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一种含氟等离子刻蚀残留物清洗液、其制备方法和应用与流程
文档序号:11176263
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来源:国知局
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一种含氟等离子刻蚀残留物清洗液、其制备方法和应用与流程
技术特征:
技术总结
本发明公开了一种含氟等离子刻蚀残留物清洗液、其制备方法和应用。所述的清洗液,其由下述原料制得,所述的原料包含下列组分:分散剂、氟化物、有机溶剂、缓蚀剂、有机胺和水;其中,所述的分散剂为聚羧酸类分散剂和/或有机膦类分散剂。本发明的清洗液长期放置和使用过程中几乎不发生团聚,基本不产生颗粒,且颗粒增加量小,清洗质量和效果好。
技术研发人员:
王溯;蒋闯
受保护的技术使用者:
上海新阳半导体材料股份有限公司
技术研发日:
2017.07.25
技术公布日:
2017.10.03
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