一种曝光机光强调节装置的制作方法

本实用新型涉及光学领域，特别涉及一种曝光机光强调节装置。

背景技术：

图1为现有技术中入射积光器40的光辐照通道结构示意图。如图1所示，现有曝光机入射积光器40的光辐照通道包括顺序设置的点光源01、集光器(即Elliptical mirror)02、反射板03、中继镜头组(即Relay Lens)04、分光装置10和分光装置10输出端口上的模块快门(即Module shutter)20，点光源01产生高功率光通量，通过集光器02形成点光源01的准平行光线，进一步通过反射板03和中继镜头组04改变光线的传递方向和光线的平行特性，光线由分光装置10的输入端口输入，分光装置10将光通量分配至各输出端口输出，输出端口设置的模块快门20用来作为光通量输出的开关。模块快门20和积光器40间形成照射光路05，通过积光器40输出大面积的均匀照明。

曝光机为了控制光辐照通道中入射积光器40的光辐射强度常用会在积光器40与分光装置10输出端口之间设置与光轴垂直的调光装置30(即Wedge)，调光装置30为可调节位移的遮光板，遮光板上开设疏密度规律变化的通孔，通过移动调光装置30改变对分光装置10输出端口的遮挡面积，进而调整照射积光器40的光照强度，该方式是将不需的光通量进行遮挡，对光源利用率较低。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种曝光机光强调节装置，用于解决各镜头的输入光源利用率低的技术问题。

本实用新型的曝光机光强调节装置，包括分光装置，所述分光装置的输出端口与积光器间形成照射光路，所述输出端口与所述积光器间设置半透半反射镜和第二分光装置，所述半透半反射镜设置在所述照射光路上，所述第二分光装置的输入端口朝向所述半透半反射镜的反射面，所述第二分光装置的输出端口与所述分光装置间建立补偿光路。

所述半透半反射镜的反射面设置反射率单调变化的反射镀膜。

所述反射镀膜为所述反射面上平行布设的反射镀膜条带，所述反射镀膜条带的反射率延所述平行布设方向单调变化。

所述反射镀膜为自内向外布设的环形的反射镀膜条带，所述反射镀膜条带的反射率沿径向方向单调变化。

所述半透半反射镜的反射面与所述照射光路方向保持固定夹角，所述半透半反射镜通过位移机构受控移动。

一个所述照射光路对应的所述第二分光装置的输出端口通过纤维光导与其他所述照射光路对应的所述分光装置的输出端口建立补偿光路。

所述照射光路对应的所述第二分光装置的输出端口通过纤维光导与所述分光装置的补偿输入端口间建立补偿光路。

所述积光器采用复眼镜头。

所述分光装置和第二分光装置采用光纤分光器。

本实用新型实施例的曝光机光强调节装置利用可调节反射率的半透半反射镜改变分光装置的输出端口的照射光路中光线的反射率，影响光通量的分配比率，根据积光器对光通量的需求量将额外的光通量调配补偿到分光装置其他输出端口的照射光路中。使得额外光通量可以用于不同照射光路的光通量补偿，提高光源利用率。尤其对于曝光机在VFS模式曝光时，可以在不增加点光源功率的状态下获得更高照度和照度均匀度。

附图说明

图1为现有技术中入射积光器的光辐照通道结构示意图。

图2为本实用新型曝光机光强调节装置一实施例的结构示意图。

图3为本实用新型曝光机光强调节装置另一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图2为本实用新型曝光机光强调节装置一实施例的结构示意图。如图2所示，分光装置10包括若干个输出端口11(附图中为三个)，每个输出端口11上设置模块快门20，每个输出端口11分别对应一个积光器40，每个输出端口11与对应的积光器40间形成一个照射光路05。

每个输出端口11与对应的积光器40间分别设置半透半反射镜50和第二分光装置60。半透半反射镜50设置在在照射光路05上，照射光路05透射过半透半反射镜50。在半透半反射镜50的反射面设置反射率规律变化的反射镀膜，第二分光装置60的输入端口朝向半透半反射镜50的反射面，用于接收半透半反射镜50的反射光线，第二分光装置60的输出端口通过纤维光导61分别错开连接至不同输出端口11的接入口(图中每个输出端口11设置两个接入口、每个第二分光装置60的输出端口分别为两个，所述第二分光装置60的两个输出端口分别与不同的输出端口11的接入口相连)。

半透半反射镜50为平面透镜，反射面上设置保证光线透射并且反射率沿确定方向单调变化的反射镀膜。例如反射镀膜可以是反射面上平行布设的反射镀膜条带，延平行布设方向反射镀膜条带的反射率单调变化，即延平行布设方向相邻反射镀膜条带的反射率逐渐增加或减小。半透半反射镜50的反射面与照射光路05方向保持固定夹角，通过位移机构受控带动半透半反射镜50移动。位移机构可以是包括步进电机、直线电机或微型油缸的机械传动部件。

照射光路05的光线照射在半透半反射镜50上，光通量通常分解为透射、反射和吸收三部分，吸收部分受半透半反射镜50材料影响，通常为光通量中的固定比率；透射和反射部分的光通量比率受入射区域(例如某一个反射镀膜条带)的反射率影响，即反射率越高透射率越低。半透半反射镜50通过受控移动改变入射区域的镀膜反射率，则改变光线的反射率，影响光通量的透射率，进而调整照射光路05的透射和反射部分的光通量比率。

第二分光装置60的输出端口通过纤维光导61与分光装置10的部分输出端口的接入口建立补偿光路，将分光装置10的一个输出端口11照射光路05中反射的光通量转移至分光装置10的其他输出端口11中，有效提升分光装置10的其他输出端口11的光通量输出，充分利用光源。

本实用新型实施例的曝光机光强调节装置利用可调节反射率的半透半反射镜50改变分光装置10的输出端口11的照射光路05中光线的反射率，根据积光器40对光通量的需求量将额外反射的光通量调配补偿到分光装置10其他输出端口11的照射光路05中。使得额外光通量可以用于不同照射光路05的光通量补偿，提高光源利用率。尤其对于曝光机在VFS模式(即可变场开关模式)曝光时，可以在不增加点光源01功率的状态下获得更高照度和照度均匀度。

图3为本实用新型曝光机光强调节装置另一实施例的结构示意图。如图3所示，在上述实用新型实施例的主要结构基本保持不变的基础上，通过纤维光导61在第二分光装置60的输出端口与分光装置10的补偿输入端口12间建立补偿光路，将分光装置10的输出端口11的照射光路05中反射的光通量转移至分光装置10中调节至其他输出端口11的照射光路05中，有效提升和调节分光装置10的其他输出端口11的光通量。

本实用新型实施例的曝光机光强调节装置与上述实施例的曝光机光强调节装置相比较可以将不同照射光路05中反射的光通量补偿回分光装置10，经由分光装置10统一调节，可以形成更高精度的光通量控制。

本实用新型实施例的曝光机光强调节装置中积光器可以采用复眼镜头。

本实用新型实施例的曝光机光强调节装置的分光装置10和第二分光装置60可以采用光纤分光器。

本实用新型实施例的曝光机光强调节装置的半透半反射镜50为平面透镜，反射面上设置反射率单调变化的反射镀膜，反射镀膜可以是自内向外环形布设的反射镀膜条带，反射镀膜条带的反射率沿径向单调变化。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。