半导体激光模块的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及半导体激光模块。
【背景技术】
[0002]过去，已知如下方法(例如参考专利文献I):在半导体激光模块中，在从光纤输出激光的情况下，将从固定于封装件上的给定位置的半导体激光元件出射的激光用透镜等聚光，并与光纤耦合。
[0003]在这样的光耦合方法中，在半导体激光元件为高输出的情况下，有固定光纤的粘接剂或光纤的包覆部因光吸收所引起的发热而损伤，可靠性降低的情况。为此，过去已知如下方法(例如参考专利文献2):在透明的玻璃毛细管插通光纤，将光纤固定。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1: JP特开2004-96088号公报
[0007]专利文献2: JP特开2004-354771号公报
【发明内容】
[0008]发明要解决的课题
[0009]但是，本发明的发明者们发现如下课题:在半导体激光模块中，有即使使用玻璃毛细管，粘接剂或包覆部也会因发热而损伤的情况。
[0010]本发明鉴于上述状况而提出，目的在于，提供可靠性高的半导体激光模块。
[0011]用于解决课题的手段
[0012]为了解决上述的课题，达成目的，本发明所涉及的半导体激光模块具备:半导体激光元件，其输出激光;光纤，其具备芯部、和形成在芯部的外周的包层部，从一端入射所述激光，将该激光导波到该半导体激光模块的外部;光学部件，其配置在所述光纤的外周，将所述光纤固定;第I固定剂，其将所述光学部件和所述光纤粘固；光吸收体，其配置在所述光学部件的外周，将该光学部件固定;第I光阻断部，其配置在所述光纤的所述激光的入射端与所述光学部件之间；和筐体，其在内部收容所述半导体激光元件、所述光纤的入射所述激光侧的一端、和所述第I光阻断部，所述光学部件在所述激光的波长下有光透过性，所述光吸收体在所述激光的波长下有光吸收性。
[0013]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述第I固定剂的折射率等于或高于所述包层部的折射率。
[0014]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，具有第2固定剂，该第2固定剂将所述光学部件和所述光吸收体粘固，所述第I固定剂和所述第2固定剂由同一材料构成，所述第I固定剂以及所述第2固定剂的折射率大致等于所述光学部件的折射率且高于所述包层部的折射率。
[0015]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光纤具备突出部，该突出部从所述光学部件突出到所述激光的入射端侧。
[0016]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述第I光阻断部在所述突出部的外周与所述光纤分离而配置。
[0017]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述第I光阻断部具有如下构件中的至少一个:含Cu、N1、不锈钢或Fe的金属构件;具备含N1、CrSTi的表面镀层的构件;或者具备电介质多层膜的构件。
[0018]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光吸收体经由易导热体与所述筐体连接。
[0019]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述易导热体的热传导率为0.5W/mK以上。
[0020]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光吸收体具有如下构件中的至少一个:含(:11、附、不锈钢或?6的金属构件;具备含附、(>、1^的金属或含C的表面镀层的构件;含AlN或Al2O3的陶瓷构件;或者具备含AlN或Al2O3的覆盖表面的陶瓷层的构件。
[0021]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，还具备第2光阻断部，该2光阻断部配置在所述光纤的所述激光的出射端侧，抑制所述激光从所述光学部件的出射。
[0022]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述第2光阻断部具有如下构件中的至少一个:含Cu、N1、不锈钢或Fe的金属构件;或者具备电介质多层膜的构件。
[0023]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述第2光阻断部的所述光学部件侧的面具有倾斜或曲率，使得入射到该面的光向远离所述光纤的方向反射。
[0024]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光学部件是圆管状的玻璃毛细管。
[0025]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光学部件的所述圆管的长度方向的长度为3mm以上，所述圆管的内径为0.13mm以下，所述圆管的外径为1.8mm以上。
[0026]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光吸收体的所述激光的波长下的光吸收率被设为:沿着所述光纤的长度方向，所述激光的入射端侧较低。
[0027]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光吸收体的与所述光学部件粘固的面的平均表面粗度被设为:沿着所述光纤的长度方向，所述激光的入射端侧较小。
[0028]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光学部件在与所述光纤的长度方向正交的面上的从该光学部件的中心偏离的位置被所述光纤插通。
[0029]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光学部件的与所述光纤的长度方向正交的截面的形状是多边形、花形或星形。
[0030]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光学部件是具有在所述光纤的长度方向上延伸的2个贯通孔的2芯毛细管，在所述2个贯通孔中的任意I个贯通孔被所述光纤插通。
[0031]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光学部件具有散射所述激光的光散射单元。
[0032]另外，本发明所涉及的半导体激光模块在上述发明的基础上，特征在于，所述光散射单元是气泡。
[0033]发明的效果
[0034]根据本发明，能实现可靠性高的半导体激光模块。
【附图说明】
[0035]图1是本发明的实施方式所涉及的半导体激光模块的示意俯视图。
[0036]图2是表征图1所示的半导体激光模块的侧面的示意局部剖视图。
[0037]图3是放大图1所示的半导体激光模块的光纤、玻璃毛细管、光吸收体的示意截面图。
[0038]图4是放大图1所示的半导体激光模块的第I光阻断部的示意局部剖视图。
[0039]图5是表征从光纤泄漏的光从光纤的中心起的角度、和光强度的关系的示意图。
[0040]图6是放大变形例所涉及的半导体激光模块的第I光阻断部的示意局部剖视图。
[0041]图7是表征变形例所涉及的半导体激光模块的玻璃毛细管的与光纤的长度方向正交的截面的折射率的示意图。
[0042]图8是变形例所涉及的半导体激光模块的玻璃毛细管的与光纤的长度方向正交的截面的示意截面图。
[0043]图9是变形例所涉及的半导体激光模块的玻璃毛细管的与光纤的长度方向正交的截面的示意截面图。
[0044]图10是变形例所涉及的半导体激光模块的玻璃毛细管的与光纤的长度方向正交的截面的示意截面图。
[0045]图11是变形例所涉及的半导体激光模块的玻璃毛细管的与光纤的长度方向正交的截面的示意截面图。
[0046]图12是表征变形例所涉及的半导体激光模块的光吸收体的光纤的长度方向上的距玻璃毛细管的入射侧端面的距离与光吸收体的光吸收率的关系的示意图。
[0047]图13是放大变形例所涉及的半导体激光模块的光纤、玻璃毛细管、光吸收体的示意截面图。
【具体实施方式】
[0048]以下参考附图来说明本发明所涉及的半导体激光模块的实施方式。另外，并不由本实施方式限定本发明。另外，在附图的记载中，对相同或对应的要素适当标注相同的标号。另外，需要留意的是，附图是示意性的，各要素的尺寸的关系、各要素的比率等有和现实不同的情况。在附图的相互间，也有包含彼此的尺寸关系或比率不同的部分的情况。
[0049](实施方式)
[0050]首先说明本发明的实施方式所涉及的半导体激光模块的构成。图1是本发明的实施方式所涉及的半导体激光模块的示意俯视图。图2是表征图1所示的半导体激光模块的侧面的示意局部剖视图。本实施方式所涉及的半导体激光模块100具备:作为筐体的封装件101;和在封装件101的内部依次装载的LD高度调整板102、副底座(sub mount) 103-1?6、和6个半导体激光元件104-1?6。封装件101如图2所示那样具备盖101a，但在图1中，封装件101的盖省略了图示。另外，半导体激光模块100具备对半导体激光元件104-1?6注入电流的引线管脚105。并且，半导体激光模块100具备依次配置在半导体激光元件104-1?6所输出的激光的光路上的作为光学元件的第I透镜106-1?6、第2透镜107-1?6、反射镜108-1?
6、第3透镜109、滤光器110、和第4透镜111。第I透镜106-1?6、第2透镜107-1?6、反射镜108-1?6、第3透镜109、滤光器110、第4透镜111分别固定在封装件101的内部。进而，半导体激光模块100具备与第4透镜111对置配置的光纤112。光纤112的入射激光侧的一端收容在封装件101的内部。
[0051]如图2所示那样，半导体激光元件104-1?6通过LD高度调整板102而带高低差地配置在封装件101的内部。进而，第I透镜106-1?6、第2透镜107-1?6、反射镜108-1?6分别配置在与对应的I个半导体激光元件相同的高度。
[0052]另外，在光纤112向封装件101的插入部设置松套管(loosetube) 115，在封装件101的一部分外嵌保护罩(boots) 114，以覆盖松套管115的一部分和插入部。
[0053]另外，如图2所示那样，光纤112在作为光学部件的玻璃毛细管116中