够确保平面2j的面精度及平面2j的反射率，则在调整镜筒5与反射镜2的相对位置时，也可以不在平面2j上配置调整用镜29。在这种情况下，从准直仪部27向平面2j射出调整用的光，能够在确认被平面2j反射的光的同时，以平面2j与光轴l3垂直的方式调整反射镜2的角度即可。