曝光机基板对位装置的制作方法

本实用新型涉及显示面板的制作技术领域，尤其是涉及显示面板生产中使用的曝光机基板对位装置。

背景技术：

随着薄膜晶体管液晶显示器( 简称TFT-LCD) 技术的迅猛发展和不断提高，内嵌式触控面板将大行其道。相较于外挂式薄膜触控，In-Cell及On-Cell等内嵌式触控面板不仅效能更佳，且可满足产品轻薄和低成本设计要求，已快速被智能型手机、平板及笔电制造商采用，由于In-Cell触控技术布线密度大，造成生产良率低和触控IC设计匹配存在干扰等方面问题；On-Cell触控技术不只应用于LCD面板，也被应用在AMOLED面板。它与触控IC厂商合作开发出以“单面单层”触控感测器搭配触控IC，可支援二到五指多点触控的低阶与中阶解决方案，大大提高了生产良率。目前薄膜晶体管液晶显示器供货量增多且价格下滑后，LCD On-Cell触控面板渗透率势将更形扩大。

On-Cell则是将触控感测器做在彩色滤光片玻璃（CF Glass）上，需要对TFT-LCD布线进行对位曝光操作。实际操作中，由于On cell要按产品分割小规格尺寸进行减薄和镀膜，造成On cell产品规格尺寸繁多，为了保证曝光位准确性，需要进行基板对位，最后对基板进行曝光、显影等工艺。然而，现有曝光机基板对位装置存在只有一个产品规格，无法进行多种产品规格的对位，造成设备利用率低，因而On-Cell需要改进多尺寸变化曝光设备。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种曝光机基板对位装置，对位方便、快捷，且适合多种尺寸的基板对位使用。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

曝光机基板对位装置，该装置具有上料部、初整列部、对位校准部以及连接上料部、初整列部和对位校准部的机械手；所述初整列部基于靠边整列基板；所述对位校准部是一个X/Y/θ调节平台，对位校准部上具有围绕校准部中心分布且分区控制的顶针及真空吸气槽。

上述方案进一步是：所述机械手是叉车式助力机械手，上料部、初整列部及对位校准部围绕在机械手外围。

上述方案进一步是：所述初整列部具有围合成方框的整列块，相对边上的整列块由一套电机丝杆驱动整列，丝杆上具有正反螺纹，以同步驱动相对边上的整列块相对移动整列。

上述方案进一步是：所述对位校准部上方设有第一CCD镜头和第二CCD镜头；第一CCD镜头有两个，分布在对位校准部的其一对角上；第二CCD镜头有两个，分布在对位校准部的另一对角上；第一CCD镜头的分辨率高于第二CCD镜头。

本实用新型通过机械手搬运基板到初整列部，实现对基板四边纠偏调整，以便机械手将基板移到对位校准部上时，基板的中心与对位校准部上的中心基本一致，使基板对角边缘落在粗对位镜头视野内，控制对位校准部中的X/Y/θ方向电机，控制对准部上基板边缘与镜头中心对位；再伸出精对位镜头，抓取基板的靶标与镜头的中心靶标对位，再次控制对位校准部中的X/Y/θ方向电机，实现两个靶标的精准对位，这种对位方法适合多种尺寸的基板对位使用；而通过对位校准部上不同分辨率的第一CCD镜头和第二CCD镜头可方便、快捷进行对位调整，结构简单，使用及维护简便，符合产业利用。

附图说明：

附图1为本实用新型较佳实施例结构示意图；

附图2为图1实施例的初整列部结构示意图；

附图3为图1实施例的对位校准部结构示意图。

具体实施方式：

以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

参阅图1、2、3所示，系本实用新型的较佳实施例示意图，本实用新型有关一种曝光机基板对位装置，该装置具有上料部1、初整列部2、对位校准部3以及连接上料部1、初整列部2和对位校准部3的机械手4。所述初整列部2基于靠边整列基板；所述对位校准部3是一个X/Y/θ调节平台，对位校准部3上具有围绕校准部3中心分布且分区控制的顶针31和真空吸气槽32。

对位校准部3上设有第一CCD镜头5和第二CCD镜头6；第一CCD镜头5有两个，分布在对位校准部3的其一对角上；第二CCD镜头6有两个，分布在对位校准部3的另一对角上；第一CCD镜头5的分辨率高于第二CCD镜头6。

实施时，机械手4搬运基板到初整列部2，通过电机丝杆驱动整列块21实现对基板四边纠偏初定位，以便机械手4将基板移到对位校准部3上，基板的中心与对位校准部上的中心基本一致；当机械手4上升托起基板，旋转送到对位校准部3上方时，对位校准部3里面的顶针31升起托起基板，同时控制机械手4收回待机位置，然后控制对位校准部3的顶针11和基板一起下降到校准部台面；启动真空电磁阀，真空吸气槽32工作，让基板吸附在对位校准部3中，从而使基板定位在对位校准部3的中央；使基板对角边缘落在粗对位第一CCD镜头6视野内，控制对位校准部3中的X/Y/θ方向电机，调节基板边缘与镜头中心对位到重合；再伸出精对位第二CCD镜头5，抓取基板的靶标与镜头的中心靶标对位，再次控制对位校准部3中的X/Y/θ方向电机，最终实现两个靶标的精准对位，这种对位方法适合多种尺寸的基板对位使用。而通过对位校准部3上方不同分辨率的第一CCD镜头5和第二CCD镜头6对位切换，实现方便、快捷进行精确对位调整，结构简单，使用及维护简便，符合产业利用。

图1、2、3所示，本实施例的机械手4优选是叉车式助力机械手，上料部1、初整列部2及对位校准部3围绕在机械手4外围，设置在对应的机座上。机械手4通过移动及转动，实现基板从上料部1到初整列部2再到对位校准部3转移，机械手4是叉车式助力机械手，保持基板移动平稳性，且适合多种尺寸的基板对位使用。机械手4运动轨迹由电脑控制，运动稳定、准确。所述初整列部2具有围合成方框的整列块21，相对边上的整列块21由一套电机丝杆驱动整列，丝杆上具有正反螺纹，以同步驱动相对边上的整列块21相对移动整列，结构简单，整列简便、快捷，工作效率高，有助于基板对位作业。

本实施例中，采用不同分辨率的第一CCD镜头5与第二CCD镜头6，实现粗定位和精定位，满足不同场合使用，有助于提升定位效率及质量；且第一CCD镜头5与第二CCD镜头6各自对角设置，定位更准确，有助于后续对基板进行曝光、显影等工艺作业。

当然，本实用新型还可有其他多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变型，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。