一种显影机及显影方法

文档序号:8519580阅读:587来源:国知局
一种显影机及显影方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显影机及显影方法。
【背景技术】
[0002]众所周知,液晶显示器具有功耗低、体积小、重量轻、超薄屏等许多其他显示器无法比拟的优点,近年来被广泛应用于单片机控制的智能仪器、仪表和低功耗电子产品中。
[0003]目前,液晶显示器行业的彩色滤波片工厂进行彩色滤波片制作时,对玻璃基板进行显影的工艺主要包括:将待显影玻璃基板倾斜5°放置于显影腔,进而采用显影机(Developer)的带有喷头的摇杆上下移动的方式对待显影玻璃基板喷洒显影液,实现对待显影玻璃基板的显影;然而该显影方式存在以下问题:一、在显影过程中,显影液喷头分布在整个玻璃基板面上方,同时向玻璃基板喷洒显影液,所有显影液喷头共用一个供液系统,由于玻璃基板是成倾斜状态的,玻璃基板上侧喷洒下的显影液到达玻璃基板后,向玻璃基板下侧部分流动,这样的方式会导致倾斜的玻璃基板下部显影液偏多,浓度较大,从而玻璃基板下部被显影掉的部分偏多,造成玻璃基板表面整体显影不均匀的状况;二、显影液喷头在摇摆喷液的过程中,出现局部两端喷洒的显影液少于中间部分,这样在一定程度上导致玻璃基板的局部显影不均匀;三、采用两个以上的循环供液槽,槽内的显影液随着显影的进行,循环一段时间后浓度降低,此时需切换到另一显影槽,同时对浓度降低的显影槽补充原液达到显影所需浓度以备用,这样需要定期更换显影供液槽,工作繁琐耗费人力。
[0004]因此,如何提高玻璃基板显影的均匀性,是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

【发明内容】

[0005]本发明实施例提供了一种显影机及显影方法,用以解决现有技术中存在的对待显影玻璃基板进行显影时,整个玻璃基板显影不均匀的问题。
[0006]本发明实施例提供了一种显影机,包括:至少一行显影液喷嘴、至少一行显影原液喷嘴、显影腔和显影供液系统;其中,
[0007]所述显影腔设置有倾斜的滑动轨道,待显影玻璃基板放置于所述倾斜的滑动轨道上;
[0008]至少一行所述显影液喷嘴位于所述待显影玻璃基板的倾斜面高的一端对应的区域的上方,且每行显影液喷嘴与所述待显影玻璃基板的倾斜面的边缘平行,所述显影液喷嘴用于向所述待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液;
[0009]至少一行所述显影原液喷嘴位于所述待显影玻璃基板的倾斜面的中部区的上方,且每行显影原液喷嘴与每行显影液喷嘴平行,所述显影原液喷嘴用于向所述待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液;
[0010]其中,所述待显影玻璃基板的倾斜面的中部区域为以倾斜面的中位线为基准,在中位线两侧具有预设规定量的区域,所述显影原液的浓度大于所述显影液的浓度;
[0011]所述显影供液系统用于循环提供对所述待显影玻璃基板进行显影所需的显影液。
[0012]在一种可能的实施方式中,本发明实施例提供的上述显影机中,所述显影机包括至少两行显影液喷嘴和至少两行显影原液喷嘴;
[0013]第一行显影液喷嘴位于所述待显影玻璃基板倾斜面高的一端的上方,其余行显影液喷嘴位于第一行显影液喷嘴与待显影玻璃基板中部区域对应的上方区域之间的区域;
[0014]第一行显影原液喷嘴位于所述待显影玻璃基板倾斜面的中部区域的上方,其余行显影原液喷嘴位于第一行显影原液喷嘴与待显影玻璃基板倾斜面低的一端对应的上方区域之间的区域。
[0015]在一种可能的实施方式中,本发明实施例提供的上述显影机中,所述显影液喷嘴与显影原液喷嘴的帘式喷洒方式为均匀且连续的帘式喷洒。
[0016]在一种可能的实施方式中,本发明实施例提供的上述显影机中,所述显影供液系统,具体包括:显影液槽、显影原液槽和带控制阀门的原液补充管道;其中,
[0017]所述显影液槽的固定位置低于所述显影原液槽的固定位置,所述显影液槽与所述显影原液槽通过所述原液补充管道相连;
[0018]所述显影液槽用于向所述显影液喷嘴提供显影液;
[0019]所述显影原液槽用于向所述显影原液喷嘴提供显影原液以及在所述显影液槽内的显影液浓度偏低时通过打开控制阀向所述显影液槽补充显影原液。
[0020]在一种可能的实施方式中,本发明实施例提供的上述显影机中,所述显影液槽,具体包括:显影液输入管道、显影液输出管道和浓度测试仪;其中,
[0021]所述显影液输出管道用于向所述显影液喷嘴提供显影液;
[0022]所述显影液输入管道用于将所述显影腔内的显影液返回所述显影液槽;
[0023]所述浓度测试仪用于实时检测所述显影液槽内显影液的浓度,在检测到所述显影液槽内的显影液浓度低于预设值时,控制所述原液补充管道通过打开控制阀向所述显影液槽补充相应量的显影原液。
[0024]在一种可能的实施方式中,本发明实施例提供的上述显影机中,所述显影原液槽,具体包括:显影原液输出管道和注入口 ;其中,
[0025]所述显影原液输出管道用于向所述显影原液喷嘴提供显影原液;
[0026]所述注入口用于在所述显影原液槽内的显影原液容量低于预设数值时,通过所述注入口向所述显影原液槽注入显影原液。
[0027]本发明实施例提供了一种本发明实施例提供的上述显影机的显影方法,包括:
[0028]通过显影液喷嘴向显影腔内放置于倾斜滑动轨道上的待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液;
[0029]通过显影原液喷嘴向所述待显影玻璃基板的中部帘式喷洒显影原液;
[0030]通过显影供液系统循环提供对所述待显影玻璃基板进行显影所需的显影液。
[0031 ] 在一种可能的实施方式中,本发明实施例提供的上述显影机的显影方法中,控制所述显影液喷嘴与所述显影原液喷嘴进行喷洒溶液的方式为均匀连续的帘式喷洒方式。
[0032]在一种可能的实施方式中,本发明实施例提供的上述显影机的显影方法中,还包括:在对待显影玻璃基板进行显影之前,预先确定相邻行显影液喷嘴之间、相邻行显影原液喷嘴之间,以及相邻行的显影液喷嘴与显影原液喷嘴之间的间距。
[0033]本发明实施例的有益效果包括:
[0034]本发明实施例提供了一种显影机及显影方法,该显影机包括:至少一行显影液喷嘴、至少一行显影原液喷嘴、显影腔和显影供液系统;其中,显影腔设置有倾斜的滑动轨道,待显影玻璃基板放置于倾斜的滑动轨道上;至少一行显影液喷嘴位于待显影玻璃基板的倾斜面高的一端对应的区域的上方,且每行显影液喷嘴与待显影玻璃基板的倾斜面的边缘平行,显影液喷嘴用于向待显影玻璃基板的一端帘式喷洒显影液;至少一行显影原液喷嘴位于待显影玻璃基板的倾斜面的中部区域的上方,且每行显影原液喷嘴与每
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