一种储存稳定的感光干膜及其制备方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及一种具有多层结构的感光干膜，以及干膜的制备方法。 技术背景
[0002] 在印刷电路板、引线框架、半导体封装(如球栅阵列封装、芯片尺寸封装）、金属掩 膜制造等领域中，感光干膜常被用作图形转移的临时性保护材料。例如，在制造印刷电路板 时，首先，在铜基板上贴合干膜抗蚀剂，用具有一定图案的掩模遮盖在感光干膜上，进行图 形曝光。然后，利用弱碱性水溶液作为显影液去除未曝光部位，再实施蚀刻或电镀处理而形 成图形。最后剥离去除干膜固化部分，从而实现图形转移。
[0003] 通常情况，感光干膜由三层结构构成，分别是支撑膜层、抗蚀剂层、保护膜层。其 中，支撑膜层和保护膜层主要功能是承载和保护位于中间的抗蚀剂层。然而，感光干膜在储 存和运输过程中，很容易出现储存稳定性差的问题，常见的现象是发生冷流，即抗蚀剂层中 的抗蚀剂容易被支撑膜和保护膜"挤压"出去，导致抗蚀剂层出现厚薄不均匀，在后续图形 转移过程中，电路图形容易发生断路等不良情况。严重的情况下，成卷干膜两端流出的抗蚀 剂会粘连到一起，使用的时候很难打开。
[0004] 为了提高感光干膜的储存稳定性，人们做了很多的努力，专利文献US 3，867，153 提出，在感光干膜两端很窄的边沿区域进行光固化处理，从而阻止抗蚀剂从两端流出，提高 储存稳定性。如果该方法可行，将会使生产的过程变得复杂，降低企业生产效率。专利文献 US 4，293，635中提到，通过（1)减小抗蚀剂中单体或者增塑剂的用量，（2)提高抗蚀剂中树 脂的分子量，可以减小冷流倾向，延长储存时间，但是这会降低光聚合速度，延长曝光时间， 并且增加显影时间，降低生产效率。
【发明内容】
[0005] 本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种储存稳定的感光干膜及其制备 方法。
[0006] 本发明的目的是通过以下技术方案实现的：一种储存稳定的感光干膜，由感光干 膜经加热分切后得到，所述感光干膜依次由支撑膜层、干膜抗蚀剂层和保护膜层构成。其 中，支撑膜层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚酯 PETG层之间的PET树脂层组成;所述保护膜层为聚乙烯薄膜层。
[0007] 进一步地，所述共聚酯PETG层由对苯二甲酸二甲酯(DMT )、乙二醇(EG)和新戊二醇 (NPG)三种单体缩聚而成。
[0008] 进一步地，所述双面热封型PET透光率大于90%，雾度小于3%。
[0009] 进一步地，所述双面热封型PET可以在120-300 °C进行热封。
[0010] -种储存稳定的感光干膜制备方法，包括以下步骤：
[0011] (1)干膜溶液配制：将50-70重量份的碱溶性树脂、15-45重量份的单体、0.5-10重 量份的光引发剂、〇. 5-9重量份的添加剂、30-70重量份的溶剂混合均匀，得到干膜溶液；
[0012] ⑵涂布与烘干:将步骤（1)得到的干膜溶液均匀涂布在双面热封型PET表面，通过 温度为70°C左右的烘道将其烘干，形成干膜抗蚀剂层。
[0013] (3)贴合保护膜:在抗蚀剂层表面贴合聚乙烯薄膜，获得三层结构的感光干膜。
[0014] (4)加热分切干膜:将分切圆刀预先加热到100-600 °C，对步骤(3)获得的感光干膜 进行加热分切，使得切口处快速热封，形成宽度为0.1-2.0mm的热封层，得到储存稳定的感 光干膜。
[0015] 进一步地，所述加热分切的速度为60-120m/min。
[0016] 进一步地，所述分切圆刀厚度为0 · 1-2 · 0mm。
[0017] 本发明的有益效果:感光干膜支撑膜是双面热封型PET，克服了普通PET膜热封性 能差的缺点，通过加热分切，使得切口处的支撑膜、抗蚀剂和保护膜快速热封，形成宽度为 0.1-2.0mm的热封层，这样可以防止抗蚀剂层发生冷流，抑制边沿流胶，阻隔氧气和水汽破 坏，得到储存稳定的干膜成品。
【具体实施方式】
[0018] 本发明提供一种储存稳定的感光干膜，由感光干膜经加热分切后得到;所述感光 干膜依次由支撑膜层、干膜抗蚀剂层和保护膜层构成。
[0019] 其中，支撑膜层要具有高透光率、低雾度、良好热封性能与机械强度、低透湿性，选 用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜，常规PET树脂可以由对苯二甲酸二甲酯(DMT)和乙二 醇(EG)缩聚形成均聚物，但是在拉伸成膜的过程中容易产生结晶，如果对其进行热封处理， 便会发生收缩变形。为了减小PET膜的结晶性，加入第三种单体如新戊二醇(NPG)，与DMT、EG 缩聚得到PETG共聚树脂，是无定形的结构，具有良好的热封性能，同时光学性能极好。利用 三层共挤的双拉生产线制备A/B/A三层复合的PET薄膜，在A层使用共聚树脂PETG，B层使用 常规PET树脂，得到双面热封型的PET薄膜。其透光率大于90%，雾度小于3%。另外，从涂布 性能、机械强度、成本等方面考虑，支撑膜的厚度为15-100um，优选为15-40um〇
[0020] 干膜抗蚀剂层，包含碱溶性树脂、单体、光引发剂和添加剂。
[0021] 作为本发明的碱溶性树脂，优选含羧基的乙烯基类树脂，由不饱和羧酸和乙烯基 化合物共聚得到。所述不饱和羧酸可以列举出（甲基)丙烯酸、丁烯酸、异丁烯酸、马来酸、马 来酸酐、衣康酸、巴豆酸等。所述乙烯基化合物可以列举出（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯 酸乙酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸戊酯、（甲基）丙烯酸己酯、 (甲基）丙烯酸月桂酯、（甲基）丙烯酸十八酯、（甲基）丙烯酸羟甲酯、（甲基）丙烯酸羟乙酯、 (甲基）丙烯酸苄酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、羟基苯乙烯、（甲基）丙烯酰胺、N-羟甲基-丙烯 酰胺、Ν-丁氧基甲基-丙烯酰胺、苯氧基乙基（甲基)丙烯酸酯、（烷氧基化）壬基苯酚（甲基） 丙烯酸酯、Ν，Ν_二甲基（甲基)丙烯酸乙酯、Ν，Ν_二乙基（甲基）丙烯酸乙酯、Ν，Ν_二甲基（甲 基)丙烯酸丙酯、Ν，Ν-二乙基（甲基)丙烯酸丙酯等。
[0022]含羧基的乙烯基类树脂可以由上述一种或多种不饱和羧酸，和一种或多种乙烯基 化合物共聚而得。其制备方法可用公知的方法，如溶液聚合、悬浮聚合等。
[0023]作为本发明的单体，优选（甲基)丙烯酸酯单体，可以列举出（甲基)丙烯酸月桂酯、 (甲基)丙烯酸十Λ烷基酯、异冰片酯、丙烯酸四氢呋喃甲酯、双酚Α二（甲基)丙烯酸酯、乙氧 化(丙氧化)双酸A二（甲基)丙烯酸酯、聚乙（丙)二醇二丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)新戊二醇 二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四 醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯等所 构成的群组。
[0024] 作为本发明的光引发剂，可以用噻吨酮、苯偶姻苯基醚、二苯甲酮、苯偶姻甲基醚、 N，N'_四甲基-4,4'-二氨基二苯甲酮、N，N'_四乙基-4,4'-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4'-二甲基氨基二苯甲酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮、2-乙基蒽醌、菲醌、 2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2_苯并蒽醌、2,3_苯并蒽醌、2,3_二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1，4_萘醌、9,10-菲醌、2，3_二甲基蒽醌、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香苯基 醚、苯偶酰二甲基缩酮等苯偶酰衍生物、9-苯基吖啶、1，7-双(9，9 吖啶)庚烷等吖啶衍生 物、N-苯基甘氨酸、香豆素系化合物、恶唑系化合物。此外，可以用2，4，5-三芳基咪唑二聚体 及其衍生物，可以举例出2-(邻氯苯基)-4,5_二苯基咪唑二聚物、2-(邻氯苯基)-4,5_二（甲 氧基苯基)咪唑二聚物、2-(邻氟苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻甲氧基苯基)-4,5-二 苯基咪唑二聚物、2-(对甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等。
[0025] 作为本发明的添加剂，可以根据需要，添加含有孔雀石绿之类的染料、无色结晶紫 等光成色剂、成色热稳定剂、增塑剂、颜料、填料、消泡剂、阻燃剂、稳定剂、流平剂、剥离促进 剂、抗氧化剂、香料、成像剂、热交联剂等。这些组分可单独使用或组合使用。
[0026]