一种MicroLED屏剥离液的制作方法

文档序号:11406233阅读:566来源:国知局

本发明涉及剥离液技术领域,具体涉及一种microled屏剥离液。



背景技术:

在microled屏基板的生产的光刻技术中通常包括在玻璃基板上依次进行:设置金属或金属氧化物层的金属配线形成工序;设置光致抗蚀剂层的工序;在光致抗蚀剂上转写掩模图形的曝光工序;按照图形对模进行蚀刻的蚀刻工序;以及除去光致抗蚀剂的剥离工序。在通常的制造工艺中光刻工序会多达十多次。

基板上抗蚀剂层上形成有一层保护层,也无法轻易去除剥离。由于玻璃基板成本很高,如果直接废弃会造成很大浪费,因此可以将不良彩色滤光片基板上的膜层全部剥离掉,重新使用,可以节约成本。但是如果膜层剥离的不干净,或者彻底剥离需要的时间很长,就无法起到节约成本的作用。

一般的剥离液可以列举出无机酸、有机酸、无机碱或者有机溶剂,可是,作为剥离剂的有效成分,当使用无机酸或者无机碱时,或使下部金属膜腐蚀,或伴随有害于人体的缺点等操作上的困难性。因此通常使用有机溶剂。目前pdp面板制造中使用剥离液主要是含有有机极性溶剂、胺类及水的体系的剥离液。然而这些现有的剥离液存在以下问题:1、生产工艺复杂。在进行剥离处理过程中,在剥离掉光致抗蚀剂后需要用有机溶剂和水分别漂洗,增加清洗工序时间,产生大量废液废水;2、剥离性能弱,对布线腐蚀影响大;3、清洗后残留金属离子的数量超出标准要求,容易引起表面金属离子污染。



技术实现要素:

本发明旨在提供了一种microled屏剥离液。

本发明提供如下技术方案:

一种microled屏剥离液,其是由如下质量分数的原料组成:季胺氢氧化物15-32%、烷氧基碱金属盐10-22%、有机胺8-25%、表面活性剂5-14%、环氧类有机溶剂20-40%、金属螯合剂5-9%、防腐剂4-7%和水。

所述季胺氢氧化物结构式为:

所述r1、r2和r3均选自c1-c5的烷基和c1-c5的羟烷基中的任意一种。

所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1,2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。

所述烷氧基碱金属盐包括烷氧基钠、烷氧基锂、烷氧基钾中的一种或多种。

所述表面活性剂为聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一种或多种。

所述环氧类有机溶剂为环氧乙烷、环氧丙烷、1,2-环氧丁烷、正丁基缩水甘油醚、异丙基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、萘基缩水甘油醚、烯丙基缩水甘油醚、呋喃甲基缩水甘油醚、乙二醇二缩水甘油醚、1,4-丁二醇二缩水甘油醚、1,6-己二醇二缩水甘油醚、间苯二酚二缩水甘油醚、双酚a二缩水甘油醚、甘油三丙醚和季戊四醇缩水甘油醚的一种或多种。

所述所述金属螯合剂选自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一种。

所述防腐剂选自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、2-巯基乙醇、邻苯二酚、没食子酸、苹果酸和苯并三唑中的至少一种。

所述水为去离子水,具体为为电子级去离子水,在25℃的电阻率至少为22兆欧。

与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明剥离液对蚀刻工序中发生变质的光致抗蚀剂可以有效的进行剥离,对于microled屏玻璃基板的金属膜、氧化膜的无机材料物质具有极低的腐蚀性;同时本剥离液能在较低温度下、较短时间内去除玻璃基板滤光片上的彩色抗蚀剂和保护层,对玻璃基板没有损伤,用剥离液处理后的玻璃基板能够再利用;本发明的剥离液剥离效果较好,同时对环境和人体具有高度的安全性。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

实施例1一种microled屏剥离液,其是由如下质量分数的原料组成:季胺氢氧化物15%、烷氧基碱金属盐10%、有机胺8%、表面活性剂5%、环氧类有机溶剂20%、金属螯合剂5%、防腐剂4%和水。

所述季胺氢氧化物结构式为:

所述r1、r2和r3均选自c1-c5的烷基和c1-c5的羟烷基中的任意一种。

所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1,2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。

所述烷氧基碱金属盐包括烷氧基钠、烷氧基锂、烷氧基钾中的一种或多种。

所述表面活性剂为聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一种或多种。

所述环氧类有机溶剂为环氧乙烷、环氧丙烷、1,2-环氧丁烷、正丁基缩水甘油醚、异丙基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、萘基缩水甘油醚、烯丙基缩水甘油醚、呋喃甲基缩水甘油醚、乙二醇二缩水甘油醚、1,4-丁二醇二缩水甘油醚、1,6-己二醇二缩水甘油醚、间苯二酚二缩水甘油醚、双酚a二缩水甘油醚、甘油三丙醚和季戊四醇缩水甘油醚的一种或多种。

所述所述金属螯合剂选自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一种。

所述防腐剂选自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、2-巯基乙醇、邻苯二酚、没食子酸、苹果酸和苯并三唑中的至少一种。

所述水为去离子水,具体为为电子级去离子水,在25℃的电阻率至少为22兆欧。

实施例2一种microled屏剥离液,其是由如下质量分数的原料组成:季胺氢氧化物32%、烷氧基碱金属盐22%、有机胺25%、表面活性剂14%、环氧类有机溶剂40%、金属螯合剂9%、防腐剂7%和水。

所述季胺氢氧化物结构式为:

所述r1、r2和r3均选自c1-c5的烷基和c1-c5的羟烷基中的任意一种。

所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1,2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。

所述烷氧基碱金属盐包括烷氧基钠、烷氧基锂、烷氧基钾中的一种或多种。

所述表面活性剂为聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一种或多种。

所述环氧类有机溶剂为环氧乙烷、环氧丙烷、1,2-环氧丁烷、正丁基缩水甘油醚、异丙基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、萘基缩水甘油醚、烯丙基缩水甘油醚、呋喃甲基缩水甘油醚、乙二醇二缩水甘油醚、1,4-丁二醇二缩水甘油醚、1,6-己二醇二缩水甘油醚、间苯二酚二缩水甘油醚、双酚a二缩水甘油醚、甘油三丙醚和季戊四醇缩水甘油醚的一种或多种。

所述所述金属螯合剂选自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一种。

所述防腐剂选自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、2-巯基乙醇、邻苯二酚、没食子酸、苹果酸和苯并三唑中的至少一种。

所述水为去离子水,具体为为电子级去离子水,在25℃的电阻率至少为22兆欧。

实施例3一种microled屏剥离液,其是由如下质量分数的原料组成:季胺氢氧化物24%、烷氧基碱金属盐16%、有机胺15%、表面活性剂9%、环氧类有机溶剂30%、金属螯合剂7%、防腐剂6%和水。

所述季胺氢氧化物结构式为:

所述r1、r2和r3均选自c1-c5的烷基和c1-c5的羟烷基中的任意一种。

所述季胺氢氧化物为选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、氢氧化一甲基二丙基烯丙基铵、氢氧化二甲基一丙基烯丙基铵、氢氧化(1,2-二羟基乙基)一丙基烯丙基铵、氢氧化一甲基一乙基一丙基烯丙基铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。

所述烷氧基碱金属盐包括烷氧基钠、烷氧基锂、烷氧基钾中的一种或多种。

所述表面活性剂为聚氧乙烯醚、聚氧丙烯醚中的一种或多种。

所述环氧类有机溶剂为环氧乙烷、环氧丙烷、1,2-环氧丁烷、正丁基缩水甘油醚、异丙基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、萘基缩水甘油醚、烯丙基缩水甘油醚、呋喃甲基缩水甘油醚、乙二醇二缩水甘油醚、1,4-丁二醇二缩水甘油醚、1,6-己二醇二缩水甘油醚、间苯二酚二缩水甘油醚、双酚a二缩水甘油醚、甘油三丙醚和季戊四醇缩水甘油醚的一种或多种。

所述所述金属螯合剂选自乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二钠盐、二亚乙基三胺五乙酸、三亚乙基四胺六乙酸和氮基三乙酸中的至少一种。

所述防腐剂选自果糖、葡萄糖、木糖醇、山梨糖醇、2-巯基乙醇、邻苯二酚、没食子酸、苹果酸和苯并三唑中的至少一种。

所述水为去离子水,具体为为电子级去离子水,在25℃的电阻率至少为22兆欧。

对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于所述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是所述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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