一种用于光配向的光罩装置及应用设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶显示器的技术领域，特别是涉及一种用于光配向的光罩装置及应用设备。
【背景技术】
[0002]液晶显示器通过施加电场到其上、下显示面板的场产生电极，使得液晶层中的液晶在电场的作用下偏转方向，因此可通过控制入射到该液晶层中的偏振光实现显示图像。目前，垂直配向(VA，vertical alignment)模式的液晶显示器由于具有高对比度和宽标准视角已得到广泛研宄和应用。
[0003]在液晶显示器的制作过程中，常使用摩擦配向和光配向两种方法。其中摩擦配向方法会产生静电和颗粒的污染，而光配向方法是一种非接触式的配向技术，其利用线偏振光照射在光敏感的高分子聚合物配向膜上，使得液晶层中的液晶与显示面板形成倾角。
[0004]目前常用的光配向方法是UV2A(ultra v1let vertical alignment)技术，其原理是采用一定角度的紫外光(ultra v1let)通过光罩照射到阵列基板或彩膜基板的光配向膜层上，使得光配向膜层发生配向反应进而使得液晶分子以与阵列基板或彩膜基板法线成一定夹角(1-5° )排列。而用于光配向工艺的光罩尺寸通常小于市场上液晶显示器的尺寸，因此需要使用多个光罩重叠设置且同时工作，其重叠区(overlap区)会照射两次光线。
[0005]请查阅图la，图1a是现有技术中用于光配向的两个光罩的重叠区开口部的结构示意图。如图1所示，该两个光罩110和光罩120具有重叠区，其中该光罩110的重叠区记为1101，非重叠区记为1102，其上分别设有多个开口部1103和1104，其中开口部是能够透射光线的曝光区；该光罩120的重叠区记为1201，非重叠区记为1202，其上分别也设有多个开口部1203和1204。请查阅图lb，图1b是图1a中两个光罩的重叠区开口部(或对应的曝光量)变化趋势的结构示意图，具体的，以该光罩120进行示例说明，其重叠区1201上开口部1203的变化趋势记为曲线12011，其呈直线变化，且非重叠区1202上开口部1204的变化趋势记为曲线(或直线)1022112021，其为直线常数；同理，该光罩110重叠区域1101上的开口部1103的变化趋势为曲线11011，呈直线变化，且非重叠区域1102上开口部1104的变化趋势记为曲线(或直线)11021 (图1b中未示出)，其也为直线常数，并与曲线12021的常数相同。其中在重叠区满足曲线11011和曲线12011在相同位置(相同X)处其叠加值与该光罩110或120的非重叠区的开口部的曲线11021或12021数值相同，即通过该光罩110和光罩120重叠区开口部1101和1201的叠加曝光量与该光罩110或光罩120非重叠区域的开口部1102或1202的曝光量相同。
[0006]但是现有技术中用于光配向的多个光罩重叠区中开口部呈直线变化，即对应的曝光量也呈直线变化，使得后续生产的显示面板中具有带状mura缺陷，妨碍产品的显示质量。
【发明内容】
[0007]本发明主要解决的技术问题是提供一种用于光配向的光罩装置及应用设备，能够实现两个光罩重叠区的开口部的曝光量呈曲线(平滑)变化，进而消除后续产品中带状mura的缺陷，提尚广品的显不质量。
[0008]为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是，提供一种装置，该装置包括:
[0009]第一光罩和第二光罩；
[0010]该第一光罩包括第一重叠区和第一非重叠区；
[0011]该第二光罩包括第二重叠区和第二非重叠区；
[0012]该第一重叠区和该第二重叠区彼此重叠；
[0013]该第一重叠区包括沿第一方向排列的多个透射的开口部；
[0014]该第一非重叠区包括沿该第一方向排列的多个透射的开口部；
[0015]该第二重叠区包括沿该第一方向排列的多个透射的开口部；
[0016]该第二非重叠区包括沿该第一方向排列的多个透射的开口部；
[0017]该第一非重叠区的开口部和该第二非重叠区的开口部相同；
[0018]该第一重叠区的开口部的高度Yl满足Yl = Hsin2U X/2L);
[0019]该第二重叠区的开口部的高度Y2满足Y2 = HCOS2(jtX/2L)；
[0020]其中H是该第一非重叠区域的开口部和该第二非重叠区域的开口部的高度，X =L-M，L是该第一重叠区和该第二重叠区的长度，M是该第一重叠区和该第二重叠区距离该第一非重叠区或该第二非重叠区的距离。
[0021]其中，该第一非重叠区的开口部和该第二非重叠区的开口部是第一长方形；
[0022]该第一长方形的宽度方向与该第一方向相同；
[0023]该第一重叠区的开口部和该第二重叠区的开口部是第二长方形，且该第二长方形在该第一方向上的尺寸与该第一长方形的宽度相同。
[0024]可选的，该第一非重叠区的开口部和该第二非重叠区的开口部是第一长方形；
[0025]该第一长方形的宽度方向与该第一方向相同；
[0026]该第一重叠区的开口部和该第二重叠区的开口部是多个第三长方形；且该第三长方形的在该第一方向上的尺寸与该第一长方形的宽度相同或不同。
[0027]进一步的，该第一重叠区的开口部和该第二重叠区的开口部是通过马赛克算法得到。
[0028]进一步可选的，该第一重叠区的开口部和该第二重叠区的开口部彼此重叠。
[0029]该第一重叠区的开口部和该第二重叠区的开口部彼此不重叠。
[0030]该第一重叠区的开口部和该第二重叠区的开口部的布置形式对称或不对称。
[0031]为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是，提供一种设备，该设备包括:
[0032]上述一技术方案中涉及的装置以及第一光源和第二光源；
[0033]该第一光源用于向该第一光罩的开口部提供光；
[0034]该第二光源用于向该第二光罩的开口部提供光。
[0035]该第一光源和该第二光源是紫外光。
[0036]本发明的有益效果是:本发明提供的装置及设备包括彼此部分重叠的第一光罩和第二光罩，以使得该第一光罩包括第一重叠区和第一非重叠区，该第二光罩包括第二重叠区和第二非重叠区，且该第一重叠区和该第二重叠区彼此重叠；同时该第一重叠区包括沿第一方向排列的多个透射的开口部，该第一非重叠区包括沿该第一方向排列的多个透射的开口部；该第二重叠区包括沿该第一方向排列的多个透射的开口部，该第二非重叠区包括沿该第一方向排列的多个透射的开口部；具体的，该第一非重叠区的开口部和该第二非重叠区的开口部相同；该第一重叠区的开口部的高度Yl满足Yl = Hsin2 (31 X/2L)，该第二重叠区的开口部的高度Y2满足Y2 = Hcos2 (JT X/2L);其中H是该第一非重叠区域的开口部和该第二非重叠区域的开口部的高度，X = L-M, L是该第一重叠区和该第二重叠区的长度，M是该第一重叠区和该第二重叠区距离该第一非重叠区或该第二非重叠区的距离。与现有用于光配向的多个光罩重叠区域中开口部呈直线变化的技术相比，本发明将两个光罩重叠区中开口部呈符合三角函数平方的曲线变化，使得开口部的曝光量更平滑(smooth)变化，且在重叠区域的相同位置满足Hsin2 (X/2L)+Hcos2 (31 X/2L) = H，即该两个光罩重叠后其重叠区的开口部的曝光量与非重叠区的开口部的曝光量相同，进而实现该两个光罩衔接的重叠区的曝光量与非重叠区的曝光量相同，使得后续液晶显示器中显示效果均匀，同时曲线变化的开口部能够实现消除后续液晶显示器中带状mura的缺陷，提高产品的显示质量。
【附图说明】
[0037]图1a是现有技术中用于光配向的两个光罩的重叠区开口部的结构示意图；
[0038]图1b是图1a中两个光罩的重叠区开口部(或对应曝光量)变化趋势的结构示意图；
[0039]图2a是本发明提供的用于光配向的光罩装置第一实施方式的结构示意图；
[0040]图2b是图2a中两个光罩的重叠区开口部高度变化趋势的结构示意图；
[0041]图2c是图2a中两个光罩的重叠区开口部的布置形式不对称的结构示意图；
[0042]图2d是图2a中两个光罩的重叠区开口部彼此重叠的结构示意图；
[0043]图2e是图2a中两个光罩的重叠区开口部彼此不重叠的结构示意图；
[0044]图3a是本发明提供的用于光配向的光罩装置第二实施方式的结构示意图；
[0045]图3b是图3a中两个光罩的重叠区开口部包括多个第三长方形的一结构示意图；
[0046]图3c是图3a中两个光罩的重叠区开口部包括多个第三长方形的另一结构示意图；
[0047]图4是本发明提供的用于光配向的曝光设备第三实施方式的结构示意图。
【具体实施方式】
[0048]下面结合附图和实施方式对本发明进行详细说明。
[0049]请参阅图2a和图2b，图2a是本发明提供的用于光配向的光罩装置第一实施方式的结构示意图；图2b是图2a中两个光罩的重叠区开口部高度变化趋势的结构示意图。
[0050]该光罩装置20包括:
[0051]第一光罩210和第二