一种有机负胶显影液的制备装置的制作方法

文档序号:17184795发布日期:2019-03-22 21:14阅读:463来源:国知局
一种有机负胶显影液的制备装置的制作方法

本实用新型涉及显影液制备装置技术领域,具体涉及一种有机负胶显影液的制备装置。



背景技术:

在平板显示领域中,包括等离子体显示(PDP)、液晶显示(LCD)及有机电致发光(OLED)等制备工艺过程中,为获得所需要的各种精细图像,需要利用光刻胶(Photo Resistor)涂布在基板上形成薄膜之后以光罩遮挡并进行曝光,再以显影液显像,除去未曝光的部分,以此获得所需要的图像。

光刻胶分正胶和负胶。

正胶:曝光区在显影后溶化,非曝光区留下。

负胶:曝光区在显影后留下,非曝光区在显影液中溶解。

负胶为包含聚乙烯肉桂衍生物或环化橡胶衍生物双键的聚合物。典型的负胶是叠氮感光胶,如环化聚异戊二烯。在负胶曝光时,产生大量的交联聚合,成为互相连接的大树脂分子,很难在显影液中溶解,从而负胶的曝光部分在显影后保留,而未曝光部分则在显影时去除。现有负胶显影液的常见问题有:

a、显影不完全,表面还残留有光刻胶。

b、显影不够,显影的侧壁不垂直。

c、过度显影,靠近表面的光刻胶被显影液过度溶解,形成台阶。

d、显影稳定性差,产品质量不稳定。

e、金属铝基板易被腐蚀,从而降低产品成品率。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于,克服现有技术中存在的缺陷,提供一种杂质更少,纯度更高,显影更稳定更完全,同时可避免金属铝基板被腐蚀的有机负胶显影液的制备装置。

为实现上述目的,本实用新型的技术方案是设计包括环戊酮储罐、有机溶剂储罐、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器、混合罐和成品罐;所述环戊酮储罐出口与第一过滤器进口相连后再与混合罐进口相连;所述有机溶剂储罐出口与第二过滤器进口相连后再与混合罐进口相连,所述混合罐出口与第三过滤器进口相连后再与成品罐进口相连,所述制备装置还包括第一强酸性阳离子交换树脂柱、第二强酸性阳离子交换树脂柱和活性炭柱,所述第一强酸性阳离子交换树脂柱设置于第一过滤器出口和混合罐进口之间的管路上,所述第二强酸性阳离子交换树脂柱设置于第二过滤器出口和混合罐进口之间的管路上,所述活性炭柱设置于混合罐出口和第三过滤器进口之间的管路上,所述混合罐上还设有铝保护剂进料口,且混合罐出口与活性炭柱进口的连接管道上还设置有调节阀。

为了对混合罐内预留一定的空间,保证混合罐的安全,优选的技术方案为,所述混合罐的外壁设有竖直的透明的液位管。液位管可以随时监测混合罐内的显影液的液面高度,从而控制混合罐内进料和出料的速度,保证了设备的安全。

优选的技术方案为,所述第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器和第四过滤器均为微孔滤膜过滤器,其中所述微孔滤膜的孔径为0.05-0.15μm。

优选的技术方案为,所述混合罐内设有搅拌器,所述搅拌器为转速调节式螺带搅拌器。混合罐内均设有螺带搅拌器,且搅拌器为转速可调节的,具有粘性的各组份混合进入混合罐时,采用螺带式搅拌杆,并根据混合罐内混合物的形状,选择不同的搅拌速度,使各组分混合更均匀。

优选的技术方案为,所述混合罐和成品罐内壁均为不锈钢内壁层。

本实用新型的优点和有益效果在于:本装置制备的显影液的原料经过过滤器过滤后除去原料中的固体杂质,再通过强酸性阳离子交换树脂柱除去原料中的各种不同的离子,然后进行各组分的混合,使原料中杂质更少,减轻了全部混合完成后产品过滤的压力,其中在第三过滤器前又设置活性炭柱进行物理吸附除杂。经过多种除杂过滤工序生产的显影液,杂质更少,纯度更高,显影效果更好,同时强酸性阳离子交换树脂柱还可以反复再生使用,工作寿命长,降低生产成本。

附图说明

图1是本实用新型有机负胶显影液制备装置的结构示意图。

图中:1、环戊酮储罐;2、有机溶剂储罐;3、第一过滤器;4、第二过滤器;5、第一强酸性阳离子交换树脂柱;6、第二强酸性阳离子交换树脂柱;7、混合罐;8、调节阀;9、活性炭柱;10、第三过滤器;11、成品罐;12、进料口;13、搅拌器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1所示,本实用新型是有机负胶显影液的制备装置,包括环戊酮储罐1、有机溶剂储罐2、第一过滤器3、第二过滤器4、第三过滤器10、混合罐7和成品罐11;所述环戊酮储罐1出口与第一过滤器3进口相连后再与混合罐7进口相连;所述有机溶剂储罐2出口与第二过滤器4进口相连后再与混合罐7进口相连,所述混合罐7出口与第三过滤器10进口相连后再与成品罐11进口相连,所述制备装置还包括第一强酸性阳离子交换树脂柱5、第二强酸性阳离子交换树脂柱6和活性炭柱9,所述第一强酸性阳离子交换树脂柱5设置于第一过滤器3出口和混合罐7进口之间的管路上,所述第二强酸性阳离子交换树脂柱6设置于第二过滤器4出口和混合罐7进口之间的管路上,所述活性炭柱9设置于混合罐7出口和第三过滤器10进口之间的管路上,所述混合罐7上还设有铝保护剂进料口12,且混合罐7出口与活性炭柱9进口的连接管道上还设置有调节阀8。

所述混合罐7内设有搅拌器13,所述搅拌器13为转速调节式螺带搅拌器。

本实用新型有机负胶显影液制备装置使用方法,包括如下步骤:

先将有机溶剂、环戊酮分别经过微滤膜过滤器过滤和阳离子交换树脂柱去除杂质,然后加入混合罐中,在通过进料口加入钼酸钠等铝保护剂,搅拌混合均匀后,在经过活性炭柱吸附杂质和再次的微孔滤膜过滤器过滤,最终制成纯净度高、杂质少的有机负胶显影液成品。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

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