旋转喷淋头及湿法蚀刻机的制作方法

本发明涉及一种液晶面板技术，特别是一种用于湿式蚀刻的旋转喷淋头及湿法蚀刻机。

背景技术：

目前液晶面板制备中，湿法蚀刻普遍用垂直于玻璃前进方向进行摇摆的喷淋方式进行，此种方式容易产生蚀刻不均或色泽不均等问题；而且传统的摇摆喷淋方式所需的喷淋管道数量较多，一机台有三个蚀刻槽，每个蚀刻槽有54个喷洒头，一台机台总共喷洒头数量就有162个，导致用料成本较高；为了确保喷洒头喷洒状况正常不堵塞，还需花费更多的人力进行维护、点检。

技术实现要素：

为克服现有技术的不足，本发明提供一种旋转喷淋头及湿法蚀刻机，使得可喷淋更加均匀而且降低用料成本。

本发明提供了一种旋转喷淋头，包括安装在旋转接头上的喷淋头本体，所述喷淋头本体包括至少N根沿旋转接头的径向分布的喷淋管，N≥3的正整数，喷淋管相对的一端相互连接并连通，旋转接头与喷淋管的连接处连接，在喷淋管的下端面上设有间距可调节的喷嘴，喷嘴与喷淋管的管腔13连通。

进一步地，所述喷淋管的下端管壁上设有沿喷淋管的轴向设置的滑槽，喷嘴设于滑槽中，实现喷嘴之间的间距可调节，所述喷嘴通过弹簧软管与喷淋管的管腔13连通。

进一步地，所述喷嘴上设有用于将其固定于滑槽上的锁紧机构。

进一步地，所述锁紧机构包括两片滑片，滑片上设有孔，其中一块滑片设于滑槽内，另一块滑片设于喷淋管的下端，两片滑片分别通过孔套在喷嘴上并夹在滑槽的两侧边缘上，两片滑片通过锁紧螺栓紧固与滑槽上。

进一步地，所述锁紧机构包括截面为工字形的滑块，滑块的相对两侧具有凹槽，凹槽套在滑槽的两侧边缘上，在凹槽与滑槽的两侧边缘相对的槽壁上设有具有弹性的弹片，弹片为弧形；在滑槽的两侧边缘的上下两侧表面上设有沿滑槽的轴向间隔设置的弧形坑，弹片分别置于弧形坑中，通过每侧上下两个弹片与滑槽相同一侧的边缘上的弧形坑接触，使滑块固定在滑槽上，所述喷嘴设于滑块上的通孔中。

进一步地，相邻两根喷淋管之间的夹角为360°/N。

进一步地，所述N＝3，相邻两根喷淋管2之间的夹角为120°。

进一步地，所述N＝4，相邻两根喷淋管2之间的夹角为90°。

进一步地，所述N＝6，相邻两根喷淋管2之间的夹角为60°。

本发明还提供了一种湿法蚀刻机，包括所述的旋转喷淋头。

本发明与现有技术相比，通过具有三根以上喷淋管组成的喷淋头本体，在喷淋管上设置可调节间距的喷嘴，解决了喷淋不均匀的问题导致的蚀刻过程中较易产生蚀刻不均或色泽不均(Mura)等问题，减少了喷淋管的数量，使用料成本得以降低。

附图说明

图1是本发明的仰视图；

图2是本发明第一种锁紧机构的剖视图一；

图3是本发明第一种锁紧机构的剖视图二；

图4是本发明使用示意图；

图5是本发明具有四根喷淋管的结构示意图；

图6是本发明具有六根喷淋管的结构示意图；

图7是本发明第二种锁紧机构的剖视图一；

图8是本发明第二种锁紧机构的剖视图二。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1所示，本发明的一种旋转喷淋头，包括安装在旋转接头上的喷淋头本体1，喷淋头本体1包括至少N根沿旋转接头的径向分布的喷淋管2，其中，N为≥3的正整数，此处，N＝3，三根喷淋管2相对的一端相互连接并连通，在三根喷淋管2的另一端上为封闭面。旋转接头的出液口(图中未示出)与三根喷淋管2的连接处连通，在喷淋管2的下端面上设有间距可调节的喷嘴3，喷嘴3沿喷淋管2的轴向间隔设置，相邻两个喷嘴3之间的间距可调节，从而满足不同尺寸的基板使用，喷嘴3与喷淋管2的管腔13连通，相邻两根喷淋管2之间的夹角为120°，旋转接头的进液口与湿法蚀刻机上的喷淋管连接。

本发明中，旋转接头可以为现有技术中驱动电机驱动设于喷淋头本体1上的转轴实现旋转，在此不做具体限定，旋转接头的转速还可以通过可编程逻辑控制器(PLC)进行控制。

如图2和图3所示，喷淋管2的下端管壁上设有沿喷淋管2的轴向设置的滑槽4，喷嘴3设于滑槽4中，实现了喷嘴3之间的间距可调节，喷嘴3通过弹簧软管7与喷淋管2的管腔13连通，从而实现了喷淋的作用，具体地，弹簧软管7与喷淋管2的管腔13之间以及弹簧软管7与喷嘴3之间通过管接头连接；

在喷嘴3上还设有用于将其固定于滑槽4上的锁紧机构，如图2和图3所示，为本发明的其中一种锁紧机构，所述锁紧机构包括两片滑片5，滑片5上设有孔，其中一块滑片5设于滑槽4内，另一块滑片5设于喷淋管2的下端位于滑槽4处，两片滑片5分别通过孔套在喷嘴3上并夹在滑槽4的两侧边缘14上，两片滑片5通过锁紧螺栓6紧固与滑槽4上，喷嘴3固定于其中一块滑片5的孔中，优选固定于滑槽4内的滑片5上。

所述滑片5为矩形，其长度方向沿滑槽4的轴向设置，锁紧螺栓6设于滑片5的长边两侧中部上。

在需要移动时，通过拧松锁紧螺栓6，使两片滑片5失去对滑槽4的两侧边缘14的夹紧力后，推动喷嘴3移动至相应位置后，拧紧锁紧螺栓6，使两片滑片5与滑草4的两侧边缘14夹紧，将喷嘴3固定在滑槽4上。

如图7和图8所示，本发明的另一种锁紧机构包括截面为工字形的滑块8，滑块8的相对两侧具有凹槽9，凹槽9套在滑槽4的两侧边缘14上，在凹槽9与滑槽4的两侧边缘14相对的槽壁上设有具有弹性的弹片10，弹片10为弧形；在滑槽4的两侧边缘14的上下两侧表面上设有沿滑槽4的轴向间隔设置的弧形坑12，弹片10分别置于弧形坑12中，通过每侧上下两个弹片10与滑槽4相同一侧的边缘上的弧形坑12接触，使滑块8被相对固定在滑槽4上，所述喷嘴3设于滑块8上的通孔中。

移动喷嘴3时，只需要推动滑块8，使弹片10与在弧形坑12的边缘被挤压从而离开弧形坑12，进入下一个弧形坑12，最终将滑块8推动至相应位置后，使弹片10进入弧形坑12中，将喷嘴3固定在滑槽4上。

在本实施例中，弹片10为具有弹性的钢片。

如图8所示，弹片10的固定可采用以下方式实现，在凹槽9的上下两侧槽壁上设有插槽11，插槽11设于每个弹片10的两个端脚位置相对应处，插槽11为L字形，在弹片10的两个端脚上设有分别朝相对一端端脚弯折的弯折部101，安装时，将弯折部101插入插槽11中，从而完成装配。

如图4所示，通过PLC控制旋转接头的交流电输入，通过控制输入的电流，控制转动的速度，使蚀刻液均匀喷洒在基板15上。

如图5所示，本实施例中，喷淋管2设有4根，相邻两根喷淋管2之间的夹角为90°，形成一个十字形。

如图6所示，本实施例中，喷淋管2设有六根，相邻两根喷淋管2之间的夹角为60°。

本发明中的喷淋管2由PVC材料制成，可耐强酸环境。

本发明还公开了一种湿法蚀刻机，包括了上述的旋转喷淋头，进行要替换原湿法蚀刻机中的喷淋头即可使用，通用性强。

虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。