专利名称：激光加工机的制作方法
技术领域：
本发明涉及激光加工机，特别涉及偏转激光束前进方向的倾斜反射镜的结构。
作为以往的这种结构，例如在日本专利公开平成4-65759和日本专利公开平成1-113193等中已揭示。
图17是表示在日本专利公开平成4-65759中揭示的以往激光加工机倾斜反射镜安装结构的剖面图。在图中，1是激光束，2是支座，3是装在支座2上的倾斜块，4是倾斜反射镜支架，5是倾斜反射镜，6是倾斜反射镜紧固件，7是倾斜反射镜的紧固件6的安装螺丝，8是设有多个的调整用放松螺丝，9是设有多个的调整用紧固螺丝，11是在调整用放松螺丝8的部分设置在倾斜反射镜支架4和倾斜块3间的弹簧，10a是设置在倾反射镜紧固件6的冷却水进口，10b是冷却水出口。
接着，对作用和动作进行说明。这时，激光束1由倾斜反射镜5反射偏转。在激光加工机中用于偏转调整激光束1的前进方向，使激光束1射入最末端的加工透镜。
在激光加工机的支座2上安装倾斜块3，使倾斜反射镜5在倾斜反射镜支架4的凹部确定嵌入位置。倾斜反射镜紧固件6由安装螺丝7装到倾斜反射镜支架4上，以压紧固定倾斜反射镜5。
前述成为一体的倾斜反射镜5和倾斜反射镜支架4，用调整用放松螺丝8和调整用紧固螺丝9进行调整安装倾斜角度的动作。此外，倾斜反射镜5在冷却水进口10a通冷水，从而成为间接冷却的结构。
图18是表示在日本专利公开平成1-113193中揭示的以往激光加工机倾斜反射镜安装结构的剖面图。在图中，1-3、5-9和11表示与图17相同或相当的部分，省略其说明。12是在倾斜反射镜5和倾斜反射镜紧固件6间设置的波形衬垫。
接着，对作用和动作进行说明。这时，倾斜反射镜5在倾斜块3的倾斜面凹部确定嵌入位置。通过波形衬垫12由倾斜反射镜紧固件6压紧固定倾斜反射镜5。激光束1偏转方向的调整，利用与前述以往技术例相同的结构，通过调整和倾斜反射镜5成为一体的倾斜块3对于支座2的角度来进行。
图19是其它以往的倾斜反射镜的安装结构的剖面图。角度调整的结构未图示，对图进行说明时，13是阶梯状倾斜反射镜，激光束1的反射面15和对倾斜块的安装面14不在同一面上，设置有层差。
倾斜反射镜13用安装螺丝7安装到倾斜块3，使该反射镜的安装面14对倾斜块3的倾斜平面16搭接。
在这种结构场合，倾斜反射镜13往往只在反射面15的部分施加反射膜。此外，如实用新型公开昭和62-154403所示，有在阶梯倾斜反射镜13中有设置水室和散热片的情况。
以往的激光加工机倾斜反射镜安装结构，因前述那样结构，存在如下问题。
图17和图18的倾斜反射镜安装结构中，零件的个数多，构成复杂，价格高。冷却水管直接附在倾斜反射镜紧固件6和阶梯状倾斜反射镜13的场合，反射镜装卸时的处理烦杂。因倾斜反射镜5嵌入倾斜反射镜支架4和倾斜块3的凹部，有倾斜反射镜取出困难的问题。
调整激光束1的光路的场合，因对靶的偏转点在凹部，需要特殊凸形夹具。倾斜反射镜5的安装面凹形的场合，因加工困难且平面度差，所以安装力仿效该安装面，造成倾斜反射镜5变形，不能正确地偏转和传送激光束。
一般地，倾斜反射镜反射面的平面度，以λ为激光束的波长时，为λ/20左右。熟知的二氧化碳气体激光器和钇铝石榴石(YAG)激光器中，波长(λ)分别为10.6μm和1.06μm。
为使倾斜反射镜安装时的变形在容许值内，安装面的平面度也需要取为前述值左右。安装面凹型的场合，因镗削加工，不能得到期望的平面度。因而，采用由弹簧等增减对倾斜反射镜安装面的紧固力，以减少变形的方法等，但离不开安装面的精度，所以需要使紧固力减至相当小的各种调整，这种场合存在振动等外力造成安装位置偏移掉的问题。
另一方面，图19中表示的阶梯状倾斜反射镜13的场合，倾斜反射镜13一侧的安装面14，因凹部加工平面度差和因不能达到安装面14和反射面15的平行度，有维修时安装位置的再现困难且不同反射镜无安装互换性等的问题。
在图17和图18中，用弹簧11调整倾斜反射镜5的角度，但在角度调整机构中采用弹簧的结构对于超过弹簧力的外力，有移动的可能性，存在不保证经越长期而角度不变的问题。
本发明是为解决前述那样的问题而研究成功的，用简单的结构维持倾斜反射镜反射面的精度，取得能高精度偏转和传送激光且易于进行光路调整的激光加工机倾斜反射镜安装结构。
有关本发明的激光加工机，是具备反射激光的倾斜反射镜、安装该倾斜反射镜的倾斜块、固定支承该倾斜块的支座和进行前述倾斜块与前述支座的安装调整的调整手段的激光加工机。
在倾斜块内部具备冷却水通道。
在倾斜块的安装侧面和前述支座的安装侧面间具备防尘用构件。
防尘用构件采用磁性密封。
做成在倾斜反射镜上设置安装孔，使前述倾斜反射镜的反射面对接在倾斜块的倾斜反射镜安装面上那样的安装结构。
在倾斜块的倾斜反射镜安装面施加平面度为1μ以下、面粗糙度为0.05μ以下的平面切削加工或者平面研磨加工。
在倾斜反射镜两个地方设置安装孔，倾斜块的安装螺丝对于激光偏转平面设置成直角方向。
用比倾斜块的材料刚性高的材料做倾斜反射镜材料。
将倾斜反射镜装在倾斜块上的固定螺栓为阶梯螺丝，该梯形螺丝和前述倾斜反射镜间设置弹簧，将前述倾斜反射镜压紧固定在前述倾斜块上。
在弹簧和倾斜反射镜间设置垫圈。
在倾斜块的倾斜反射镜安装部具备限制倾斜反射镜安装方向用的引导构件。
作为引导构件，设置从倾斜块的倾斜反射镜安装部表面突出的引脚，在倾斜反射镜上设置插入前述引脚的导孔。
只在成为倾斜反射镜的反射面，即该镜与倾斜块对接部分以外的部分上涂敷反射膜。
倾斜反射镜中，其安装孔附近部分做成比其它部分剖面厚度大的形状。
倾斜反射镜中，其反射面相当部分做成比其它部分剖面厚度大的形状。
倾斜反射镜中，做成在其安装孔附近部分和其反射面相当部分间设置缺口部分的剖面形状。
倾斜反射镜的安装孔设置后锪孔。
在倾斜反射镜的安装孔内部设置比前述倾斜反射镜材料刚性高的材料的套管。
倾斜反射镜中，用比前述倾斜反射镜中心部分材料刚性高的材料构成设置其安装孔的外围部分的材料。
在倾斜块中埋设安装座，使该安装座与倾斜反射镜对接，从而将前述倾斜反射镜固定在前述倾斜块上。
此外，在安装座的倾斜反射镜对接面，进行平面度1μ以下、表面光洁度0.05μ以下的镜面精加工。
本发明的激光加工机，是在安装倾斜反射镜的倾斜块和支座间，能调整安装状态的激光加工机。
由于在倾斜块内部具备冷却水通道，倾斜反射镜的处理和冷却水通道的结构间没有直接的关系。
由于具备防尘构件，外部来的粉尘等灰尘不会进入激光的光路。
由于防尘构件采用磁性密封，磨耗等损伤少。
由于倾斜块的倾斜反射镜安装部做成平面，容易进行该安装部的加工。而且，倾斜块和倾斜反射镜能直接安装。
倾斜块的倾斜反射镜安装部的精度变得更加高。
倾斜反射镜直径小时，也能安装到倾斜块。
由于用比倾斜块材料刚性高的材料做倾斜反射镜材料，在安装状态中倾斜反射镜不易变形。
由于用阶梯螺丝做安装螺栓，通过弹簧压紧固定倾斜反射镜，所以能改变螺栓头下光滑部的长度和弹簧的种类。
由于在弹簧和倾斜反射镜间设置了垫圈，弹簧的力被分散作用到倾斜反射镜上。
由于具备引导构件，能装卸得倾斜反射镜反射面不与倾斜块磨擦。
作为引导构件，由于用所述的引脚加导孔的结构，引导构件有简单且紧密的结构。
倾斜反射镜反射面只在与倾斜块对接部分以外的部分上涂敷反射膜，涂敷作业简单。
倾斜反射镜的安装孔附近部分做成比其它部分剖面厚度大的形状，吸收由反射镜安装时的螺丝等紧固力引起的变形。
由于倾斜反射镜的反射面相当部分在与反射面相反方向做成比其它部分剖面厚度大的形状，反射面相当部分的刚性提高。
由于设置缺口部分，在倾斜反射镜的安装孔部附近产生的变形不会扩大到越过缺口部分。
由于设置后锪孔，在倾斜反射镜的安装孔部附近产生的变形只扩大到孔部附近的特定范围。
由于在倾斜反射镜的安装孔内部设置比反射镜的材料刚性高的材料的套管，由套管承受反射镜安装时安装构件(螺丝等)的紧固力。
由于倾斜反射镜中，用比前述倾斜反射镜中心部分材料刚性高的材料构成设置其安装孔的外围部分的材料，由高刚性部分承受反射镜安装时安装构件(螺丝等)的紧固力。
由于在倾斜块的倾斜反射镜安装部中埋设安装座，只要达到安装座的加工精度就可以，高精度加工容易实现。
此外，倾斜块的倾斜反射镜安装部的精度进一步提高。
本发明，因前述说明的结构，达到以下所示的效果。
由于在安装了反射镜的倾斜块和支座间调整安装状态，达到难于产生因振动等引起的失常和随经历时间的变化等、可得稳定激光调整机构的效果。
由于在倾斜块的内部具备冷却水通道，倾斜反射镜的处理和冷却水通道的结构间没有直接的关系，达到倾斜反射镜的安装状态不因冷却水通道而受不好影响、成为稳定状态的效果。
由于具备防尘用构件，达到防止激光光路受外部粉尘等灰尘的侵入、能防止激光品质下降和倾斜反射镜表面污染的效果。
由于防尘构件采用磁性密封，达到磨擦等损伤少、长期能维持防尘作用的效果。
倾斜块由于倾斜反射镜的安装部做成平面，该安装部的加工变得容易，由于谋求平面度精度的提高，达到在安装固定倾斜反射镜时，防止反射镜沿着倾斜块安装部的形状变形、进而能维持倾斜反射镜反射面精度的效果。此外，由于倾斜块和倾斜反射镜直接安装，达到安装变得容易的效果。
达到能安装更加精度高的倾斜反射镜的效果。
达到倾斜反射镜直径小时也能安装到倾斜块，进而能谋求构件小型化和节省空间化的效果。
由于用比倾斜块的材料刚性高的材料做倾斜反射镜的材料，达到在安装状态下倾斜反射镜不易变形、能维持反射面精度的效果。
由于用阶梯螺丝做安装螺栓，通过弹簧压紧固定倾斜反射镜，达到通过变化螺栓头下光滑部的长度和弹簧种类、能容易调整变化倾斜反射镜的压紧力的效果。
由于在弹簧和倾斜反射镜间设置垫圈，弹簧的力被分散作用到倾斜反射镜上，达到能防止反射镜局部变形的同时、能防止反射镜背面受伤的效果。
由于具备引导构件，在安装作业时，能防止倾斜镜反射面因与倾斜块磨擦而受伤。此外，反射镜没有横向位移，有容易装卸的效果。
由于引导构件用引脚加导孔的结构，有能用简单且紧凑的结构实现引导构件的效果。
由于倾斜反射镜的反射面只在与倾斜块对接部分以外的部分涂敷反射膜，有能节约与涂敷作业有关的时间和费用的效果。
由于倾斜反射镜的安装孔附近部分做成比其它部分剖面厚度大的形状，有能吸收反射镜安装时螺丝等的紧固压力引起的变形，能减小作为反射镜总体的变形，进而能维持反射面精度的效果。
由于倾斜反射镜的反射面相当部分做成比其它部分剖面厚度大的形状，有反射面相当部分的刚性提高，反射面的变形减小，进而能维持反射面精度的效果。
由于设置缺口部分，有在倾斜反射镜的安装孔部附近产生的变形不会扩大到越过缺口部分，能防止安装孔部附近产生的变形传向反射面相当部分，进而能维持反射面精度的效果。
由于设置后锪孔，在倾斜反射镜的安装孔部附近产生的变形限制在孔部附近的特定范围，有能防止安装孔部附近产生的变形传到反射面相当部分，进而能维持反射面精度的效果。
由于在倾斜反射镜的安装孔内部设置比镜的材料刚性高的材料的套管，由套管承受反射镜安装时安装构件(螺丝等)的紧固力，有不易产生安装构件接合面的下沉，不易产生螺丝的松驰，能经历长期维持良好的倾斜反射镜安装状态的效果。
由于倾斜反射镜中用比前述倾斜反射镜中心部分材料刚性高的材料构成设置其安装孔的外围部分的材料，由于用高刚性部分承受反射镜安装时安装构件(螺丝等)的紧固力，有不易产生安装构件接合面的下沉，不易产生螺丝的松驰，能经历长期维持良好的倾斜反射镜安装状态的效果。此外，只在高刚性部吸收紧固力，有能防止紧固力造成的变形传到反射镜反射面相当部分的效果。
由于在倾斜块的倾斜反射镜安装部中埋设安装座，具有为了达到倾斜反射镜安装部的表面精度，只要达到比倾斜块的整个倾斜反射镜安装面小的安装座的加工精度即可，高精度加工变得容易，进而能得到精度高的倾斜反射镜安装状态的效果。
此外，具有能安装精度更高的倾斜反射镜的效果。
图1是有关本发明实施例1的激光加工机的倾斜反射镜安装部的结构剖视图。
图2是图1中结构剖视图的B-B剖视图。
图3是图2中结构剖视图的C-C剖视图。
图4是有关本发明实施例2的激光加工机的倾斜反射镜安装部的结构剖视图。
图5是从箭头A的方向看图1的结构剖视图的图。
图6是有关本发明实施例3的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图7是有关本发明实施例4的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图8是有关本发明实施例5的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图9是有关本发明实施例6的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图10是有关本发明实施例7的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图11是有关本发明实施例8的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图12是有关本发明实施例9的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图13是有关本发明实施例10的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图14是有关本发明实施例11的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图15是有关本发明实施例12的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图16是有关本发明实施例13的激光加工机的倾斜反射镜安装部关键部分的结构剖视图。
图17是以往的激光加工机倾斜反射镜安装部的结构剖视图。
图18是另外的以往的激光加工机倾斜反射镜安装部的结构剖视图。
图19是其它的以往的激光加工机倾斜反射镜安装部的结构剖视图。
符号说明1是激光，2是支座，3是倾斜块，5是倾斜反射镜，8是调整用放松螺丝，9是调整用紧固螺丝。
实施例1图1是表示本发明实施例1的结构剖视图，图2是图1的B-B剖视图，图3是图2的C-C剖视图。
在本实施例1中，倾斜反射镜5对倾斜块3的安装结构，因在后面叙述的本发明的其它实施例的说明中进行详细描述，故这里省略。2是在激光加工机等中设置的支座，8和9是为对支座2调整、固定倾斜块3的倾斜而设置的多个螺丝，8是用调整用放松螺丝，9是调整用紧固螺丝。通过调整这种调整用放松螺丝8和调整用紧固螺丝9，能调整对支座2的倾斜块3的倾斜、进而调整安装在倾斜块3上的倾斜反射镜5的倾斜，所以成为最终能调整固定激光束1的偏转方向的结构。
并且在本实施例中，10a和10b是倾斜块3中设置的冷却水入口和出口，在它们中间流通冷却水，从而成为通过倾斜反射镜5对倾斜块3的对接面(即倾斜平面16)间接冷却倾斜反射镜5的结构。
此外，在本实施例中，30是设置在倾斜块3和支座2间的O型密封圈，起防止外部灰尘等进入光路部分的防尘密封作用。
而且，在作为防尘用O型密封圈30的部分也可以采用非接触型密封的磁性密封，成为利用磁力和静电力的一般非接触式密封结构。
在本实施例中，为调整倾斜块3对支座2的倾斜，用多个调整放松螺丝8和调整紧固螺丝9进行，也可以用球面轴承和将旋转固定用锁紧螺钉组合成单一结构等。
在本实施例中，作为防尘用密封件的O型密封圈30也可用衬垫和波纹管等，能达到和本发明相同的效果。
实施例2接着用附图对本发明的实施例2进行说明。
图4是表示实施例2的倾斜块结构的剖视图，图5表示在图4中由箭头A见到的平面图。
在图中，1是激光束，3是倾斜块，5是倾斜反射镜，16是倾斜块3中安装倾斜反射镜5的无凹部倾斜平面，15是倾斜反射镜5的反射面，17是在倾斜反射镜5的外缘部设置的安装孔。
在本实施例2中，为了为在如图所示的直角方向偏转激光束1的前进方向而设置的倾斜反射镜5的反射面15与倾斜块3的无凹部倾斜面16直接对接(接触)，倾斜反射镜5的安装孔17中穿过安装螺栓7，将倾斜反射镜5紧压固定安装到倾斜块3方。
而且，在本实施例中，与倾斜块3上与倾斜反射镜5的反射面15对接安装的倾斜平面16，施加平面切削加工及平面研磨加工。
平面切削加工若用市售超精密车床等，能得到平面度1μm以下、表面光洁度0.05μm以下的镜面，所以能不难确保与二氧化碳气体激光加工机用的倾斜反射镜5的反射面中要求相同的精度。要求更高精度的镜面的场合，按用平面磨床等加工机进行研磨加工的要求施工。
而且，在本实施例中，如图5所示的倾斜反射镜5的安装孔17在两个地方，向倾斜块3的安装螺丝7设置在对于激光束1的偏转平面垂直的方向。也就是说，做成倾斜块3的激光束通孔贯通到倾斜反射镜5方的部分，其形状为椭园，如图虚线所示，并在该椭园的短轴方向设置安装螺丝。
此外，在本实施例中，做成倾斜反射镜5的材料用比倾斜块3的材料刚性高的材料构成，倾斜块3比倾斜反射镜5容易弹性形变，倾斜反射镜5装到倾斜块3时在倾斜反射镜5不易产生变形。
本实施例中，倾斜块3的材料用重量轻加工性好且市场上丰富的铝合金制成，倾斜反射镜5的材料用比铝合金刚性高且通用的材料，在二氧化碳气激光的场合用硅制成、在YAG激光的场合用玻璃(石英玻璃等)制成。
此外，本实施例中，倾斜块3的倾斜平面16成整个表面没有阶梯的平面状，尽管倾斜反射镜5没有对接的地方成部分凸出状，也容易完成平面加工，只要获得与倾斜反射镜5对接的安装面即可。
实施例3图6是表示本发明实施例3的关键部分的结构剖视图。18是只在前端加工成阶梯状的阶梯螺丝，11是弹簧，19是垫圈。
在本实施例中，倾斜反射镜5装成对倾斜块3由弹簧11用一定的压紧力固定，而且在弹簧11和倾斜反射镜5间设置垫圈19，弹簧11的压紧负荷由垫圈19尽量均匀地分散到倾斜反射镜5的安装部。
在本实施例中，垫圈19对应每个安装孔17设置，也可以对多个安装孔17在一起设置。
实施例4图7是表示本发明实施例4的关键部分的结构剖视图。其结构为在倾斜反射镜5周围的倾斜块3上安装至少三块以上引导板20的结构。
引导板20起限制安装方向的作用，使倾斜块3上装、拆倾斜反射镜5时，不偏离到对安装方向(图4中箭号A的方向)垂直的方向。
在本实施例4中，引导板20分开设置，但也可以在倾斜反射镜5的周围设置成连续环状，只要对倾斜反射镜5的装拆没有障碍，其它结构也可。
实施例5图8是表示本发明实施例5的关键部分的结构剖视图。21是伸出倾斜块3且钉进该块3的最少2根以上引脚，22是在倾斜反射镜5设置的导孔。
引脚21和导孔22起引导机构的作用。
实施例6图9是表示本发明实施例6的关键部分的结构剖视图。倾斜反射镜5的反射面15，除去与倾斜块3的倾斜平面16对接的面，涂敷反射膜23。由图5的平面图可知涂敷的范围成椭园状，成为反射偏转激光束1的作用中完全没有障碍的结构。
实施例7图10是表示本发明实施例7的关键部分的结构剖视图，做成倾斜反射镜5的安装孔17的设置部分呈比反射部分24厚的剖面形状。
在本实施例中，呈厚剖面形状的部分也可以只在安装孔17的周围，还可以在有安装孔17的倾斜反射镜5的全部外围部分。
实施例8图11是表示本发明实施例8的关键部分的结构剖视图，做成反射部分24比倾斜反射镜5的安装孔17设置的部分厚的剖面形状。
实施例9图12是表示本发明实施例9的关键部分的结构剖视图，在倾斜反射镜5的安装孔17的设置的部分和反射部分24间的整个一圈都有缺口部25的剖面形状。
在本实施例9中，缺口部25设置在倾斜反射镜5的反射面15的反面，但即使在反射面15的一侧，只要不防碍激光束1的反射、偏转也可以。
实施例10图13是表示本发明实施例10的关键部分的结构剖视图，做成在倾斜反射镜5的安装孔17的反射面15的一侧，设置后锪孔部26。
实施例11图14是表示本发明实施例11的关键部分的结构剖视图，做成在倾斜反射镜5的安装孔17的内部，由钉入或粘接设置用比倾斜反射镜5的材料刚性高的材料做成的筒状套管27。
这里，套管27的下表面和倾斜反射镜5的反射面在同一平面上，所以在对倾斜块3装拆倾斜反射镜5的场合，或者在倾斜反射镜5本身更换等场合，反射面不会跟着变形。
实施例12图15是表示本发明实施例12的关键部分的结构剖视图，做成设置倾斜反射镜5的安装孔17的外围部分28，用比倾斜反射镜5中心部的材料刚性高的材料构成。外围部分28成园环状。
这里，四周部分28的下面(倾斜块3的对接面)和在倾斜反射镜5的中心部的反射面成同一平面，所以在对倾斜块3装拆倾斜反射镜5的场合，或者在倾斜反射镜5本身更换等场合，反射面不会跟着变形。
实施例13图16是表示本发明实施例13的关键部分的结构剖视图。在本实施例中，做成在与倾斜块3的倾斜反射镜5的安装位置相当的部分，与倾斜块3一体地埋设环状的安装座29。
权利要求
1.一种激光加工机，其特征在于，该加工机具备反射激光的倾斜反射镜、安装该倾斜反射镜的倾斜块、固定支承该倾斜块的支座，以及调整前述倾斜块和前述支座的安装的调整手段。
2.如权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，在倾斜块内部具备冷却水通道。
3.如权利要求1或权利要求2的任一项所述的激光加工机，其特征在于，在倾斜块一侧的安装面和前述支座一侧的安装面间具备防尘用构件。
4.如权利要求3所述的激光加工机，其特征在于，防尘构件采用磁性密封。
5.一种激光加工机，其特征在于，做成在倾斜反射镜设置安装孔的同时，使前述倾斜反射镜的反射面与倾斜块的倾斜反射镜安装用平面部对接安装的结构。
6.如权利要求5所述的激光加工机，其特征在于，在倾斜块的倾斜反射镜的安装用平面部施行平面度1μ以下、表面光洁度0.05μ以下的平面切削加工或平面研磨加工。
7.如权利要求5或权利要求6的任一项所述的激光加工机，其特征在于，在倾斜反射镜设置安装孔为两处，倾斜块的安装螺丝对应部设置在对激光偏转平面垂直的方向。
8.如权利要求5至权利要求7的任一项所述的激光加工机，其特征在于用比倾斜块的材料刚性高的材料作为倾斜反射镜的材料。
9.如权利要求5至权利要求8的任一项所述的激光加工机，其特征在于，用阶梯螺丝作为在倾斜块安装倾斜反射镜的安装螺栓，在该阶梯螺丝和前述倾斜反射镜间设置弹簧，以便前述倾斜块压紧固定前述倾斜反射镜。
10.如权利要求9所述的激光加工机，其特征在于，在弹簧和倾斜反射镜间设置垫圈。
11.如权利要求5至权利要求10的任一项所述的激光加工机，其特征在于在倾斜块的倾斜反射镜安装部具备限止倾斜反射镜安装方向用的引导构件。
12.如权利要求11所述的激光加工机，其特征在于，设置从倾斜块的倾斜反射镜安装部表面突出的引脚、在倾斜反射镜上设置插入前述引脚的导孔，作为引导构件。
13.如权利要求5至权利要求12的任一项所述的激光加工机，其特征在于，成为倾斜反射镜反射面的平面只在与倾斜块的对接部分以外的部分涂敷反射膜。
14.如权利要求5至权利要求13的任一项所述的激光加工机，其特征在于，形状为倾斜反射镜中，其安装孔附近部分的剖面厚度比其另外部分剖面厚度大。
15.如权利要求5至权利要求13的任一项所述的激光加工机，其特征在于，形状为倾斜反射镜中，其反射面相当部分比其他部分在反射面反面方向的剖面厚度大。
16.如权利要求5至权利要求15的任一项所述的激光加工机，其特征在于，剖面形状为倾斜反射镜中，在其安装孔附近部分与其反射面相当部分之间设置缺口部。
17.如权利要求5至权利要求16的任一项所述的激光加工机，其特征在于，倾斜反射镜的安装孔设置后锪孔部。
18.如权利要求5至权利要求17的任一项所述的激光加工机，其特征在于，倾斜反射镜的安装孔内部设置比前述倾斜反射镜的材料刚性高的材料的套管。
19.如权利要求5至权利要求18的任一项所述的激光加工机，其特征在于，倾斜反射镜中，用比前述倾斜反射镜的中心部的材料刚性高的材料，构成设置其安装孔的外围部分的材料。
20.一种激光加工机，其特征在于，在倾斜块中埋设安装座，使该安装座与倾斜反射镜对接，从而在前述倾斜块上固定前述倾斜反射镜。
21.如权利要求20所述的激光加工机，其特征在于，在安装座的倾斜反射镜对接面，进行平面度1μ以下、表面光洁度0.05μ以下的镜面精加工。
全文摘要
本发明揭示一种激光加工机，这种加工机具备反射激光1的倾斜反射镜5、安装该倾斜反射镜5的倾斜块3、固定支承该倾斜块3的支座2，以及调整倾斜块3和支座2的安装的调整用螺丝8和9。这种加工机结构简单、能维持倾斜反射镜反射面的精度且易于进行激光光路的调整。
文档编号G02B7/198GK1132132SQ9510986
公开日1996年10月2日 申请日期1995年8月10日 优先权日1995年3月28日
发明者林栄吉, 押村光信, 松野司, 泽井秀一 申请人:三菱电机株式会社