光学滤片的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种光学滤片，尤其是一种具备有相对的主表面的玻璃基板，以及在 所述的玻璃基板的至少一面主表面设有多层薄膜的光学滤片。
【背景技术】
[0002] AR膜是一种光学薄膜，称为减反射膜，又可称为增透膜；广泛用于减少或消除透 镜、棱镜、平面镜等光学滤片表面的反射光，从而增强这些光学元件的透光量。随着光电技 术的发展，为了更好的提高光透过玻璃的能力，减少光的反射，在一些光学滤片的基板，诸 如蓝玻璃的基础上加镀防反AR膜，并且从原先的单面AR镀膜，发展到现在的双面AR镀膜。 由于上述光学滤片通常需要达到较高如99. 9%以上的透过率，就必须消除基板正面和背面 的反射，故要在基板正反两面均镀AR膜，即双面AR镀膜，通过对已经制备出的双面AR镀膜 蓝玻璃滤光片进行检测发现，其可视区域内的透过率的确能够满足要求。
[0003] 但是，本发明创造的发明人在制备上述光学滤片的过程中发现，由于薄膜（AR镀 膜）与蓝玻璃基板间应力大等的原因会遇到膜缺陷多发这样的难题。这里的膜缺陷是指玻 璃基板上完整的薄膜间有一块大小在几十微米的薄膜块（下称细微膜块）脱落的现象，利 用光学显微镜和/或电子显微镜即能得到验证，参看图1。
【发明内容】
[0004] 本发明的任务在于解决制备光学滤片时镀膜易出现上述膜缺陷的问题，提供一种 光学滤片。
[0005] 其技术解决方案是：
[0006] -种光学滤片，其具备有相对的主表面的玻璃基板，以及在所述的玻璃基板的至 少一面主表面设有多层薄膜，所述的玻璃基板的厚度范围为0. 15~1.0 mm ;以及
[0007] 所述的玻璃基板的热膨胀系数，与所述的多层薄膜的各薄膜的热膨胀系数的差， 都小于 10(V(X10 7/°c )。
[0008] 优选地，上述的玻璃基板的热膨胀系数为50~20(V(X 10 7°C )。
[0009] 优选地，上述的玻璃基板为磷酸系玻璃，或氟磷酸系玻璃。
[0010] 优选地，在上述的相对的主表面都设有所述的多层薄膜。
[0011] 优选地，上述的多层薄膜为反射防止膜（AR膜）。
[0012] 优选地，上述的反射防止膜从所述的主表面至少依次由高折射率物质层、低折射 率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层组成；较为优选地，上述的高折射率物质层、 低折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层依次为LaTiO 3层、MgF2层、LaTiO3层 与MgF2层；更为优选地，上述的LaTiO 3层、MgF2层、LaTiO3层与MgF2层的厚度依次为10~ 20nm、20 ~40nm、120 ~140nm、与 80 ~100nm。
[0013] 优选地，上述的反射防止膜从所述的主表面至少依次由高折射率物质层、中折射 率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层组成；较为优选地，上述的高折射率物质层、 中折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层依次为LaTiO3层、Al2O3层、LaTiO 3层 与MgF2层；更为优选地，上述的LaTiO3层、Al2O3层、LaTiO 3层与MgF2层的厚度依次为3~ 15nm、40 ~70nm、110 ~130nm、与 80 ~100nm。
[0014] 本发明具有以下有益技术效果：
[0015] 发明人依据本发明的技术方案分别制备了十余个批次、且每个批次不少于1000 件的单面AR镀膜或双面AR镀膜光学滤片，并利用光学显微镜和/或电子显微镜对这些光 学滤片逐件进行检测，初步验证本发明光学滤片出现脱落细微膜块的膜缺陷率均有大幅度 降低，尤其是双面AR镀膜光学滤片出现脱落细微膜块的膜缺陷率至少降低了 80 %。
【附图说明】
[0016] 下面结合附图与【具体实施方式】对本发明作更进一步的说明：
[0017] 图1为现有的双面AR镀膜光学滤片的电子显微镜图片，图中的微小片状物为脱落 的细微膜块。
【具体实施方式】
[0018] -种光学滤片，其具备有相对的主表面的玻璃基板，以及在所述的玻璃基板的 至少一面主表面设有多层薄膜，所述的玻璃基板的厚度范围为〇. 15~1.0 mm ;以及，所述 的玻璃基板的热膨胀系数，与所述的多层薄膜的各薄膜的热膨胀系数的差，都小于100/ (X 10 7/°C )。上述的玻璃基板的热膨胀系数为50~20(V(X 10 7/°C )。在上述的相对的 主表面都设有所述的多层薄膜。上述的多层薄膜为反射防止膜（AR膜）。在此基础上，可以 有以下两种更进一步的技术方案：
[0019] 其中的一种更进一步的技术方案是：上述的反射防止膜从所述的主表面至少依次 由高折射率物质层、低折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层组成。优选地，上 述的高折射率物质层、低折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层依次为LaTiO 3 层、MgF2层、LaTiO3层与MgF2层；更为优选地，上述的LaTiO 3层、MgF2层、LaTiO3层与MgF2 层的厚度依次为10~20nm、20~40nm、120~140nm、与80~100nm。
[0020] 其中的另一种更进一步的技术方案是：上述的反射防止膜从所述的主表面至少 依次由高折射率物质层、中折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层组成。优选 地,上述的高折射率物质层、中折射率物质层、高折射率物质层与低折射率物质层依次为 LaTiO3层、Al2O3层、LaTiO3层与MgF 2层；更为优选地，上述的LaTiO3层、Al2O3层、LaTiO 3层 与MgF2层的厚度依次为3~15nm、40~70nm、110~130nm、与80~100nm。
[0021] 实施例1
[0022] -种光学滤片，是在玻璃基板双面AR镀膜制成的。
[0023] 上述玻璃基板选为磷酸系玻璃，或氟磷酸系玻璃。
[0024] 上述AR膜，依次由LaTiO3层、MgF2层、LaTiO 3层与MgF2层组成。LaTiO3即H4，其 商品名：Substance H4granules about0.1_2mm Patinal。上述各膜层的厚度依次为10~ 20nm、20 ~40nm、120 ~140nm、与 80 ~100nm。
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