一种涂布机及其刮拭装置的制作方法

文档序号:14442953阅读:197来源:国知局

本发明涉及显示面板制造领域,尤其涉及一种涂布机及其刮拭装置。



背景技术:

现有技术tftlcd行业中,涂布机是不可或缺的一个设备,涂布机将光阻均匀的涂布基板上,从而进行后续的光阻曝光,显影等制程,完成光罩图像的转刻。其中:涂布机吐出光阻的机构被称为口金,口金由高精密加工的材质构成。口金的清洁度对涂布的良率影响重大,口金的光阻残留直接影响涂布的效果,清洁度不够易造成产品的返工或报废,影响良品率。

现在主流的涂布机厂商的刮拭结构,主要存在如下技术缺陷:进行涂布的工作区域直接暴露于口金吐出光阻的区域,大量光阻飞溅至驱动源,易造成刮拭异常和驱动作动异常。



技术实现要素:

本发明所要解决的技术问题在于,提供一种涂布机及其刮拭装置,增强隔离效果,有效避免光阻飞溅至驱动源,从而保证刮拭效果和设备正常作业;结构精简,传动安全可靠,便于维修和维护。

为了解决上述技术问题,本发明实施例提供了一种用于涂布机的刮拭装置,刮拭基座;设置在阻隔室中的用以对刮拭基座进行驱动的驱动马达,驱动马达和刮拭基座通过连接杆进行连接,其中:阻隔室包括:用以装设驱动马达的容置区;设在刮拭基座和容置区之间的阻隔区,阻隔区与容置区相连通,阻隔区将刮拭基座所在的工作区和容置区隔离。

其中,连接杆呈z字形。

其中,容置区具有与阻隔区相连的第一开口,阻隔区设有与工作区相连的第二开口,连接杆设在第一开口和第二开口之间的阻隔区内。

其中,连接杆包括:设置在第二开口位置的与刮拭基座相连的第一连杆;设置在第一开口位置的与驱动马达相连的第二连杆;以及分别与第一连杆和第二连杆相连的第三连杆,其中:驱动马达通过第二连杆、第三连杆以及第一连杆的传动对刮拭基座进行联动。

其中,第三连杆分别与第一连杆、第二连杆垂直。

其中,刮拭基座还设有一与第一连杆相联动的折弯传动杆,折弯传动杆的弯折角度为90度。

其中,阻隔区还连接有用于增强阻隔区隔离效果的抽气装置。

为解决上述技术问题,本发明还公开了一种具有上述刮拭装置的涂布机。

实施本发明所提供的涂布机及其刮拭装置,具有如下有益效果,阻隔室包括:用以装设驱动马达的容置区;设在刮拭基座和容置区之间的阻隔区,阻隔区与容置区相连通,阻隔区将刮拭基座所在的工作区和容置区进行隔离,有效避免光阻飞溅至驱动源,从而保证刮拭效果和设备正常作业;结构精简,传动安全可靠,便于维修和维护。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例刮拭装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

参见图1,为本发明刮拭装置的实施例一。

本实施例中的刮拭装置主要应用在涂布机上,其作用是对涂布机的喷嘴进行清洁,例如:在每完成一片面板的涂布后,进行一次刮拭清洁。

本实施例中的刮拭装置包括:刮拭基座1;设置在阻隔室2中的用以对刮拭基座1进行驱动的驱动马达3,驱动马达3和刮拭基座1通过连接杆4进行连接,其中:阻隔室2包括:用以装设驱动马达3的容置区21;设在刮拭基座1和容置区21之间的阻隔区22,阻隔区22与容置区21相连通,阻隔区22将刮拭基座1所在的工作区和容置区21进行隔离,如此,防止刮拭基座1的工作区涂布的光阻飞溅至驱动源,避免污染驱动源,例如马达和/或马达皮带,从而保证刮拭效果和设备正常作业。

驱动马达3的作用是通过连接杆4的传动对刮拭基座1进行联动,从而带动刮拭基座1上的清洁接触部进行刮拭。

进一步的,阻隔室2包括容置区21和与容置区21相连通的阻隔区22,容置区21具有与阻隔区22相连的第一开口211,阻隔区22设有与工作区(阻隔室2以外的如图所示刮拭基座1所在的区域)相连的第二开口222,连接杆4设在第一开口211和第二开口222之间的阻隔区22内。第一开口211中心轴线与第二开口222中心轴线大致平行,利于连接杆4的结构布置。

本实施例中的刮拭基座1具有一与连接杆4相联动的折弯传动杆11,折弯传动杆11的弯折角度为90度,其与现有的用于连接驱动马达3的连杆结构相同。

连接杆4的作用是:在刮拭基座1和驱动马达3之间增设阻隔区22的基础上如何实现稳定、高效的力矩传动。本实施例中的连接杆4包括:设置在第二开口222位置的与刮拭基座1相连的第一连杆41;设置在第一开口211位置的与驱动马达3相连的第二连杆42;以及分别与第一连杆41和第二连杆42相连的第三连杆43。

具体实施时,第三连杆43分别与第一连杆41、第二连杆42垂直。如此,驱动马达3通过第二连杆42、第三连杆43以及第一连杆41的传动对刮拭基座1进行联动,该种传动结构可实现稳定、高效的传动;也更利于对连接杆4的运行状态进行监控,便于维修和修护。

优选的,通过将连接杆设置为z字形,可以将第一开口211的中心轴线与第二开口222的中心轴线错开,从而防止通过第二开口222进入阻隔区22的光阻再次通过飞溅进入容置区21,从而污染驱动源,从而保证刮拭装置的刮拭效果和设备的正常运转。

进一步的,阻隔区22中还连接有抽气装置5,通过设置抽气装置5,可以增强阻隔区22的隔离效果,使即使有光阻通过第二开口222进入阻隔区22,也会被抽气装置5通过气流带走,有效避免光阻飞溅至驱动源。

实施本发明所提供的涂布机及其刮拭装置,具有如下有益效果:

第一、涂布机及其刮拭装置的阻隔室包括:用以装设驱动马达的容置区;设在刮拭基座和容置区之间的阻隔区,阻隔区与容置区相连通,阻隔区将刮拭基座所在的工作区和容置区进行隔离,有效避免光阻飞溅至驱动源,从而保证刮拭效果和设备正常作业;结构精简,传动安全可靠,便于维修和维护。

第二、避免驱动源的驱动马达和/或皮带受到污染,提高设备稼动律和产能;进一步延长使用寿命。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种用于涂布机的刮拭装置,包括:刮拭基座;设置在阻隔室中的用以对刮拭基座进行驱动的驱动马达,驱动马达和刮拭基座通过连接杆进行连接,其中:阻隔室包括:用以装设驱动马达的容置区;设在刮拭基座和容置区之间的阻隔区,阻隔区与容置区相连通,阻隔区将刮拭基座所在的工作区和容置区隔离。本发明还公开了一种涂布机。实施本发明的涂布机及其刮拭装置,能够增强隔离效果,有效避免光阻飞溅至驱动源,从而保证刮拭效果和设备正常作业;结构精简,传动安全可靠,便于维修和维护。

技术研发人员:何文超
受保护的技术使用者:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:2017.12.26
技术公布日:2018.05.15
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