镜联接的制作方法

文档序号:26007409发布日期:2021-07-23 21:26阅读:106来源:国知局
镜联接的制作方法

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年11月2日提交的美国专利申请第62/754,800号和于2018年12月26日提交的美国专利申请第16/232,323号的权益,其全部内容通过引用结合于此。



背景技术:

除非本文另外指出,否则本节中描述的材料不是本申请中的权利要求的现有技术,并且并不由于包含在本节中而被承认是现有技术。

光检测和测距(lidar)系统利用光来提供关于环境中的对象的信息。例如,lidar系统可以提供关于物理环境的地图数据。一些lidar系统包括配置为将光引导到环境周围的扫描组件。这样的扫描组件可以包括一个或多个移动镜。



技术实现要素:

本公开总体上涉及具有移动镜组件的光学系统。在一些实施例中,移动镜组件可以被配置为旋转以将激光引导到光学系统的环境周围。如本文所述,激光光源和镜组件的一些布置可以提供宽的扫描角(例如,大于230度),用于给定环境内的对象的绘图(mapping)。

在第一方面,提供了一种设备。该设备包括限定旋转轴线的轴。轴包括具有第一热膨胀系数的第一材料。该设备还包括围绕轴设置的可旋转镜。可旋转镜包括具有外表面和内表面的多侧面结构。多侧面结构包括具有第二热膨胀系数的第二材料。第二热膨胀系数不同于第一热膨胀系数。该设备还包括设置在该多侧面结构的外表面上的多个反射表面。该设备另外包括一个或多个支撑构件。每个支撑构件具有相应的第一端和相应的第二端。支撑构件的相应的第一端联接到内表面。支撑构件的相应的第二端联接到轴。

在第二方面,提供了一种系统。该系统包括光发射器设备和光电检测器。该系统另外包括围绕限定旋转轴线的轴设置的可旋转镜。轴包括具有第一热膨胀系数的第一材料。可旋转镜包括具有外表面和内表面的多侧面结构。多侧面结构包括具有第二热膨胀系数的第二材料。第二热膨胀系数不同于第一热膨胀系数。该系统包括设置在多侧面结构的外表面上的多个反射表面。该系统还进一步包括一个或多个支撑构件,每个支撑构件具有相应的第一端和相应的第二端。支撑构件的相应的第一端联接到内表面。支撑构件的相应的第二端联接到轴。该系统还包括执行指令以进行操作的控制器。操作包括使可旋转镜围绕旋转轴线旋转。操作还包括使光发射器设备朝向至少一个反射表面发射光脉冲,使得光脉冲的至少一部分与外部环境相互作用以形成反射的光脉冲。

在第三方面,提供了一种光检测和测距(lidar)系统。lidar系统包括由具有第一热膨胀系数的第一材料形成的轴。lidar系统包括可旋转结构,该可旋转结构包括外表面和内表面。可旋转结构由具有第二热膨胀系数的第二材料形成。lidar系统包括将轴联接到可旋转结构的内表面的一个或多个弹性支撑构件。弹性支撑构件被配置为适应轴和可旋转结构之间的热膨胀或收缩。

通过在适当的情况下参考附图阅读以下详细描述,其他方面、实施例和实现对于本领域普通技术人员将变得清楚。

附图说明

图1示出了根据示例实施例的设备。

图2示出了根据示例实施例的系统。

图3示出了根据示例实施例的可旋转镜。

图4示出了根据示例实施例的设备。

图5示出了根据示例实施例的多个可旋转镜的轴向视图。

图6示出了根据示例实施例的系统。

图7示出了根据示例实施例的系统。

图8示出了根据示例实施例的设备。

图9示出了根据示例实施例的设备。

图10示出了根据示例实施例的设备。

具体实施方式

本文描述了示例方法、设备和系统。应当理解,词语“示例”和“示例性”在本文中用来表示“用作示例、实例或说明”。本文中描述为“示例”或“示例性”的任何实施例或特征不必被解释为比其他实施例或特征优选或有利。在不脱离本文呈现的主题的范围的情况下,可以利用其他实施例,并且可以做出其他改变。

因此,本文描述的示例实施例并不意味着是限制性的。如本文一般描述的以及在附图中示出的本公开的各方面可以以各种不同的配置来布置、替代、组合、分离和设计,所有这些在本文中被考虑。

此外,除非上下文另有提及,否则在每个附图中示出的特征可以彼此结合使用。因此,在理解对于每个实施例而言并非所有示出的特征都是必需的情况下,应将附图一般地视为一个或多个总实施例的组成方面。

i.概述

lidar系统可以包括自旋镜(spinningmirror),该自旋镜被配置为与由一个或多个光发射器(例如,激光二极管)发射的光脉冲相互作用,以朝向环境内的各个位置引导它们。此外,自旋镜可以被配置为在这样的光脉冲已经与环境相互作用以形成返回光脉冲之后将光脉冲引向一个或多个光电检测器。

在一些实施例中,lidar系统可以包括被配置为沿第一轴线照射镜的激光光源。镜可被配置为绕第二轴线旋转,其中第二轴线垂直于或基本上垂直于第一轴线。在示例实施例中,镜可包括以等边三角形布置布置的三个镜表面。当绕第二轴线旋转时,镜可以被配置为在宽视场(例如,围绕第二轴线大于230度)上将来自激光光源的光引导到系统的环境中。通过在该大的角视场上引导光,lidar系统可以提供关于大的三维容积内的对象的测距信息。

在一些实施例中,镜可包括联接到轴的三面镜表面。轴可以由钢制成,并且可以被配置为旋转,以使三面镜表面可以绕轴的轴线旋转。在一些实施例中,镜可包括注模塑料(例如,聚碳酸酯)主体。在这种情况下,三面镜表面可以包括一种或多种沉积的材料,例如金、氧化硅、氧化钛、钛、铂或铝。

镜表面的变形是不期望的,因为光脉冲可以转向到环境内的不规则和/或未知的位置。此外,镜主体(例如,塑料)和轴(例如,钢)之间的热膨胀系数(cte)不匹配可以引入可动态改变的不期望的温度相关变形。

在一些实施例中,镜的主体可以是基本上中空的,以便减少与轴和镜之间的cte不匹配有关的变形问题。例如,三面镜表面可以经由多个柔性构件(例如,从三面镜表面的每个顶点朝着轴延伸的三个构件)联接到轴。柔性构件可以是直的或弯曲的。在一些实施例中,柔性构件在处于扭曲时可以是基本上刚性的,但是沿着径向轴线是弹性的。在一些实施例中,镜的主体可以是除了以下一面之外基本上中空的:在该面中它可以由相对柔性的附接结构保持。

ii.示例设备和系统

图1示出了根据示例实施例的设备100。设备100包括限定旋转轴线的轴110。在一些实施例中,轴110可包括直径为2毫米的直轴部分。然而,其他轴直径(例如,1-5毫米或更大)是可能的并且被考虑的。轴110包括具有第一热膨胀系数的第一材料112。在一些实施例中,第一材料112包括钢。但是,其他材料(例如铝、黄铜、铜、陶瓷、复合材料和/或其他刚性材料)是可能的并且被考虑的。

设备100还包括围绕轴110设置的可旋转镜120。可旋转镜120包括多侧面结构130。在示例实施例中,多侧面结构130可以被成形为像具有中心中空部分或腔室的三角棱镜一样。例如,多侧面结构130可以包括外表面136和内表面134。多侧面结构130可以至少部分地用具有第二热膨胀系数的第二材料132形成。在一些实施例中,第二材料132包括聚碳酸酯。然而,在其他实施例中,第二材料132可以包括其他塑料材料(例如,zeonex环烯烃聚合物(cop)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚乙烯(pe)、聚氯乙烯(pvc)、聚丙烯(pp)、聚苯乙烯(ps)、聚乳酸(pla)或丙烯酸(pmma)等)、陶瓷材料、或与第一材料112不同的其他材料。第二热膨胀系数不同于(例如,大于)第一热膨胀系数。

设备100包括设置在多侧面结构130的外表面136上的多个反射表面138。作为示例,多个反射表面138可以包括三个反射表面,其关于旋转轴线对称布置,使得可旋转镜120具有三棱柱形状。

设备100另外包括一个或多个支撑构件140。多个支撑构件140中的每个支撑构件具有相应的第一端142和相应的第二端144。支撑构件140的相应的第一端142联接到内表面134。支撑构件140的相应的第二端144联接到轴110。在一些实施例中,支撑构件140被配置为适应(accommodate)轴110与多侧面结构130之间的温度相关的材料膨胀或收缩。

在一些实施例中,多侧面结构130的内表面134包括具有多个对应的顶点的多个成角度的表面(angledsurface),其中,支撑构件140的相应的第二端144联接到相应的顶点。

在一些实施例中,支撑构件140被配置为将多个反射表面138的与温度无关的平坦度保持在±1微米内、在±10微米内、或在另一平坦度范围内。

在一些实施例中,支撑构件140可以是直的。附加地或替选地,支撑构件140可以是弯曲的。

在示例中,多侧面结构130的外表面136可以具有三角形的横截面。在这样的情况下,多个反射表面138可以包括三个反射表面。反射表面138可以包括诸如钛、铂或铝的反射材料。其他类型的反射材料是可能的。在一些示例实施例中,反射表面138可以涂覆有电介质涂层(例如,高反射率涂层或抗反射涂层),例如布拉格堆叠或波长选择性涂层。其他类型的涂层是可能的。

多侧面结构130可以包括中空部分。在这样的情况下,轴110可以被设置以通过中空部分。

图2示出了根据示例实施例的系统200。系统200包括一个或多个光发射器设备170和一个或多个光电检测器160。光发射器设备170可以操作以发射光。光发射器设备170可以是被配置为提供基本上准直和/或相干光的任何光源。例如,光发射器设备170可以是半导体波导激光器、光纤激光器、准分子激光器、发光二极管或其他类型的光发射器设备。

在一些实施例中,从光发射器设备170发射的光可以包括激光的脉冲(和/或脉冲串)。例如,光脉冲可以具有1-100纳秒范围内的持续时间。但是,其他光脉冲持续时间是可能的。

在示例中,由光发射器设备170发射的光可以具有在红外(ir)波长范围内的发射波长,但是其他波长被考虑。例如,发射波长可以处于可见波长光谱或紫外(uv)波长光谱中。在示例实施例中,发射波长可以是约905纳米。替选地,发射波长可以是约1.55微米。

在一些实施例中,光电检测器160可以包括一个或多个单光子雪崩检测器(spad)。附加地或替选地,光电检测器160可以包括被配置为检测光的其他类型的传感器,例如雪崩光电检测器。

系统200还可以包括设备100的一些或全部元件。例如,系统200可以包括围绕限定旋转轴线的轴110设置的可旋转镜120。轴包括具有第一热膨胀系数的第一材料112。在这样的情况下,可旋转镜120包括具有外表面136和内表面134的多侧面结构130。例如,多侧面结构130可以包括具有第二热膨胀系数的第二材料132。在一些示例中,第二热膨胀系数大于第一热膨胀系数。

设备100和/或系统200可以形成用于自主车辆(例如,自动驾驶汽车或自主飞行器)的lidar系统的至少一部分。

如本文其他地方所述,第一材料112可以包括钢。第二材料132包括聚碳酸酯。其他材料是可能的并且被考虑。

系统200还包括设置在多侧面结构130的外表面136上的多个反射表面138。系统200另外包括一个或多个支撑构件140,每个支撑构件具有相应的第一端142和相应的第二端144。在这样的情况下,支撑构件140的相应的第一端142联接到内表面134。此外,支撑构件140的相应的第二端144联接到轴110。

在一些实施例中,轴110可联接到致动器164。致动器164可包括被配置为使轴110旋转的设备,例如步进电机、有刷或无刷dc电机、或其他类型的旋转致动器。即,被配置为将电能转换为向轴110施加旋转机械能的其他类型的致动器被考虑并且是可能的。

另外,系统200包括控制器150。在示例实施例中,控制器150可以包括一个或多个逻辑块、可编程逻辑器件(pld)、现场可编程门阵列(fpga)和/或专用集成电路(asic)。在本公开中考虑了其他类型的控制器电路。在一些实施例中,控制器150可以包括一个或多个处理器152和存储器154。在这样的情况下,处理器152可以被配置为执行存储在存储器154中的指令以便执行操作。

操作包括使可旋转镜120绕旋转轴线旋转。在一些实施例中,使可旋转镜120旋转可以包括控制致动器164以使轴110旋转,该轴110联接到可旋转镜120。

作为示例,可旋转镜120可以绕旋转轴线以旋转频率ω旋转。在一些实施例中,可旋转镜120可绕其旋转轴线以约30krpm的旋转频率旋转。可旋转镜120的其他旋转频率是可能的。例如,可旋转镜120可以在100rpm和100krpm之间的旋转频率范围内绕其旋转轴线旋转。

操作还包括使光发射器设备170朝向至少一个反射表面138发射光脉冲,使得至少一部分光脉冲与外部环境相互作用,以形成反射的光脉冲。在一些实施例中,发射的光脉冲可以具有波束宽度,例如2毫米。其他波束宽度是可能的。

在一些实施例中,操作还包括基于利用光电检测器160接收通过至少一个反射表面138从外部环境反射的光脉冲,确定以下至少一项:点云、范围或距离。

在某些情况下,支撑构件140可以被配置为适应轴110和多侧面结构130之间的温度相关的材料膨胀或收缩。

在某些情况下,多侧面结构130的内表面134可以包括具有多个对应顶点(例如,多侧面结构130的、相邻侧壁相互接连的区域)的多个成角度的表面。支撑构件140的相应的第二端144联接到相应的顶点。

支撑构件140可以被配置为将多个反射表面138的与温度无关的平坦度保持在±10微米内。此外,在一些实施例中,支撑构件140可以是直的。附加地或替选地,支撑构件140可以是弯曲的。

在一些实施例中,多侧面结构130的外表面136可以具有三角形的横截面。在这样的情况下,多个反射表面138可包括三个反射表面138。如本文所述,反射表面138可以由钛、铂或铝中的至少一种形成。然而,其他材料被考虑并且是可能的。

在示例中,反射表面138可以被配置为反射处于或基本上处于发射波长的光。例如,反射表面138可以反射多于90%的、具有1.55微米的发射波长的入射光。在一些实施例中,反射表面138可以由诸如铝、金、银或另一种反射材料的金属形成,和/或涂覆有所述金属。

附加地或替选地,反射表面138可以包括高反射率(hr)涂层。在示例实施例中,hr涂层可以包括被配置为反射处于发射波长的入射光的电介质堆叠。电介质堆叠可以包括例如在具有不同折射率的两种材料之间交替的周期性层系统。其他类型的hr涂层在本文中是可能的并且被考虑。

在某些情况下,多侧面结构130可以包括中空部分。在这种情况下,轴110可以被设置以通过中空部分。在一些实施例中,轴110可以完全通过多侧面结构130,并借助一组或多组旋转轴承而联接到壳体。

图3示出了根据示例实施例的可旋转镜300。如参照图1和图2所图示和描述的,可旋转镜300可以与可旋转镜120相似或相同。例如,如图3所示,可旋转镜300可以包括具有外表面136的多侧面结构130,外表面136具有三个反射表面138a、138b和138c。此外,可旋转镜300可以包括由多侧面结构130的内表面134限定的中心腔室310。

尽管图3示出了可旋转镜300被成形为像三角棱镜一样,但是其他形状是可能的。例如,可旋转镜300可包括四个、五个或更多个反射表面。

图4示出了根据示例实施例的设备400。如参考图1所图示和描述的,设备400可以与设备100相似或相同。设备400可以例如包括可旋转镜120。在一些实施例中,可旋转镜120可以包括具有外表面136的多侧面结构130,外表面136具有三个反射表面138a、138b和138c。此外,可旋转镜120可以具有由多侧面结构130的内表面134限定的中心腔室310。

设备400包括可通过多侧面结构130的中心腔室310的轴110。轴110可被配置为绕旋转轴线114旋转,旋转轴线114可以平行于z轴,如图4所示。

如本文所述,轴110可以以各种方式连接至多侧面结构130。例如,中心腔室310可以填充有下述材料(例如,环氧树脂、塑料等):该材料被配置为将轴110与多侧面结构130联接。在其他实施例中,轴110可以通过一个或多个支撑构件140联接到多侧面结构130,如参考图5所图示和描述的。

图5示出了根据示例实施例的多个可旋转镜510、520、530、540、550和560的轴向视图500。可旋转镜510、520、530、540、550和560可以与参考图1、图2、图3和图4图示和描述的可旋转镜120相似或相同。在以下描述的每种情况下,可旋转镜510、520、530、540、550和560可以包括支撑构件140,支撑构件140可以沿着多侧面结构130的外表面和反射表面138提供更好的温度相关的平坦度。也就是说,支撑构件140可以提供由第一材料112形成的轴110与由第二材料132形成的多侧面结构130的内表面134之间的更大的热隔离程度。在这种情况下,与其他联接布置相反,当轴110和多侧面结构130经由支撑构件140联接时,钢(大致11–12.5×10-6/k)和聚碳酸酯(大致65–70×10-6/k)之间的cte不匹配会对反射表面138的平坦度影响较小。在一些实施例中,由于热膨胀的影响,支撑构件140可折曲或使多侧面结构130关于轴110略微旋转。

在示例实施例中,可旋转镜510包括三个支撑构件140,其将轴110物理地联接到多侧面结构130的内表面134。每个支撑构件140的第一端142可以联接到多侧面结构130的侧面之一的内表面134的中间部分512。此外,第二端144可以联接到轴110。在一些实施例中,支撑构件140可以是直的。附加地或替选地,如图所示,支撑构件140可以在第一端142和第二端144之间渐缩(taper)或张开(flare)。例如,支撑构件140可以在其联接到内表面134的至少一个维度上变宽。同样地,支撑构件140可在其联接到轴110的至少一个维度上变窄。

可旋转镜520可以与可旋转镜510基本相似,因为它可以包括三个支撑构件140,其将轴110物理上联接到多侧面结构130的内表面134。在可旋转镜520的情况下,每个支撑构件140的第一端142可以联接到多侧面结构130的内表面134的顶点522。第二端144可以联接到轴110。如图所示,支撑构件140可以在第一端142和第二端144之间渐缩或张开。例如,支撑构件140可以在其联接到内表面134的至少一个维度上变宽。同样地,支撑构件140可以在其联接到轴110的至少一个维度上变窄。

如图5所示,可旋转镜530和540可以分别表示可旋转镜510和520的一般化实施例。即,支撑构件140可以包括配置为将多侧面结构130的内表面134联接到轴110的弹性、弹簧状和/或可弯曲的结构。此外,如图所示,支撑构件140可联接到中间部分532或顶点542。

可旋转镜550和560包括弯曲的支撑构件140。在一些实施例中,可以基于轴110的旋转方向和/或轴110的旋转速度来选择弯曲的形状。也就是说,尽管支撑构件140可以基于轴110相对于+z轴线的顺时针旋转(例如,如图5所示的“页面外”)以特定方式被成形或选择,但是支撑构件140可以针对轴110相对于+z轴线的逆时针旋转而不同地成形或选择。例如,弯曲的支撑构件140可以基于多侧面结构130和轴110的旋转速度(例如,每分钟旋转(rpm))被成形和/或选择。

将理解,在本公开的范围内,支撑构件的其他类型、尺寸、形状和数量是可能的并且被考虑。

图6示出了根据示例实施例的系统600。在一些实施例中,系统600可以与系统200相似或相同,如参考图2所图示和描述。例如,系统600可以是包括可旋转镜120的lidar系统。系统600可以另外包括基座结构190。系统600还可以包括一个或多个光发射器设备170和一个或多个光电检测器160,它们可以联接到基座结构190。在一些实施例中,系统600可以包括挡板180,挡板180可以包括开口182。可旋转镜120可以被配置为部分地通过开口182。开口182可以被成形为在可旋转镜120自旋时容纳可旋转镜120。挡板180可以由铝、钢或另一刚性材料形成。挡板180可以涂覆有非反射涂层。挡板180可以被配置为分隔与(多个)光发射器设备170和(多个)光电检测器160相对应的光路。在这样的示例中,挡板180可以防止在lidar的发射部分和接收部分之间的串扰和/或光学噪声。

在一些实施例中,可以由光发射器透镜172聚焦、准直和/或以其他方式修改由光发射器设备170发射的光610。此外,在一些实施例中,由光电检测器160接收的光620可以由光电检测器透镜162(例如,聚光透镜)聚焦、准直和/或以其他方式修改。

在一些实施例中,光电检测器160和相关的光接收器(未示出)可以提供关于系统200周围的环境的场景的信息。

参考图6,系统200的操作可以包括使基座结构190围绕旋转轴线630(例如,平行于y轴线的轴线)旋转。基座结构190可以以旋转频率φ旋转。作为示例,基座结构190可以按约600rpm的旋转频率旋转。对于基座结构190,其他旋转频率也是可能的。例如,基座结构190可以按10rpm和10krpm之间的旋转频率旋转。

在这种情况下,使基座结构190围绕旋转轴线旋转可以包括利用另一致动器使基座结构190旋转。另一致动器可以包括dc电机或另一类型的旋转致动器。

在一些实施例中,使光发射器设备170发射光可以包括使光发射器设备170基于旋转频率ω或旋转频率φ中的至少一个来发射激光光脉冲。

图7示出了根据示例实施例的系统700。系统700可以与系统200和600相似或相同,如参照图2和图6所图示和描述的。

图8示出了根据示例实施例的设备800。设备800可以与设备100相似或相同,如图1所图示和描述的。设备800包括将轴110联接到多侧面结构130的支撑构件140a、140b和140c。

图9示出了根据示例实施例的设备900的几个视图。设备900可以类似于设备100,如图1所图示和描述的。例如,设备900可以包括轴110和多侧面结构130,其可以具有多个反射表面138。在一些实施例中,多侧面结构130可以是四侧面的。例如,如图9所示,设备900可以包括四个反射表面138a、138b、138c和138d。

如图9的a-a视图所示,轴110和相应的反射表面138a、138b、138c和138d可以通过一个或多个支撑构件910(例如,支撑构件910a、910b、910c和910d)联接。在一些实施例中,支撑构件910a、910b、910c和910d可以在轴110和内表面(例如,如关于图1所图示和描述的内表面134)之间提供柔性(例如,挠曲)结构支撑。

在示例实施例中,支撑构件910可以是t形的。附加地或替选地,支撑构件910可以具有细长的t形。即,t形可以沿着z轴线在长度方向上延伸。其他形状是可能的并且被考虑。

在一些实施例中,每个支撑构件910可包括两个第一端912和第二端916。两个第一端912和第二端916可通过t形构件914联接。如图所示,两个第一端912可以联接到两个不同的内表面,该两个不同的内表面对应于多侧面结构130的两个不同的反射表面138(被定位成与其相反)。

在一些实施例中,两个第一端912可以由第一材料形成,并且第二端916可以由第二不同的材料形成。作为示例,支撑构件910的各个部分可以由但不限于塑料(例如,聚丙烯、聚乙烯、聚碳酸酯、硅树脂等)、橡胶(例如,乳胶等)、金属(例如,铝、钢、钛等)和/或陶瓷形成。将理解的是,在本公开的范围内,其他材料和材料组合是可能的并且被考虑。

在示例实施例中,可以选择用于支撑构件910的一个或多个元件的材料,以减小或最小化例如轴110和反射表面138之间的热膨胀系数差异的影响。例如,两个第一端912可以被选择为硅树脂,以便提供对热变化相对不敏感的顺应性的、柔性的材料。附加地或替选地,在一些实施例中,t形构件914可以由柔性材料形成,以便减小或最小化从轴110对反射表面138施加的力或反射表面138与轴110的相对移位。这样的力和/或位移可能至少部分地由于热膨胀系数的差异而引起。因此,通过利用所公开的支撑构件910,设备900可以较少地受到温度波动、温度相关的材料弯曲或位移、和/或长期温度循环效应(例如,热去应力)的影响。

在一些实施例中,设备900可以被结合到系统200和600中,如参考图2和图6所图示和描述的。

图10示出了根据示例实施例的设备1000的几个视图。设备1000可以类似于分别参考图6和图9图示和描述的系统600和设备900的一些方面。例如,设备1000可以包括具有由反射表面138a、138b、138c和138d限定的四个主侧面的多侧面结构130。

在一些实施例中,镜的主体除了一侧之外可以是基本上中空的,在该侧面其可以由相对柔性的附接结构保持。例如,如b-b视图所示,多侧面结构130可具有中空的内部。例如,腔室1010可以由多侧面结构130的内表面134和轴110限定。在一些实施例中,设备1000的多侧面结构130可以通过侧面支撑1004连接到轴110。侧面支撑1004可以为多侧面结构130和对应的反射表面138a、138b、138c和138d提供相对柔性的结构支撑。

由于形成反射表面138和轴110的材料之间的cte不匹配,图10中所示的布置可以减小或最小化反射表面138的位移量。在这样的情况下,由于cte不匹配而引起的位移和/或感应应力的一些或全部可以限于支撑区域1002。支撑区域1002可以包括例如侧面支撑1004和轴110之间的界面。也就是说,在这样的实施例中,基于cte的位移可以基本上沿z轴线发生,这可能导致设备1000对温度偏移(temperatureexcursion)或温度循环不太敏感。因此,在设备1000中,可以减少或最小化由于cte不匹配而引起的对反射表面138的影响。

附图中所示的特定布置不应视为限制性的。应当理解,其他实施例可以包括给定附图中所示的每个元件的更多或更少。此外,一些示出的元件可以被组合或省略。更进一步,说明性实施例可以包括附图中未示出的元件。

表示信息处理的步骤或块可以对应于可以被配置为执行本文描述的方法或技术的特定逻辑功能的电路。替选地或附加地,表示信息处理的步骤或块可以对应于程序代码(包括相关数据)的模块、段或一部分。该程序代码可以包括处理器可执行的一个或多个指令,用于实现该方法或技术中的特定的逻辑功能或动作。程序代码和/或相关数据可以存储在任何类型的计算机可读介质上,例如包括磁盘、硬盘驱动器或其他存储介质的存储设备上。

计算机可读介质还可以包括非暂时性计算机可读介质,例如在短时间段内存储数据的计算机可读介质,如寄存器存储器、处理器高速缓存和随机存取存储器(ram)。计算机可读介质还可以包括在更长的时间段内存储程序代码和/或数据的非暂时性计算机可读介质。因此,计算机可读介质可以包括二级或永久长期存储,例如像只读存储器(rom)、光盘或磁盘、光盘-只读存储器(cd-rom)。计算机可读介质也可以是任何其他易失性或非易失性存储系统。计算机可读介质可以被认为是例如计算机可读存储介质或有形存储设备。

尽管已经公开了各种示例和实施例,但是其他示例和实施例对于本领域技术人员将是清楚的。各种公开的示例和实施例是出于说明的目的,并不旨在是限制性的,其真实范围由所附权利要求指示。

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