图案化电极的制作方法、液晶显示面板及其制作方法

文档序号:9505585阅读:946来源:国知局
图案化电极的制作方法、液晶显示面板及其制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种图案化电极的制作方法、液晶显示面板及其制作方法。
【背景技术】
[0002]液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)是目前最广泛使用的平板显示器之一,液晶显示面板是液晶显示器的核心组成部分。液晶显示面板通常是由一彩色滤光片基板(Color Filter,CF)、一薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor ArraySubstrate,TFT Array Substrate)以及一配置于两基板间的液晶层(Liquid CrystalLayer)所构成。一般阵列基板、彩色滤光片基板上分别设置像素电极、公共电极。当电压被施加到像素电极与公共电极便会在液晶层中产生电场,该电场决定了液晶分子的取向,从而调整入射到液晶层的光的偏振,使液晶面板显示图像。
[0003]在液晶显示器中,基于液晶的运作模式的分类有:相变(phase change,PC)、扭转向列(twisted nematic,TN)、超扭转向列(super twisted nematic,STN)、垂直配向型(Vertical Alignment,VA)、横向电场切换型(In plane Switching, IPS)等。其中 VA 型液晶显示器具有较高的对比度,在大尺寸面板具有较为广泛的应用。但由于VA型液晶面板采用的是具有垂直转动特性的液晶,这种液晶分子双折射率的差异很大,导致整个面板的色偏较为严重。
[0004]现有技术通常米用多畴垂直配向(Mult1-domain Vertical Alignment,MVA)技术来解决上述色偏问题,即将一个子像素区划分为多个区域,每个区域内液晶在电压作用下具有不同的倒向,从而降低色偏的影响,提高视觉感受。实现MVA技术的方法有多种,其中一种方法是将一侧的像素电极划分为多个区域,各个区域内的像素电极均形成有向不同方向延伸的像素电极分支与狭缝间隔的图案,另一侧的公共电极为厚度均匀、连续不间断的平面电极,由于特殊的像素电极图案,其产生的倾斜电场可以诱导不同区域中的液晶分子倒向不同的方向。上述实现MVA技术的方法中,像素电极与公共电极的制作材料通常为氧化铟锡(Indium tin oxide, ΙΤ0),其中,图案化的像素电极制作过程通常为先在基板上利用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposit1n, CVD)或者物理气相沉积(Physical VaporDeposit1n,PVD)等设备溅射一层ΙΤ0薄膜,然后在ΙΤ0上涂覆一层光刻胶,再利用特殊形状的掩模版,对光刻胶进行曝光,接着对光刻胶进行显影,然后再对ΙΤ0薄膜进行蚀刻形成与光刻胶相同的图案,最后将光刻胶进行剥离。这样就形成了具有特殊图案的ΙΤ0电极。
[0005]现有技术中,制作ΙΤ0薄膜主要为PVD、CVD等技术,虽然这些技术较成熟,但制作成本也相对较高。同时ΙΤ0中金属铟属于稀有金属,随着不断的消耗与价格持续走高,导致ΙΤ0在工业上的应用受到限制。此外,制作ΙΤ0特殊图案电极时,由于分辨率要求较高,还需要正型光阻涂敷,正型光阻价格较高,导致制作工艺成本升高。

【发明内容】

[0006]本发明的目的在于提供一种图案化电极的制作方法,能够简化图案化电极的制作工艺,降低图案化电极的制作成本。
[0007]本发明的目的还在于提供一种液晶显示面板的制作方法,能够简化液晶显示面板中图案化电极的制作工艺,降低电极和液晶显示面板的制作成本,提升产品竞争力。
[0008]本发明的目的还在于提供一种液晶显示面板,能够降低液晶显示面板的成本,提升产品竞争力。
[0009]为实现上述目的,本发明提供了一种图案化电极的制作方法,包括如下步骤:
[0010]步骤1、提供石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液,将石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液按照一定比例进行混合,制得石墨稀/PED0T:PSS混合溶液;
[0011]步骤2、提供光刻胶,将石墨烯/PED0T:PSS混合溶液与光刻胶按照一定比例进行混合、搅拌后,制成具有导电能力的石墨烯/ph)ot:pss光刻胶;
[0012]步骤3、提供一基板,于所述基板上涂敷步骤2中制得的石墨烯/PED0T:PSS光刻胶,再利用预定形状的掩膜板对涂敷于基板上的石墨烯/ph)ot:pss光刻胶进行曝光,随后利用显影液进行显影,烘烤即可制得图案化电极。
[0013]所述步骤1中,所述石墨稀水溶液中石墨稀的质量百分比为lwt% -99wt%,所述PED0T:PSS溶液中PED0T:PSS的质量百分比为lwt % -99wt % ;所述石墨烯水溶液与PED0T:PSS溶液按照1:5-1:100的质量比进行混合。
[0014]所述步骤2中,所述石墨烯/PED0T:PSS混合溶液与光刻胶按照1:1_1:50的质量比进行混合;所述光刻胶包括感光剂、树脂、及溶剂,其中,所述感光剂、树脂、及溶剂的质量比为 5:20:75o
[0015]所述步骤3中,采用狭缝涂布、旋涂、或喷涂工艺涂覆所述石墨稀/PED0T:PSS光刻胶;所述显影液为氢氧化钾溶液,所述氢氧化钾溶液中氢氧化钾的质量百分比为0.04wt% ;烘烤温度为230°C,烘烤时间为lOmin。
[0016]本发明还提供一种液晶显示面板的制作方法,包括如下步骤:
[0017]步骤1、提供石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液,将石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液按照一定比例进行混合,制得石墨稀/PED0T:PSS混合溶液;
[0018]步骤2、提供光刻胶,将石墨烯/PED0T:PSS混合溶液与光刻胶按照一定比例进行混合、搅拌后,制成具有导电能力的石墨烯/ph)ot:pss光刻胶;
[0019]步骤3、提供一彩膜基板,于所述彩膜基板上涂敷步骤1中制得的石墨烯/PED0T:PSS混合溶液,烘烤后形成位于彩膜基板上的第一电极,所述第一电极为厚度均匀、连续不间断的整面电极,在所述第一电极上制作第一液晶配向层;
[0020]步骤4、提供一阵列基板,于所述阵列基板上涂敷步骤2中制得的石墨烯/PED0T:PSS光刻胶,再利用预定形状的掩膜板对涂敷于阵列基板上的石墨烯/PED0T:PSS光刻胶进行曝光,随后利用显影液进行显影,烘烤即可制得图案化的第二电极,在所述第二电极上制作第二液晶配向层;
[0021]步骤5、组立所述彩膜基板与阵列基板,使所述第一液晶配向层与第二液晶配向层相对设置,并在所述第一液晶配向层与第二液晶配向层之间灌入液晶,形成液晶层,制得液晶显不面板。
[0022]所述步骤1中,所述石墨稀水溶液中石墨稀的质量百分比为lwt% -99wt%,所述PEDOT:PSS溶液中PEDOT:PSS的质量百分比为lwt % -99wt % ;所述石墨烯水溶液与PEDOT:PSS溶液按照1:5-1:100的质量比进行混合。
[0023]所述步骤2中,所述石墨烯/PED0T:PSS混合溶液与光刻胶按照1:1_1:50的质量比进行混合;所述光刻胶包括感光剂、树脂、及溶剂,其中,所述感光剂、树脂、及溶剂的质量比为 5:20:75o
[0024]所述步骤3中,采用旋涂法涂覆所述石墨烯/PEDOT:PSS混合溶液,旋涂过程为:首先在500rpm的转速下旋涂10s,然后在800rpm的转速下旋涂20s ;烘烤温度为120°C,烘烤时间为lOmin。
[0025]所述步骤4中,采用狭缝涂布、旋涂、或喷涂工艺涂覆所述石墨稀/PED0T:PSS光刻胶;所述显影液为氢氧化钾溶液,所述氢氧化钾溶液中氢氧化钾的质量百分比为0.04wt% ;烘烤温度为230°C,烘烤时间为lOmin。
[0026]本发明还提供一种液晶显示面板,包括:彩膜基板、与所述彩膜基板相对设置的阵列基板、设于所述彩膜基板靠近所述阵列基板一侧的第一电极、设于所述第一电极上的第一液晶配向层、设于所述阵列基板上的第二电极、设于所述第二电极上的第二液晶配向层、及夹设于第一与第二液晶配向层之间的液晶层;
[0027]所述第二电极为图案化的电极,所述第一电极为厚度均匀、连续不间断的整面电极;
[0028]所述第一电极的材料为石墨烯与PEDOT:PSS的混合物;
[0029]所述第二电极的材料为石墨烯、PED0T:PSS、及光刻胶的混合物。
[0030]本发明的有益
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