一种含氟等离子刻蚀残留物清洗液、其制备方法和应用与流程

文档序号:11176263阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种含氟等离子刻蚀残留物清洗液、其制备方法和应用。所述的清洗液,其由下述原料制得,所述的原料包含下列组分:分散剂、氟化物、有机溶剂、缓蚀剂、有机胺和水;其中,所述的分散剂为聚羧酸类分散剂和/或有机膦类分散剂。本发明的清洗液长期放置和使用过程中几乎不发生团聚,基本不产生颗粒,且颗粒增加量小,清洗质量和效果好。

技术研发人员:王溯;蒋闯
受保护的技术使用者:上海新阳半导体材料股份有限公司
技术研发日:2017.07.25
技术公布日:2017.10.03
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1