一种极紫外反射镜片的装调装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于极紫外(Extreme ultrav1let，简写为EUV)光刻技术领域，具体涉及一种镜片装调装置，特别是EUV反射镜片的装调装置。
【背景技术】
[0002]EUV光刻技术是继193nm浸没式光刻技术之后的下一代光刻机技术，由于EUV福射被几乎所有物质(包括空气)强烈吸收，EUV光刻机系统必须置于真空环境中。真空抽气泵组用于实现这种真空环境，使腔室满足真空度要求。
[0003]另外，EUV光刻机的光学系统为反射式光学系统，在封闭的真空环境中除了要求稳定的安装、可靠的调节，还需要将外界的各种干扰(如真空抽气泵组或地面的振动影响)排除在外，这就对EUV反射镜片的装调装置提出了较高的要求。
[0004]可以通过在真空抽气泵组和真空腔体之间加装一个减振波纹管来减少真空抽气泵组对真空腔体的振动影响，从而减少对反射镜片的振动影响；这样在抽真空管道上会额外增加较长的波纹管长度，会增加抽气流阻增大抽速损失，从而导致泵的有效抽速减少、抽气时间增加的不良结果。
【发明内容】
[0005](一 )要解决的技术问题
[0006]本发明所要解决的技术问题是如何在不减少抽气泵有效抽速的条件下使EUV光刻机的光学系统能够稳定的安装和可靠的调节。
[0007]( 二)技术方案
[0008]为解决上述技术问题，本发明提出一种镜片装调装置，用于安装和调节镜片，包括:腔体，其底壁具有通孔；镜片支撑架，位于所述腔体内，用于支撑所述镜片；抱压系统，用于将所述镜片固定在所述镜片支撑架上；支承系统从所述腔体的通孔穿过，使得其一部分位于腔体内，另一部分位于腔体外，位于腔体内的部分与所述镜片支撑架的底部固定连接。
[0009]根据本发明的一种【具体实施方式】，所述支承系统的长度可以调节，该支承系统的长度的变化会导致固接于该支承系统的一端的镜片支承架的高度发生变化。
[0010]根据本发明的一种【具体实施方式】，所述腔体为真空腔体，所述支承系统与所述腔体的通孔之间真空密封。
[0011]根据本发明的一种【具体实施方式】，所述支承系统包括上法兰、下法兰、波纹管和支承螺杆，其中，所述上法兰、下法兰分别与所述波纹管的两端固定连接并且轴向对正，沿所述上法兰、下法兰和波纹管的轴心开一通孔；所述上法兰与所述镜片支撑架的底部固定连接；所述下法兰与所述真空腔体内侧的底壁固定连接；所述波纹管的长度可调节；所述支承螺杆从所述腔体的外部依次穿过该腔体的通孔以及下法兰、波纹管、上法兰的轴心的通孔，抵顶所述镜片支撑架的底部。
[0012]根据本发明的一种【具体实施方式】，所述支承螺杆的抵顶所述镜片支撑架的底部的一端为球面端。
[0013]根据本发明的一种【具体实施方式】，所述支承螺杆的没有抵顶所述镜片支撑架的底部的一端与一个基板固定连接，该基板的下部设有减振系统，通过该减振系统放置在安装平面上。
[0014]根据本发明的一种【具体实施方式】，所述支承系统的数量至少是三个，并且各支承系统的支承螺杆对镜片支撑架的作用点在同一水平面上的投影点不在同一直线上。
[0015]根据本发明的一种【具体实施方式】，各支承系统与所述镜片支撑架的底面的周边固定连接。
[0016]根据本发明的一种【具体实施方式】，所述抱压系统包括压块、抱压螺钉和锁紧螺母，其中，所述压块上端开一螺纹孔，下端与所述镜片直接接触；所述抱压螺钉穿过所述镜片支撑架的侧边后旋接于所述压块的所述螺纹孔；所述锁紧螺母套设于抱压螺钉，将所述抱压螺钉相对于所述压块锁紧。
[0017]根据本发明的一种【具体实施方式】，所述压块的材料为铜或铝。
[0018](三)有益效果
[0019]本发明能够实现反射镜片和镜片支撑架的三维调节，隔离真空抽气泵组对反射镜片的振动影响。因此本发明不需要在真空腔体上额外增加减振波纹管，也能够隔离地面振动的影响。
【附图说明】
[0020]图1是本发明的一个实施例的EUV反射镜片的装调装置的结构示意图；
[0021]图2是本发明的一个实施例的EUV反射镜片的装调装置的抱压系统的结构示意图；
[0022]图3是本发明的一个实施例的EUV反射镜片的装调装置的支承系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]本发明提出的镜片装调装置用于安装和调节镜片，特别适合EUV反射镜片。该装调装置至少包括腔体、镜片支撑架、抱压系统和支承系统。腔体的底壁具有通孔，镜片支撑架位于腔体内，用于支撑镜片。抱压系统用于将镜片固定在镜片支撑架上。支承系统从腔体的通孔穿过，使得其一部分位于腔体内，另一部分位于腔体外，位于腔体内的部分与镜片支撑架的底部固定连接。
[0024]为了调节镜片的高度，支承系统的长度是可以调节的。也就是说，支承系统的长度的变化会导致固接于该支承系统的一端的镜片支承架的高度发生变化。当本发明的镜片装调装置用于EUV反射镜片时，所述腔体为真空腔体，此时，支承系统应与腔体的通孔之间真空密封。
[0025]根据本发明的优选方式，支承系统包括上法兰、下法兰、波纹管和支承螺杆，上法兰、下法兰分别与波纹管的两端固定连接并且轴向对正，且沿上法兰、下法兰和波纹管的轴心开有一个通孔。上法兰与镜片支撑架的底部固定连接，下法兰与真空腔体内侧的底壁固定连接。波纹管的长度是可调节的。支承螺杆从腔体的外部依次穿过腔体的通孔以及下法兰、波纹管、上法兰的轴心的通孔，抵顶镜片支撑架的底部。支承螺杆的抵顶镜片支撑架的一端优选为球面端，另一端则与一个基板固定连接，该基板的下部可以设有减振系统，通过该减振系统放置在安装平面上。
[0026]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。
[0027]图1是本发明的一个实施例的EUV反射镜片的装调装置的结构示意图。如图1所示，该装调装置用于安装并调节反射镜片2，其包括真空腔体1、镜片支撑架3、连接反射镜片2和镜片支撑架3的抱压系统4、连接真空腔体I和镜片支撑架3的支承系统5。
[0028]真空腔体I上连接安装有真空泵组、真空计等。虽然现有技术也可以直接将真空腔体安放在普通地面上，但这样会有外界干扰直接传递到真空腔体上，如真空泵组的振动、地面传递过来的振动等。
[0029]考虑承重和初步定位，镜片支撑架3与反射镜片2的下部分直接接触；反射镜片2一般为圆形，镜片支撑架3与反射镜片2直接用弧面接触；在反射镜片2的上部分通过抱压系统4将反射镜片2牢固安装在镜片支撑架3上。
[0030]图2是本发明的一个实施例的EUV反射镜片的装调装置的抱压系统的结构示意图。如图2所示，抱压系统4由压块41、抱压螺钉42和锁紧螺母43组成。压块41上端开一螺纹孔，下端与反射镜片2直接用弧面接触；压块41选为较软且真空放气率较小的材料，如铜、铝等，因橡胶等非金属材料在真空环境下会发生大量放气，且放气成分会污染反射镜片，极大的降低反射镜片的反射率和其使用寿命，所以压块材料不能为橡胶等非金属材料。抱压螺钉42首先穿过镜片支撑架3的螺纹孔，再旋接于压块41上端的螺纹孔；通过旋转抱压螺钉42来实现压块41的前后直线移动，从而压紧或者放松反射镜片2 ;要注意选用适当的抱压螺钉42长度，使压块41压紧反射镜片时抱压螺钉的螺帽与镜片支撑架之间还留有一定余量，防止压块还未达到压紧位置时抱压螺钉就旋接到镜片支撑架的极限位置。当压块移动到一定位置压紧反射镜片2时，为确保系统稳定，引入锁紧螺母43将抱压螺钉42和压块41的相对位置固定，防止螺纹松动。
[0031]需要注意的是，虽然图1中画出了两个对称的、与竖直方向成一定角度(45度)的抱压系统4，但本发明不限于此，抱压系统4也可以与竖直方向成其余角度，如30度，或者只用一个位于反射镜片2上端的抱压系统。
[0032]另外，在反射镜片2的下端除了直接用弧面接触，也可以改为抱压系统的紧固方式，这样整个反射镜片2与镜片支撑架3之间就只有多个(两个、三个、四个或者多个)抱压系统4相连。这些都应视为本发明所要求保护的范围。
[0033]支承系统5安放在真空腔体I上，支承系统5能够支承反射镜片2和镜片支撑架3的重量，也能够实现三维调节(重力方向的平动，除了绕重力方向转动外的其余两种转动)。该支承系统5实现了反射镜片2和真空腔体3的分离，能够隔离真空抽气泵组对反射镜片2的振动影响，从而不需要在真空腔体I上额外增加减振波纹管。
[0034]图3是本发明的一个实施例的EUV反射镜片的装调装置的支承系统的结构示意图。如图3所示，支承系统5由上法兰51、下法兰52、波纹管53、密封圈54、支承螺杆55、锁紧螺母56、承重螺母57和基板58组成。上法兰(51)、下法兰(52)分别与波纹管(53)的两端固定连接并且轴向对正，沿上法兰(51)、下法兰(52)、波纹