本发明涉及化学增幅型正型感光性有机绝缘膜树脂组合物以及由其制造的绝缘膜。
背景技术：
目前tsp(触摸屏面板，touchscreenpanel)正在向大面积化、高透射化、超薄化、轻量化、低价化发展。特别是为了实现tsp显示器的大面积化和高分辨率，核心是将边框(bezel)部分最小化，对于用于形成小于数十微米的微细电极图案的电极原料以及工程技术的开发的关心正在提高。特别是微细电极图案需要电连接，这时需要能够互相电绝缘的绝缘膜。
一般而言，绝缘膜使用有机绝缘膜，有机绝缘膜通常使用通过光和电子束进行化学反应而对于特定溶剂的溶解度发生变化的高分子化合物即感光性树脂，电极图案的微细加工采用利用有机绝缘膜在曝光后对碱性水溶液等显影液的溶解性的变化特性等由光反应引起的高分子的极性变化或交联反应。
有机绝缘膜根据感光部分对于显影液的溶解度分为正型和负型。正型光致抗蚀剂是曝光的部分通过极性变化而被显影液溶解来形成图案的方式；负型光致抗蚀剂是曝光的部分通过交联反应不溶于显影液而未被曝光的部分被溶解来形成图案的方式。
其中，负型有机绝缘膜存在在与现有生产工序中广泛使用的碱性显影液混用时产生异物的缺点，与此不同，正型有机绝缘膜具有如下优点：在显影液的互换性上没有问题，在作业环境方面有利，而且在有机膜形成后利用剥离液容易去除，从而在工序中产生不良面板时，通过去除有机膜，基板回收和再利用性显著提高。
但实际情况是，以往的正型感光性有机绝缘膜组合物在利用光致抗蚀剂显影时仍然存在显影液还渗透到曝光的部分而溶胀(swelling)的问题，不能充分满足以耐化学性为代表的耐蚀刻性等特性。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本授权专利第10-1404005号
技术实现要素：
要解决的课题
本发明的目的在于，提供能够解决以往的正型感光性有机绝缘膜组合物在利用光致抗蚀剂显影时仍然存在显影液还渗透到曝光的部分而溶胀(swelling)等问题的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物、利用它制造的绝缘膜以及包含上述绝缘膜的图像显示装置。
解决课题的方法
1.一种化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，其包含(a)粘合剂树脂、(b)光产酸剂、(c)添加剂和(d)溶剂，
上述(c)添加剂为由下述化学式1表示的化合物：
[化学式1]
(上述化学式1中，
上述r1或r2各自独立地为氢或c1-c6直链或支链的烷基，
上述m表示主链内的重复单元的个数，为1至15的整数)。
2.根据上述1所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，上述化学式1的化合物的r1或r2各自独立地为氢。
3.根据上述1所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，上述化学式1的化合物相对于(a)粘合剂树脂100重量份包含0.1至3重量份。
4.根据上述1所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，上述(a)粘合剂树脂包含(a-1)酚羟基或羧基的至少一部分被酸分解性基团保护的树脂、(a-2)含有氧杂环丁烷基的丙烯酸树脂、以及(a-3)含有环氧基的丙烯酸树脂。
5.根据上述4所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，上述(a-1)树脂包含由下述化学式2表示的单体而进行聚合：
[化学式2]
(式中，r为被碳原子数1至6的烷基取代或未取代的碳原子数1至6的烷基、四氢吡喃基、或者被碳原子数1至6的烷氧基或碳原子数4至8的环烷氧基取代或未取代的碳原子数1至6的烷基)。
6.根据上述5所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，上述化学式2的单体所形成的重复单元相对于(a-1)树脂整体包含20至60摩尔％。
7.根据上述4所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，上述(a-2)树脂包含由下述化学式3表示的重复单元：
[化学式3]
(式中，r1、r2和r3各自独立地为氢或甲基，
r4为来自从由下述式(1)至(3)组成的组中选择的单体的结构，
r5为来自从由(甲基)丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基邻苯二甲酸酯和2-(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯组成的组中选择的单体的结构，
r6为来自由下述式(4)表示的单体的结构，
r7为碳原子数1至6的亚烷基，
r8为碳原子数1至6的烷基，
a＝40至80mol％，b＝5至45mol％，c＝10至55mol％)。
8.根据上述4所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，上述(a-3)树脂包含由下述化学式4表示的单体而进行聚合：
[化学式4]
(式中，r1为氢原子或甲基；r2为碳原子数1至6的亚烷基；r3和r4各自独立地为氢原子或碳原子数1至6的烷基，或者可互相连接而形成碳原子数3至8的环；m为1至6的整数)。
9.根据上述8所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，由上述化学式4表示的单体形成的重复单元相对于(a-3)树脂整体包含5至60摩尔％。
10.根据上述4所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，上述粘合剂树脂相对于全部粘合剂树脂100重量份包含(a-1)树脂30至55重量份、(a-2)树脂1至25重量份和(a-3)树脂30至60重量份。
11.一种绝缘膜，其由上述1至10中任一项所述的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物固化而成。
12.一种图像显示装置，其包括上述11所述的绝缘膜。
发明效果
如果使用根据本发明的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，则对蚀刻液和剥离剂的耐化学性优异，从而显影后不发生溶胀，能够理想地维持对于作为显影液的碱性水溶液的溶解性，而且灵敏度和透射率也非常优异，显示出适当的图案角度，因此能够在绝缘膜的制造中有效地使用。
具体实施方式
本发明提供一种化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物，其包含(a)粘合剂树脂、(b)光产酸剂、(c)添加剂和(d)溶剂，上述(d)添加剂为由下述化学式1表示的化合物：
[化学式1]
(上述化学式1中，
上述r1或r2各自独立地为氢或c1-c6直链或支链的烷基，
上述m表示主链内的重复单元的个数，为1至15的整数).
根据本发明，通过在化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物中包含由上述化学式1表示的添加剂，从而对于蚀刻液和剥离剂的耐化学性优异，在显影后不发生溶胀，能够理想地维持对于作为显影液的碱性水溶液的溶解性，而且灵敏度和透射率也非常优异，显示出适当的图案角度，因此能够在绝缘膜的制造中有效地使用。
下面，通过本发明的各个方面和多种实施方式更具体地说明根据本发明的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物。
<化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物>
本发明的化学增幅型正型感光性有机绝缘膜组合物包含(a)粘合剂树脂、(b)光产酸剂、(c)由下述化学式1表示的添加剂和(d)溶剂：
[化学式1]
(上述化学式1中，
上述r1或r2各自独立地为氢或c1-c6直链或支链的烷基，
上述m表示主链内的重复单元的个数，为1至15的整数)。
(a)粘合剂树脂
根据本发明的粘合剂树脂包含(a-1)酚羟基或羧基的至少一部分被酸分解性基团保护的树脂、(a-2)含有氧杂环丁烷基的丙烯酸树脂、以及(a-3)含有环氧基的丙烯酸树脂这三种树脂。
本发明的感光性树脂组合物通过包含上述三种树脂作为粘合剂树脂，从而显影性优异，能够形成不残留残渣的感光性图案。
[酚羟基或羧基的至少一部分被酸分解性基团保护的树脂(a-1)]
(a-1)树脂发挥曝光时利用光产酸剂对固化图案赋予溶解性的功能。
(a-1)树脂是包含酚羟基或羧基的至少一部分被酸分解性基团保护的官能团的树脂，上述官能团没有特别限制，可举出包含由下述化学式2表示的单体而聚合的树脂作为例子。
[化学式2]
式中，r为被碳原子数1至6的烷基取代或未取代的碳原子数1至6的烷基、四氢吡喃基、或者被碳原子数1至6的烷氧基或碳原子数4至8的环烷氧基取代或未取代的碳原子数1至6的烷基。
在a-1树脂中，上述化学式2的单体所形成的重复单元可以根据共聚的其它单体的具体种类等适当混合，因此含量和混合比没有特别限定，从图案形成方面考虑，例如，相对于a-1树脂整体，包含20至60摩尔％，优选包含30摩尔％至60摩尔％。
a-1树脂(未被酸分解性基团保护)还可以包含由具有酚羟基或羧基的单体形成的重复单元。作为这样的单体，可举出上述的具有羧基的乙烯性不饱和单体、羟基苯乙烯、羟基甲基苯乙烯等作为例子。
从改善残膜率以及减少残渣方面考虑，优选a-1树脂的重均分子量为5000至35000，更优选为5000至20000。
[包含氧杂环丁烷基的丙烯酸树脂(a-2)]
包含根据本发明的氧杂环丁烷基的丙烯酸树脂(a-2)发挥提高显影性和经时稳定性的功能。
根据本发明的包含氧杂环丁烷基的丙烯酸树脂(a-2)可以优选为包含由下述化学式3表示的重复单元的树脂。
[化学式3]
式中，r1、r2和r3各自独立地为氢或甲基，r4为来自从由下述式(1)至(3)组成的组中选择的单体的结构，
r5为来自从由(甲基)丙烯酸、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基邻苯二甲酸酯和2-(甲基)丙烯酰氧基乙基琥珀酸酯组成的组中选择的单体的结构，
r6为来自由下述式(4)表示的单体的结构，
r7为碳原子数1至6的亚烷基，r8为碳原子数1至6的烷基，
a＝40至80mol％，b＝5至45mol％，c＝10至55mol％。
从显影性的提高带来的减少残渣以及提高经时稳定性方面考虑，优选包含氧杂环丁烷基的丙烯酸树脂(a-2)的重均分子量为5000至30000，更优选为8000至20000。
[包含环氧基的丙烯酸树脂(a-3)]
根据本发明的丙烯酸树脂(a-3)是包含环氧基的树脂，能够进行热固化，从而能够形成耐久性更高的图案。热固化例如可以在后烘工序中进行。
为了在丙烯酸树脂中导入环氧基，在本发明的一实施方式中，根据本发明的a-3树脂可以包含由下述化学式4表示的单体而进行聚合。
[化学式4]
式中，r1为氢原子或甲基；r2为碳原子数1至6的亚烷基；r3和r4各自独立地为氢原子或碳原子数1至6的烷基，或者可互相连接而形成碳原子数3至8的环；m为1至6的整数。
由化学式4表示的单体包含与r2邻接的氧原子，在链中包含氧原子的情况下，由于单键的旋转半径变大，所以玻璃化转变温度降低，从而改善流动性而加工变得容易。
另外，在化学式4中，可以通过m的调整来调节单体的长度，由此可调整所形成的图案的倾斜度，此时降低图案的倾斜度，从而在蒸镀透明电极时，可以防止固化膜的脱落或裂纹的发生。
在a-3树脂中，包含环氧基的重复单元，例如形成上述化学式4的单体的重复单元可以根据共聚的其它单体的具体种类等适当地混合，含量和混合比没有特别限定，从使改善透明性、改善加工的容易性、以及通过调整图案的倾斜度来防止蒸镀透明电极时固化膜发生裂纹的效果最大化的方面考虑，例如，相对于a-3树脂整体，优选包含5摩尔％至60摩尔。
(a-3)树脂除了上述化学式4的单体以外还可以使用能够形成丙烯酸树脂的本领域公知的单体来进行聚合。
例如，可以使用具有羧基的乙烯性不饱和单体。具有羧基的乙烯性不饱和单体的种类没有特别限定，例如可举出单羧酸类、二羧酸类以及它们的酸酐、在两末端具有羧基和羟基的单体的单(甲基)丙烯酸酯类等，优选为丙烯酸和甲基丙烯酸。它们可以单独使用或将两种以上混合使用。
另外，可以包含能够与上述单体共聚的至少一种其它单体来进行聚合。例如可举出芳香族乙烯基化合物；n-取代马来酰亚胺系化合物；(甲基)丙烯酸烷基酯类；脂环族(甲基)丙烯酸酯类；(甲基)丙烯酸芳基酯类；不饱和氧杂环丁烷化合物；被碳原子数4至16的环烷烃、二环烷烃或三环烷烃环取代的(甲基)丙烯酸酯等，可优选地举出苯乙烯、乙烯基甲苯、甲基苯乙烯、对氯苯乙烯、邻甲氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、邻乙烯基苄基甲醚、间乙烯基苄基甲醚、对乙烯基苄基甲醚等芳香族乙烯基化合物；以及(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-二环戊基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯等脂环族(甲基)丙烯酸酯类等。它们可以单独使用或将两种以上混合使用。
从改善显影性以及减少残渣方面考虑，优选包含环氧基的丙烯酸树脂(a-3)的重均分子量为5000至40000，优选为15000至30000。
根据本发明的粘合剂树脂通过混合上述的三种树脂，从而能够在不降低图案形成性能的情况下，显著提高显影性而减少残渣。
在根据本发明的粘合剂树脂中，三种树脂的混合比没有特别限定，从改善残膜率和经时稳定性方面考虑，a-1、a-3、a-2树脂的混合重量比相对于全部粘合剂树脂100重量份优选为(a-1)树脂30至55重量份、(a-2)树脂1至25重量份和(a-3)树脂30至60重量份。
根据本发明的粘合剂树脂在能够发挥其功能的范围内不特别限定其含量，例如在组合物总重量中可以包含5至50重量％，可以优选包含10至40重量％。粘合剂树脂的含量在上述范围内时，具有能够使具备适当粘度且提高灵敏度和分解性能的效果最大化的优点。
(b)光产酸剂
光产酸剂是照射活性光线或放射线而产生酸的化合物。
光产酸剂的种类没有特别限定，例如可举出重氮盐系、
光产酸剂在能够发挥其功能的范围内不特别限定其含量，例如相对于粘合剂树脂100重量份，可以包含0.1至20重量份，可以优选包含0.5至10重量份。如果光产酸剂的含量在上述范围内，则具有利用酸的催化作用的化学变化能够充分发生，涂布组合物时能够实现均匀的涂布的优点。
在本发明中，根据需要，也可以与光产酸剂一同进一步包含增感剂。
增感剂是促进光产酸剂的分解而提高灵敏度的成分。根据本发明的增感剂没有特别限定，例如可举出多核芳香族类、呫吨类、呫吨酮类、花青苷类、氧杂菁类、噻嗪类、吖啶类、吖啶酮类、蒽醌类、方酸菁(squarylium)类、苯乙烯基类、基础苯乙烯基(basestyryl)类、香豆素类、蒽类化合物等。它们可以单独使用或将两种以上混合使用。
优选地，根据本发明的增感剂可以为下述化学式5的化合物。
[化学式5]
式中，r1和r2各自独立地为碳原子数1至6的烷基。
化学式5的增感剂可以优选为下述化学式6至8的化合物。
[化学式6]
[化学式7]
[化学式8]
增感剂在其能够发挥功能的范围内不特别限定其含量，例如，相对于粘合剂树脂100重量份，可以包含0.01至60重量份，优选可以包含0.5至10重量份。增感剂的含量在上述范围内时，具有能够使分光增感导致的灵敏度的提高或透射率的提高效果最大化的优点。
(c)添加剂
本发明的感光性树脂组合物包含由下述化学式1表示的添加剂：
[化学式1]
(上述化学式1中，
上述r1或r2各自独立地为氢或c1-c6直链或支链的烷基，
上述m表示主链内的重复单元的个数，为1至15的整数)。
根据本发明的化学式1的添加剂化合物包含大量的芳香族环结构和侧链结构，因此疏水性高，能够防止溶胀显影。另外，–oh能够提高与金属的密合性，具有上述羧基的环己烷官能团不仅能够增加显影性，而且由于与氧杂环丁烷的反应性高，从而能够增加固化膜的可靠性。
另外，作为根据本发明的优选例子，上述化学式1的化合物的r1或r2可各自独立地为氢。
另外，根据本发明，上述化学式1的化合物的整数m大于15时，显影性或灵敏度降低。从这样的方面考虑，本发明的上述化学式1的m可优选为3至12的整数，更优选为4至8的整数。
在本发明中，上述化学式1的化合物相对于(a)粘合剂树脂100重量份可以包含0.1至3重量份。
作为优选的例子，相对于粘合剂树脂100重量份包含小于0.1重量份的上述化学式1的化合物时，存在出现严重的溶胀显影而难以形成微细图案的问题，在后续工序中存在发生不良的可能性，相对于粘合剂树脂100重量份包含大于3重量份的上述化学式1的化合物时，可能发生灵敏度显著降低、产生残渣的问题。
另一方面，除了本发明的由上述化学式1表示的添加剂以外，可以在不脱离本发明的目的的范围内进一步包含通常使用的碱性化合物、表面活性剂、密合性改良剂、热交联剂、光稳定剂、光固化促进剂、防光晕剂(流平剂)、消泡剂等添加剂。
(d)溶剂
溶剂的种类没有特别限定，只要是能够溶解上述的成分、具有适合的干燥速度、在溶剂蒸发后能够形成均匀且光滑的涂布膜的溶剂，则可以使用任何溶剂。
作为具体的例子，可举出醚类、乙酸酯类、酯类、酮类、酰胺类、内酯类等。它们可以单独使用或将两种以上混合使用。
优选地，从涂布性和绝缘膜被膜的膜厚度的均匀性方面考虑，使用丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇甲基乙醚或它们的混合物为佳。
溶剂在能够发挥其功能的范围内不特别限定其含量，例如在组合物总重量中可以包含40至90重量％，可以优选包含50至80重量％。如果溶剂的含量相对于组合物总重量包含40重量％～90重量％，则具有能够将固体成分含量和粘度维持在适当的水平而增加涂布性的优点。
<绝缘膜>
本发明提供利用上述组合物制造的绝缘膜。
根据本发明的绝缘膜形成方法可以包括：将本发明的感光性树脂组合物涂布于显示器装置的基板上部或形成于基板上的源极/漏极或硅氮化物层上部的步骤；将感光性树脂组合物进行前烘(pre-bake)的步骤；将感光性树脂组合物选择性地进行曝光、显影而形成图案的步骤；对形成的图案进行热处理的步骤。
作为基板，主要使用通常用于液晶显示装置、有机el等的玻璃或透明塑料树脂，但根据使用的显示器装置的特性而使用，没有特别限定。例如，可以使用在玻璃基板等绝缘基板上形成构成栅电极的金属膜且该金属膜成为表面层的基板。
<图像显示装置>
另外，本发明提供具备上述绝缘膜的图像显示装置。
本发明的绝缘膜不经能够应用于通常的液晶显示装置，而且还能够应用于电致发光显示装置、等离子体显示装置、场致发射显示装置等各种图像显示装置。
图像显示装置除了上述绝缘膜以外还可以进一步包含本领域中通常使用的构成。
下面，通过实施例等进一步详细说明本发明，但是本发明的范围和内容不因下面的实施例等而缩小或限制性地解释。另外，应该清楚，如果基于包含下面的实施例的本发明的公开内容，本领域技术人员能够容易地实施没有公开的具体实验结果的本发明，这样的变形和修改当然也包括在本发明要求保护的范围内。
实施例1至15和比较例1至2
制造了具有下述表1中记载的组成和含量的感光性树脂组合物。
[表1]
1.粘合剂树脂(a)
a1-1、a1-2：
a1-1：(a)/(b)＝60/40，mw＝12000
a1-2：(a)/(b)＝70/30，mw＝12000
a2-1、a2-2：
a2-1：(a)/(b)/(c)＝60/20/20，mw＝8000
a2-2：(a)/(b)/(c)＝60/10/30，mw＝8000
a3-1、a3-2：
a3-1：(a)/(b)/(c)/(d)＝15/10/50/25，mw＝25000
a3-2：(a)/(b)/(c)/(d)＝25/15/30/30，mw＝25000
2.光产酸剂(b)
3.光增感剂(c)
4.溶剂(d)
d1：丙二醇甲基乙基乙酸酯
d2：二乙二醇甲基乙醚
5.碱性化合物(e)：二环己基甲胺
6.添加剂(f)
f1：
f2：
f3：
7.偶联剂(g)：kbm-403(γ-环氧丙氧基丙基三烷氧基硅烷)
8.表面活性剂(h)：
h1：sh-8400，h2：f-475
实验例
对根据实施例和比较例制造的树脂组合物进行如下评价，将其结果示于下述表2。
(1)灵敏度测定
在0.7mm厚度的玻璃基板(康宁1737，康宁公司制造)上用旋涂器分别涂布实施例和比较例的感光性树脂组合物，在100℃的热板上加热125秒钟，使溶剂挥发，形成了厚度为4.0μm的感光性树脂组合物层。
然后，为了得到直径10μm的接触孔图案，曝光部利用具有10μm的边的具有方形图案开口部的掩模用i线步进机(nsr-205i11d，尼康株式会社)实施曝光。
将2.38％四甲基氢氧化铵水溶液作为显影液，将曝光后的基板在23℃进行40秒钟的水坑式显影(puddledevelopment)，在230℃的烘箱中加热30分钟而得到了固化的膜。
然后将基板垂直地进行切割，各组成中将成为10μm接触孔的曝光量选作灵敏度。
(2)图案角度
将实验例(1)中得到的图案垂直切割，由光学(sem)照片算出与基板的角度。
(3)透射率测定
用分光光度计测定在实验例(1)中得到的膜在400nm时的透射率。
(4)对蚀刻液的溶胀(swelling)程度评价
在0.7mm厚度的玻璃基板(康宁1737，康宁公司)上用旋涂器分别涂布实施例和比较例的感光性树脂组合物，在100℃的加、热板上加热125秒钟，使溶剂挥发，形成了厚度为4.0μm的感光性树脂组合物层。将形成的膜在45℃的蚀刻溶液中浸渍120s，测定浸渍前后的膜厚度，评价溶胀程度。
溶胀(％)＝(浸渍后的膜厚度－浸渍前的膜厚度)*100
◎：100％～102％
○：103％～106％
△：106％～107％
x：108％以上
(5)对剥离剂的溶胀(swelling)程度评价
在0.7mm厚度的玻璃基板(康宁1737，康宁公司)上用旋涂器分别涂布实施例和比较例的感光性树脂组合物，在100℃的热板上加热125秒钟，使溶剂挥发，形成了厚度为4.0μm的感光性树脂组合物层。将形成的膜在60℃的水系剥离剂中浸渍120s，测定浸渍前后的膜厚度，评价溶胀程度。
溶胀(％)＝(浸渍后的膜厚度－浸渍前的膜厚度)*100
◎：100％～102％
○：103％～106％
△：106％～107％
x：108％以上
[表2]
参考上述表2，可以确认由实施例1至12的感光性树脂组合物形成的绝缘膜对于蚀刻液和剥离剂的耐化学性优异，另外，灵敏度和透射率也非常优异，显示出适当的图案角度。
但是，可确认到使用了少量添加剂的实施例13中，耐化学性改善效果多少有所降低；可确认到使用过量添加剂的实施例14中，虽然耐化学性提高，但曝光量多少有所增加而灵敏度多少有所降低；实施例15的组合物显示出虽然溶胀变好，但灵敏度多少有所降低的结果。
另一方面，比较例1至比较例2的组合物出现了严重的溶胀。
因此，根据本发明，如果使用本发明的添加剂，则对蚀刻液和剥离剂的耐化学性优异，显影后不发生溶胀，能够在作为显影液的碱性水溶液中理想地维持溶解性，而且灵敏度和透射率也非常优异，显示出适当的图案角度，因此能够在绝缘膜的制造中有效地使用。