供给系统的制作方法

本实用新型属于集成电路技术领域，特别是涉及一种供给系统。

背景技术：

在现有的光刻胶供给系统中，在使用喷嘴向晶圆表面喷涂光刻胶的同时，还需要在光刻胶达到喷嘴之前使用排液管路将供液管路内光刻胶中的气泡及杂质即使排出，以防止气泡及杂质被喷涂到晶圆表面而形成缺陷。在光刻胶喷涂过程中，光刻胶的使用量包括喷涂到晶圆表面的光刻胶的量以及排出气泡及杂质时排出的光刻胶的量。

然而，现有的光刻胶供给系统并不能对光刻胶的使用量进行实时监测，这在光刻胶系统出现故障时很容易造成光刻胶的浪费损耗，从而导致生产成本的增加。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种供给系统，用于解决现有技术中的光刻胶供给系统无法对光刻胶的使用量进行实时监测，从而导致光刻胶浪费损耗，进而导致生产成本增加的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种供给系统，所述供给系统包括：

供应装置，用于提供液体；

喷嘴；

供液管路，一端与所述供应装置相连接，另一端与所述喷嘴相连接；

第一液体流量计，位于所述供液管路与所述喷嘴相连接的一端处；

排液管路，一端与所述供液管路相连通；及

第二液体流量计，位于所述排液管路上。

作为本实用新型的一种优选方案，所述供应装置包括光刻胶供给瓶，所述液体包括光刻胶。

作为本实用新型的一种优选方案，所述供给系统包括：

缓冲罐，位于所述供液管路上，且位于所述供应装置与所述喷嘴之间；

过滤器，位于所述供液管路上，且位于所述缓冲罐与所述喷嘴之间；

第一捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述过滤器与所述喷嘴之间；及

第二捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述第一捕集阱与所述喷嘴之间；

所述排液管路包括：

第一排液管路，一端经由所述缓冲罐与所述供液管路相连通；

第二排液管路，一端经由所述过滤器与所述供液管路相连通；

第三排液管路，一端经由所述第一捕集阱与所述供液管路相连通；

第四排液管路，一端与所述第一排液管路远离所述缓冲罐的一端、所述第二排液管路远离所述过滤器的一端及所述第三排液管路远离所述第一捕集阱的一端相连接；及

第五排液管路，一端经由所述第二捕集阱与所述供液管路相连通；

所述第二液体流量计的数量为两个，其中一所述第二液体流量计位于所述第四排液管路上，另一所述第二液体流量计位于所述第五排液管路上；

所述第一液体流量计位于所述第二捕集阱与所述喷嘴之间。

作为本实用新型的一种优选方案，所述供给系统还包括厂务排液系统，所述厂务排液系统与所述第四排液管路远离所述第一排液管路、所述第二排液管路及所述第三排液管路的一端相连接，并与所述第五排液管路远离所述第二捕集阱的一端相连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述供给系统包括：

缓冲罐，位于所述供液管路上，且位于所述供应装置与所述喷嘴之间；

过滤器，位于所述供液管路上，且位于所述缓冲罐与所述喷嘴之间；

第一捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述过滤器与所述喷嘴之间；及

第二捕集阱，位于所述排液管路上，且位于所述第一捕集阱与所述喷嘴之间；

所述排液管路包括：

第一排液管路，一端经由所述缓冲罐与所述供液管路相连通；

第二排液管路，一端经由所述过滤器与所述供液管路相连通；

第三排液管路，一端经由所述第一捕集阱与所述供液管路相连通；及

第四排液管路，一端经由所述第二捕集阱与所述供液管路相连通；

所述第二液体流量计的数量为四个，其中，四个所述第二液体流量计分别位于所述第一排液管路上、所述第二排液管路上、所述第三排液管路上及所述第四排液管路上；

所述第一液体流量计位于所述第二捕集阱与所述喷嘴之间。

作为本实用新型的一种优选方案，所述供给系统还包括厂务排液系统，所述厂务排液系统与所述第一排液管路远离所述缓冲罐的一端、所述第二排液管路远离所述过滤器的一端、所述第三排液管路远离所述第一捕集阱的一端及所述第四排液管路远离所述第二捕集阱的一端相连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述供给系统还包括供气管路，一端与所述供应装置相连接，另一端与气体源相连接。

作为本实用新型的一种优选方案，所述气体源包括氮气源。

作为本实用新型的一种优选方案，所述供给系统还包括：

抽液泵，位于所述供液管路上，且位于所述第一捕集阱与所述第二捕集阱之间；及

控制阀，位于所述供液管路上，且位于所述第二捕集阱与所述喷嘴之间；

所述第一液体流量计位于所述控制阀与所述喷嘴之间。

作为本实用新型的一种优选方案，所述控制阀包括气动阀。

如上所述，本实用新型供给系统，具有以下有益效果：本实用新型的供给系统通过在喷嘴附近的供液管路上设置第一液体流量计，并在排液管路上设置第二液体流量计，可以实时监测喷涂到晶圆上的光刻胶的量及排液管路排出的光刻胶的量，可以及时了解供给系统是否出现故障，可以避免光刻胶的浪费损耗，从而节约生产成本。

附图说明

图1显示为本实用新型实施例一中提供的供给系统的结构示意图。

图2显示为本实用新型实施例二中提供的供给系统的结构示意图。

图3显示为本实用新型实施例三中提供的供给系统的结构示意图。

元件标号说明

10 供应管路

11 喷嘴

12 供液管路

13 第一液体流量计

141 第一排液管路

142 第二排液管路

143 第三排液管路

144 第四排液管路

145 第五排液管路

15 第二液体流量计

16 缓冲罐

17 过滤器

18 第一捕集阱

19 第二捕集阱

20 供气管路

21 气体源

22 抽液泵

23 控制阀

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图3。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，虽图示中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。

实施例一

请参阅图1，本实用新型提供一种供给系统，所述供给系统包括：

供应装置10，所述供应装置10可以用于提供液体；

喷嘴11；

供液管路12，所述供液管路12一端与所述供应装置10相连接，另一端与所述喷嘴11 相连接；

第一液体流量计13，所述第一液体流量计13位于所述供液管路12与所述喷嘴11相连接的一端处；

排液管路，所述排液管路一端与所述供液管路12相连通；及

第二液体流量计15，所述第二流量计15位于所述排液管路上。

所述第一液体流量计13用于实时监测所述供液管路12供给至所述喷嘴11处的液体的流量，所述第二液体流量计15用于实时监测所述排液管路排出的液体的流量。

作为示例，所述供应装置10可以包括光刻胶供给瓶，所述液体可以包括光刻胶。当然，在其他示例中，所述供给装置10可以包括显影液供给瓶，所述液体可以包括显影液；所述供给装置10还可以包括湿法刻蚀液供给瓶，所述液体可以包括湿法刻蚀液体。

作为示例，所述供应装置10为所述光刻胶供给瓶时，所述供液管路12远离所述喷嘴11 的一端插入至所述光刻胶供给瓶内。

作为示例，所述供给系统包括：缓冲罐(L/E tank)16、过滤器(Filter)17、第一捕集阱 (Mini Trap)18及第二捕集阱(Out Trap)19；其中，所述缓冲罐16位于所述供液管路12 上，且位于所述供应装置10与所述喷嘴11之间；所述过滤器17位于所述供液管路12上，且位于所述缓冲罐16与所述喷嘴11之间；所述第一捕集阱18位于所述排液管路12上，且位于所述过滤器17与所述喷嘴11之间；所述第二捕集阱19位于所述排液管路12上，且位于所述第一捕集阱18与所述喷嘴11之间。

作为示例，所述缓冲罐18用于暂存液体(譬如，光刻胶)，主要是为了防止所述供应装置10内的液体用完后造成机台停止作业，造成机台内的晶圆损伤；这是由于所述缓冲罐18 上有两个传感器，可以即时报空，避免造成机台停止作用对晶圆造成损伤；同时，所述缓冲罐18还可以在更换供应装置10时暂时向机台提供液体，使得机台可以持续不简单工作。所述缓冲罐18包括进液口、第一出液口及第二出液口，所述缓冲罐18的进液口与位于所述供应装置10及所述缓冲罐18之间的所述供液管路12相连通，所述缓冲罐18的第一出液口与所述排液管路相连通，所述缓冲罐18的第二出液口与位于所述缓冲罐18及所述过滤器17之间的所述供液管路12相连通。

作为示例，所述过滤器17用于过滤供应的液体(譬如，光刻胶)内的气泡及杂质。所述过滤器17包括进液口、第一出液口及第二出液口，所述过滤器17的进液口与位于所述缓冲罐18及所述过滤器17之间的所述供液管路12相连通，所述过滤器17的第一出液口与所述排液管路相连通，所述过滤器17的第二出液口与位于所述过滤器17与所述第一捕集阱18之间的所述供液管路12相连通。

作为示例，所述第一捕集阱18用于捕获供给的液体内的气泡。所述第一捕集阱18包括进液口、第一出液口及第二出液口，所述第一捕集阱18的进液口与所述过滤器17及所述第一捕集阱18之间的所述供液管路12相连通，所述第一捕集阱18的第一出液口与所述排液管路相连通，所述第一捕集阱18的第二出液口与位于所述第一捕集阱18及所述第二捕集阱19 之间的所述供液管路12相连通。

作为示例，所述第二捕集阱19用于捕获供给的液体内的气泡。所述第二捕集阱19包括进液口、第一出液口及第二出液口，所述第二捕集阱19的进液口与所述第一捕集阱18及所述第二捕集阱19之间的所述供液管路12相连通，所述第二捕集阱19的第一出液口与所述排液管路相连通，所述第二捕集阱19的第二出液口与所述第二捕集阱19及所述喷嘴11之间的所述供液管路12相连通。

作为示例，所述排液管路包括：第一排液管路141、所述第二排液管路142、所述第三排液管路143、所述第四排液管路144及所述第五排液管路145；其中，所述第一排液管路141 的一端经由所述缓冲罐16与所述供液管路12相连通，即所述第一排液管路141的一端与所述缓冲罐16的内部相连通，亦即，所述第一排液管路141的一端与所述缓冲罐16的第一出液口相连接；所述第二排液管路142的一端经由所述过滤器17与所述供液管路12相连通，即所述第二排液管路142的一端与所述过滤器17的内部相连通，亦即，所述第二排液管路 142与所述过滤器17的第一出液口相连接；所述第三排液管路143的一端经由所述第一捕集阱18与所述供液管路12相连通，即所述第三排液管路143的一端与所述第一捕集阱18的内部相连通，亦即，所述第三排液管路143的一端与所述第一捕集阱18的第一出液口相连接；所述第四排液管路144的一端与所述第一排液管路141远离所述缓冲罐16的一端、所述第二排液管路142远离所述过滤器17的一端及所述第三排液管路143远离所述第一捕集阱18的一端相连接，即所述第四排液管路144将所述第一排液管路141、所述第二排液管路142及所述第三排液管路143汇集连接在一起；所述第五排液管路145的一端经由所述第二捕集阱 19与所述供液管路12相连通，即所述第五排液管路145与所述第二捕集阱19的内部相连通，亦即，所述第五排液管路145与所述第二捕集阱19的第一出液口相连接；此时，所述第二液体流量计15的数量为两个，其中一所述第二液体流量计15位于所述第四排液管路144上，另一所述第二液体流量计15位于所述第五排液管路145上；所述第一液体流量计1位于所述第二捕集阱19与所述喷嘴11之间。

作为示例，所述第一排液管路141用于排放所述缓冲罐16内的气泡，所述第二排液管路 142用于排放所述过滤器17中的气泡及杂质，所述第三排液管路143用于排放所述第一捕集阱18中的气泡；所述第一排液管路141、所述第二排液管路142及所述第三排液管路143均会在排放气泡及杂质的过程中排放部分光刻胶，所述第一排液管路141、所述第二排液管路 142及所述第三排液管路143的光刻胶经由所述第四排液管路144排出的同时，将所述缓冲罐16内的气泡、所述过滤器17内的气泡与杂质及所述第一捕集阱18内的气泡一并排出；位于所述第四排液管路144上的所述第二液体流量计15用于监测流经所述第四排液管路144的光刻胶的量。所述第五排液管路145用于排放所述第二捕集阱19内的气泡，同样，在排放气泡的同时会排放部分光刻胶；位于所述第五排液管路145上的所述第二液体流量计15用于监测流经所述第五排液管路145的光刻胶的量。本实用新型通过在所述喷嘴11附近的所述供液管路12上设置所述第一液体流量计13，并在所述第四排液管路144上及所述第五排液管路 145上设置所述第二液体流量计15，可以实时监测喷涂到所述晶圆上的光刻胶的量及所述第四排液管路144及所述第五排液管路145排出的光刻胶的量，可以及时了解供给系统是否出现故障，譬如，所述第四排液管路144及所述第五排液管路145在排出气泡及杂质的同时是否有过度排放光刻胶的现象等等，可以避免光刻胶的浪费损耗，从而节约生产成本。本实施例中，所述第一流量计13及各所述第二流量计15共同监测到的光刻胶的使用量即为整个供给系统中光刻胶的总使用量，通过将所述第一流量计13及各所述第二流量计15共同监测到的光刻胶的使用量与光刻胶的供给量进行比对，可以判定整个供给系统中是否存在管路泄漏等造成光刻胶浪费损耗的情况发生，并在出现管路泄漏等异常情况时可以第一时间处理，以避免造成光刻胶浪费损耗，从而节约生产成本。

作为示例，所述供给系统还包括厂务排液系统(未示出)，所述厂务排液系统与所述第四排液管路144远离所述第一排液管路141、所述第二排液管路142及所述第三排液管路143 的一端相连接(即所述第四排液管路144远离所述供液管路12的一端与所述厂务排液系统相连接)，并与所述第五排液管路145远离所述第二捕集阱19的一端相连接,所述第四排液管路144及所述第五排液管路145排出的含有气泡及杂质的光刻胶排放至所述厂务排液系统中。所述厂务排液系统的具体结构及用途为本领域技术人员所知晓，此处不再累述。

作为示例，所述供给系统还包括供气管路20，所述供气管路20一端与所述供应装置10 相连接，另一端与一气体源21相连接。所述供应装置10位光刻胶供给瓶时，所述供气管路 20远离所述气体源21的一端插入至所述光刻胶供给瓶内，且所述供气管路20远离所述气体源21的一端位于所述光刻胶供给瓶内的光刻胶上方。所述供气管路20将气体源21内的其他排放至所述供应装置10内，以将所述供应装置10内的液体压入至所述供液管路12内。

作为示例，所述气体源21可以包括但不仅限于氮气源。

作为示例，所述供给系统还包括抽液泵(CRD pump，Compact Resist Dispense system pump)22及控制阀(AMC，Air Operated Medical/chemical liquid control valve)23，所述抽液泵22位于所述供液管路12上，且位于所述第一捕集阱18与所述第二捕集阱19之间；所述控制阀23位于所述供液管路12上，且位于所述第二捕集阱19与所述喷嘴11之间；所述第一液体流量计13位于所述控制阀23与所述喷嘴11之间。所述抽液泵22用于为所述供液管路12内的光刻胶加压，所述控制阀23用于控制所述喷嘴11处光刻胶的喷涂。

作为示例，所述控制阀23可以包括但不仅限于气动阀。当然，在其他示例中，所述控制23还可以为电动阀或机械阀等等。

实施例二

请参阅图2，本实用新型还提供一种供给系统，本实施例中所述的供给系统的具体结构与实施例一中所述的供给系统的具体结构大致相同，二者的区别在于所述排液管路略有不同，且所述第二液体流量计15的数量不同，具体为：实施例一中，所述排液管路包括：第一排液管路141、所述第二排液管路142、所述第三排液管路143、所述第四排液管路144及所述第五排液管路145；其中，所述第一排液管路141的一端经由所述缓冲罐16与所述供液管路12 相连通；所述第二排液管路142的一端经由所述过滤器17与所述供液管路12相连通；所述第三排液管路143的一端经由所述第一捕集阱18与所述供液管路12相连通；所述第四排液管路144的一端与所述第一排液管路141远离所述缓冲罐16的一端、所述第二排液管路142 远离所述过滤器17的一端及所述第三排液管路143远离所述第一捕集阱18的一端相连接；所述第五排液管路145的一端经由所述第二捕集阱19与所述供液管路12相连通；所述第二液体流量计15的数量为两个，其中一所述第二液体流量计15位于所述第四排液管路144上，另一所述第二液体流量计15位于所述第五排液管路145上；位于所述第四排液管路144上的所述第二液体流量计15用于监测流经所述第四排液管路144的光刻胶的量，位于所述第五排液管路145上的所述第二液体流量计15用于监测流经所述第五排液管路145的光刻胶的量。而本实施例中所述排液管路包括：第一排液管路141、所述第二排液管路142、所述第三排液管路143及所述第四排液管路144；其中，所述第一排液管路141一端经由所述缓冲罐16与所述供液管路12相连通，即所述第一排液管路141的一端与所述缓冲罐16的内部相连通，亦即，所述第一排液管路141的一端与所述缓冲罐16的第一出液口相连接；所述第二排液管路142一端经由所述过滤器17与所述供液管路12相连通，即所述第二排液管路142的一端与所述过滤器17的内部相连通，亦即，所述第二排液管路142与所述过滤器17的第一出液口相连接；所述第三排液管路143一端经由所述第一捕集阱18与所述供液管路12相连通，即所述第三排液管路143的一端与所述第一捕集阱18的内部相连通，亦即，所述第三排液管路143的一端与所述第一捕集阱18的第一出液口相连接；所述第四排液管路144一端经由所述第二捕集阱19与所述供液管路12相连通，即所述第四排液管路144与所述第二捕集阱19 的内部相连通，亦即，所述第四排液管路144与所述第二捕集阱19的第一出液口相连接；所述第二液体流量计15的数量为四个，其中，四个所述第二液体流量计15分别位于所述第一排液管路141上、所述第二排液管路142上、所述第三排液管路143上及所述第四排液管路 144上，即一所述第二液体流量计15位于所述第一排液管路141上，用于监测所述第一排液管路141排放的光刻胶的量，一所述第二液体流量计15位于所述第二排液管路142上，用于监测所述第二排液管路142排放的光刻胶的量，一所述第二液体流量计15位于所述第三排液管路143上，用于监测所述第三排液管路143排放的光刻胶的量，一所述第二液体流量计15 位于所述第四排液管路144上，用于监测所述第四排液管路144排放的光刻胶的量。

作为示例，所述供给系统还包括厂务排液系统时，所述厂务排液系统与所述第一排液管路141远离所述缓冲罐16的一端、所述第二排液管路142远离所述过滤器17的一端、所述第三排液管路143远离所述第一捕集阱18的一端及所述第四排液管路144远离所述第二捕集阱19的一端相连接。

本实施例中所述的供给系统的其他结构与实施例一中对应的其他结构完全相同，具体请参阅实施例一，此处不再累述。

实施例三

请参阅图3，本实施例还提供一种供给系统，本实施例中所述的供给系统的具体结构与实施例一中所述的供给系统的具体结构大致相同，二者的区别在于：实施例一中，所述供液管路12与所述喷嘴11相连接的一端处设有所述第一液体流量计13，且所述第四排液管路144 及所述第五排液管路145上设有第二液体流量计15；而本实施例中的所述供液管路12及各所述排液管路上均未设有液体流量计。本实施例中的供给系统中的所述供液管路12及所述排液管路上均未设有液体流量计，相较于实施例一及实施例二中所述的供给系统，本实施例中所述的供给系统无法对光刻胶的使用量进行实时监测，从而在所述供给系统出现故障上很容易造成光刻胶的浪费损耗，从而导致生产成本的增加。

本实施例中所述的供给系统的其他结构与实施例一中对应的其他结构完全相同，具体请参阅实施例一，此处不再累述。

综上所述，本实用新型提供一种供给系统，所述供给系统包括：供应装置，用于提供液体；喷嘴；供液管路，一端与所述供应装置相连接，另一端与所述喷嘴相连接；第一液体流量计，位于所述供液管路与所述喷嘴相连接的一端处；排液管路，一端与所述供液管路相连通；及第二液体流量计，位于所述排液管路上。本实用新型的供给系统通过在喷嘴附近的供液管路上设置第一液体流量计，并在排液管路上设置第二液体流量计，可以实时监测喷涂到晶圆上的光刻胶的量及排液管路排出的光刻胶的量，可以及时了解供给系统是否出现故障，可以避免光刻胶的浪费损耗，从而节约生产成本。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。