基板划伤检测的方法和设备与流程

文档序号:11152706阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种基板划伤检测的方法和设备,包括:在基板扇出区域的绝缘层表面使用氧化物材料形成分布式线路;检测所述分布式线路中每条线路的第一电容值;将所述第一电容值与标准产品的第二电容值进行比较;根据比较结果确定基板扇出区域的绝缘层表面划伤,从而解决了基板生产流通环节中液晶基板扇出区域的绝缘层表面划伤的问题,从而实现了过程监控。

技术研发人员:李卿硕
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
文档号码:201710174104
技术研发日:2017.03.22
技术公布日:2017.05.10

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