用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅的制作方法

文档序号:14685168发布日期:2018-06-12 23:19
用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅的制作方法

技术特征:

1.一种用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅,其特征在于,包括一透明材料制成的衬底,所述衬底上设有高折射率材料制成的光栅层,该光栅层折射率为2.71,所述光栅层的周期为0.85-1微米、刻蚀深度为100-280纳米,所述光栅层的光栅占空比为0.5。

2.如权利要求1所述的用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅,其特征在于,所述光栅层的周期为920纳米、刻蚀深度为190纳米。

3.如权利要求2所述的用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅,其特征在于,所述衬底为熔融石英。

4.如权利要求3所述的用于外腔可调谐激光器的宽带透射光栅,其特征在于,所述光栅层为二氧化钛薄膜。

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