双工位旋转载片装置及应用其的光刻机的制作方法

本发明涉及半导体领域，尤其是涉及到双工位旋转载片装置及应用其的光刻机。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，在晶圆上可加工制作各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC芯片。其中，在芯片的制造过程中，需要使用到光刻机，IC制造实现芯片电路图从掩模上转移至硅片上，并实现预定的芯片功能，包括光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤，但是由于光刻机在工作时送入晶圆与取出晶圆较慢，影响工作效率，并且晶圆在光刻处理时，晶圆不能移动，否则会导致晶圆刻画出现误差，导致材料的浪费。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本发明是通过如下的技术方案来实现：双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其结构包括光刻机、滑动开关、双工位旋转装置、激光器、显微镜、控制面板，所述的光刻机前端表面上设有双工位旋转装置，所述的光刻机和双工位旋转装置活动连接，所述的双工位旋转装置右端上安装有滑动开关，所述的光刻机表面上设有控制面板，所述的双工位旋转装置上方设有激光器，所述的光刻机和激光器采用间隙配合，所述的激光器顶端上安装有显微镜；

所述的双工位旋转装置由壳体、旋转工作台、滑动换位机构、第一旋转电机、电动推拉杆、第二旋转电机组成，所述的壳体表面上设有旋转工作台，所述的壳体和旋转工作台滑动配合，所述的旋转工作台底端从左到右并排设有第一旋转电机和第二旋转电机，所述的旋转工作台与第一旋转电机和第二旋转电机榫连接，所述的滑动换位机构设于壳体内部底端，所述的滑动换位机构和壳体活动连接，所述的滑动换位机构上安装有电动推拉杆，所述的滑动换位机构与第一旋转电机和第二旋转电机均采用间隙配合。

作为本技术方案的进一步优化，所述的旋转工作台由工作板、第一载片盘、负压吸附机构、第二载片盘组成，所述的工作板表面上从左到右依次并排设有第一载片盘和第二载片盘，所述的工作板与第一载片盘和第二载片盘活动连接，所述的第一载片盘与第二载片盘上均安装有负压吸附机构。

作为本技术方案的进一步优化，所述的工作板还包括内凹环形密封条，所述的工作板表面上内槽设有内凹环形密封条，所述的工作板和内凹环形密封条胶连接。

作为本技术方案的进一步优化，所述的第一载片盘由盘体、吸附孔、外接导气环、传动轴组成，所述的盘体表面上等距分布设有四个吸附孔，并且四个吸附孔形成一个环形结构，所述的盘体外侧表面上设有外接导气环，所述的盘体和外接导气环为一体化结构，所述的盘体底端中间位置上安装有传动轴。

作为本技术方案的进一步优化，所述的负压吸附机构由弹性元件、活塞、导气管、滑杆组成，所述的导气管内壁上设有弹性元件，所述的导气管和弹性元件一端相连接，所述的弹性元件另一端上设有滑杆，所述的弹性元件和滑杆一端相扣合，所述的滑杆一端表面上安装有活塞。

作为本技术方案的进一步优化，所述的滑动换位机构由驱动块、导轨架、滑条、挡柱、底座、吊环组成，所述的底座表面上安装导轨架，所述的导轨架上设有驱动块，所述的驱动块表面上设有滑条，所述的驱动块和滑条固定连接，所述的导轨架和驱动块通过滑条滑动配合，所述的驱动块底端设有吊环，所述的驱动块和吊环通过电焊焊接，所述的导轨架上设有两个挡柱，所述的导轨架和挡柱固定连接。

作为本技术方案的进一步优化，所述的内凹环形密封条采用橡胶材质制作，密封性能良好，且耐磨性强，并且内凹环形密封条与盘体之间通过外接导气环相连接。

作为本技术方案的进一步优化，所述的第一载片盘与第二载片盘均为相同结构，且两者上均设有负压吸附机构。

作为本技术方案的进一步优化，所述的电动推拉杆与滑动开关电连接。

作为本技术方案的进一步优化，所述的电动推拉杆与驱动块通过吊环相连接，并且电动推拉杆与驱动块两者之间相互平行。

有益效果

本发明双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，将光刻机与双工位旋转装置通上电能，然后将载体分别放入第一载片盘和第二载片盘上，然后通过滑动开关控制电动推拉杆，让电动推拉杆通过推拉杆带动吊环，使得吊环带动整个驱动块左右移动，而驱动块利用滑条配合导轨架，可以在底座上方左右移动，而当工作板带动滑杆向左移动后，滑杆会被挡柱拦截，使得滑杆一端带动活塞向弹性元件挤压，让活塞将第二载片盘内的空气往导气管内抽取，使得外界气压将载体压在第二载片盘表面上，驱动第二旋转电机通过传动轴带动第二载片盘旋转工作，激光器对载体进行光刻处理后，通过滑动开关控制电动推拉杆带动驱动块往右移动后，滑条带动活塞慢慢的往左移动，并且将导气管内的气压推送出去，使得外界气压不再挤压第二载片盘上的载体，而当驱动块移动到最右端后，第一旋转电机带动第一载片盘上的载体旋转工作，加快了光刻机在工作时送入载体与取出载体，提高了工作效率。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过负压吸附机构将载体吸附在第二载片盘上，进而利用第二旋转电机带动第二载片盘旋转工作，避免了载体在刻画过程中出现误差，导致材料的浪费，通过滑动开关控制滑动换位机构往右移动后，在让第一旋转电机带动第一载片盘上的载体旋转工作，进而取出第二载片盘上的载体，加快了光刻机在工作时送入载体与取出载体，提高了工作效率，该结构设计合理，并且结构简单，适于推广使用。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明双工位旋转载片装置及应用其的光刻机的结构示意图。

图2为本发明双工位旋转载片装置及应用其的光刻机双工位旋转装置的正视剖面静止状态结构示意图。

图3为本发明双工位旋转载片装置及应用其的光刻机双工位旋转装置的正视剖面工作状态结构示意图。

图4为本发明双工位旋转载片装置及应用其的光刻机双工位旋转装置的俯视结构示意图。

图5为本发明图2中A的放大图。

图6为本发明双工位旋转载片装置及应用其的光刻机滑动换位机构的结构示意图。

图7为本发明双工位旋转载片装置及应用其的光刻机载片盘的结构示意图。

图中：光刻机-1、滑动开关-2、双工位旋转装置-3、激光器-4、显微镜-5、控制面板-6、壳体-301、旋转工作台-302、滑动换位机构-303、第一旋转电机-304、电动推拉杆-305、第二旋转电机-306、工作板-3021、第一载片盘-3022、负压吸附机构-3023、第二载片盘-3024、内凹环形密封条-3021a、盘体-3022a、吸附孔-3022b、外接导气环-3022c、传动轴-3022d、弹性元件-3023a、活塞-3023b、导气管-3023c、滑杆-3023d、驱动块-3031、导轨架-3032、滑条-3033、挡柱-3034、底座-3035、吊环-3036。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式以及附图说明，进一步阐述本发明的优选实施方案。

实施例

请参阅图1-图7，本发明提供双工位旋转载片装置及应用其的光刻机，其结构包括光刻机1、滑动开关2、双工位旋转装置3、激光器4、显微镜5、控制面板6，所述的光刻机1前端表面上设有双工位旋转装置3，所述的光刻机1和双工位旋转装置3活动连接，所述的双工位旋转装置3右端上安装有滑动开关2，所述的光刻机1表面上设有控制面板6，所述的双工位旋转装置3上方设有激光器4，所述的光刻机1和激光器4采用间隙配合，所述的激光器4顶端上安装有显微镜5，所述的双工位旋转装置3由壳体301、旋转工作台302、滑动换位机构303、第一旋转电机304、电动推拉杆305、第二旋转电机306组成，所述的壳体301表面上设有旋转工作台302，所述的壳体301和旋转工作台302滑动配合，所述的旋转工作台302底端从左到右并排设有第一旋转电机304和第二旋转电机306，所述的旋转工作台302与第一旋转电机304和第二旋转电机306榫连接，所述的滑动换位机构303设于壳体301内部底端，所述的滑动换位机构303和壳体301活动连接，所述的滑动换位机构303上安装有电动推拉杆305，所述的滑动换位机构303与第一旋转电机304和第二旋转电机306均采用间隙配合。

所述的旋转工作台302由工作板3021、第一载片盘3022、负压吸附机构3023、第二载片盘3024组成，所述的工作板3021表面上从左到右依次并排设有第一载片盘3022和第二载片盘3024，所述的工作板3021与第一载片盘3022和第二载片盘3024活动连接，所述的第一载片盘3022与第二载片盘3024上均安装有负压吸附机构3023。

所述的工作板3021还包括内凹环形密封条3021a，所述的工作板3021表面上内槽设有内凹环形密封条3021a，所述的工作板3021和内凹环形密封条3021a胶连接，

上述的内凹环形密封条3021a是用来密封负压吸附机构3023输送气体，避免气压泄露导致第一载片盘3022或第二载片盘3024不能对载体进行吸附，让载体可以稳定工作。

所述的第一载片盘3022由盘体3022a、吸附孔3022b、外接导气环3022c、传动轴3022d组成，所述的盘体3022a表面上等距分布设有四个吸附孔3022b，并且四个吸附孔3022b形成一个环形结构，所述的盘体3022a外侧表面上设有外接导气环3022c，所述的盘体3022a和外接导气环3022c为一体化结构，所述的盘体3022a底端中间位置上安装有传动轴3022d，

上述的外接导气环3022c是用来与内凹环形密封条3021a对接配合密封气压。

所述的负压吸附机构3023由弹性元件3023a、活塞3023b、导气管3023c、滑杆3023d组成，所述的导气管3023c内壁上设有弹性元件3023a，所述的导气管3023c和弹性元件3023a一端相连接，所述的弹性元件3023a另一端上设有滑杆3023d，所述的弹性元件3023a和滑杆3023d一端相扣合，所述的滑杆3023d一端表面上安装有活塞3023b，

上述的滑杆3023d是用来驱动活塞3023b将导气管3023c内的气压向内抽取，让第一载片盘3022或第二载片盘3024上的载体可以被吸附。

所述的滑动换位机构303由驱动块3031、导轨架3032、滑条3033、挡柱3034、底座3035、吊环3036组成，所述的底座3035表面上安装导轨架3032，所述的导轨架3032上设有驱动块3031，所述的驱动块3031表面上设有滑条3033，所述的驱动块3031和滑条3033固定连接，所述的导轨架3032和驱动块3031通过滑条3033滑动配合，所述的驱动块3031底端设有吊环3036，所述的驱动块3031和吊环3036通过电焊焊接，所述的导轨架3032上设有两个挡柱3034，所述的导轨架3032和挡柱3034固定连接，

上述的挡柱3034是用来挡住滑杆3023d跟随工作板3021移动，也是用来驱动滑杆3023d带动活塞3023b工作，吊环3036是用来配合电动推拉杆305带动驱动块3031移动工作。

所述的内凹环形密封条3021a采用橡胶材质制作，密封性能良好，且耐磨性强，并且内凹环形密封条3021a与盘体3022a之间通过外接导气环3022c相连接，所述的第一载片盘3022与第二载片盘3024均为相同结构，且两者上均设有负压吸附机构3023，所述的电动推拉杆305与滑动开关2电连接，所述的电动推拉杆305与驱动块3031通过吊环3036相连接，并且电动推拉杆305与驱动块3031两者之间相互平行。

本发明的原理：将光刻机1与双工位旋转装置3通上电能，然后将载体分别放入第一载片盘3022和第二载片盘3024上，然后通过滑动开关2控制电动推拉杆305，让电动推拉杆305通过推拉杆带动吊环3036，使得吊环3036带动整个驱动块3031左右移动，而驱动块3031利用滑条3033配合导轨架3032，可以在底座3035上方左右移动，而当工作板3021带动滑杆3023d向左移动后，滑杆3023d会被挡柱3034拦截，使得滑杆3023d一端带动活塞3023b向弹性元件3023a挤压，让活塞3023b将第二载片盘3024内的空气往导气管3023c内抽取，使得外界气压将载体压在第二载片盘3024表面上，驱动第二旋转电机306通过传动轴3022d带动第二载片盘3024旋转工作，激光器4对载体进行光刻处理后，通过滑动开关2控制电动推拉杆305带动驱动块3031往右移动后，滑条3033带动活塞3023b慢慢的往左移动，并且将导气管3023c内的气压推送出去，使得外界气压不再挤压第二载片盘3024上的载体，而当驱动块3031移动到最右端后，第一旋转电机304带动第一载片盘3022上的载体旋转工作，加快了光刻机1在工作时送入载体与取出载体，提高了工作效率。

本发明解决问题的方法是：通过负压吸附机构3023将载体吸附在第二载片盘3024上，进而利用第二旋转电机306带动第二载片盘3024旋转工作，避免了载体在刻画过程中出现误差，导致材料的浪费，通过滑动开关2控制滑动换位机构303往右移动后，在让第一旋转电机304带动第一载片盘3022上的载体旋转工作，进而取出第二载片盘3024上的载体，加快了光刻机1在工作时送入载体与取出载体，提高了工作效率，该结构设计合理，并且结构简单，适于推广使用。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神或基本特征的前提下，不仅能够以其他的具体形式实现本发明，还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围，因此本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定，而不是上述说明限定。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。