一种光纤光栅的连续生产方法

文档序号:10533497阅读:430来源:国知局
一种光纤光栅的连续生产方法
【专利摘要】本发明属于光通信无源器件制造领域,涉及一种光纤光栅的连续生产方法。现有的光纤光栅制作是单根光纤刻写,需要先将单根光纤放置在光纤夹持器上后控制激光束进行光栅刻写,刻写完成后再将光纤光栅从光纤夹持器上取下,整个操作过程全部由手工操作,生产效率低下;本发明提供的一种光纤光栅的连续生产方法,是使裸光纤与相位掩模板相对做连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产;本发明使裸光纤连续水平横向移动实现光纤光栅连续生产,减少大量人工操作,使得光纤光栅的生产效率成倍提高,显著降低了光纤光栅的制作成本。
【专利说明】
一种光纤光栅的连续生产方法
技术领域
[0001]本发明属于光通信无源器件制造领域,涉及光纤光栅(FBG)的生产制作,具体指一种光纤光栅的连续生产方法。
【背景技术】
[0002]光纤光栅(FBG)是利用光纤光敏性通过紫外曝光在光纤纤芯中形成的空间相位光栅,其可以构成很多性能独特的无源器件。光纤光栅凭借自身抗电磁干扰、质轻、体积小、化学性质稳定以及电绝缘等优点,在光通信、光纤传感等领域得到了广泛的应用。
[0003]1993年K.0.HiLL等人提出了相位掩模法制作光纤光栅,相位掩模法制作光纤光栅是基于相位掩模板的近场衍射所产生的空间干涉条纹在光纤纤芯中形成周期性折射率变化,从而形成光纤光栅。现有的相位掩模法生产光纤光栅时,先将原料光纤经高压载氢,再按不同需求和长度裁剪成若干的单根光纤,将需要刻写光栅位置的光纤涂覆层去除形成裸光纤。刻写时按顺序取其中一根光纤将其水平固定夹持在相位掩模板前的光纤夹持器上,使需要刻写光栅位置的裸光纤与相位掩模板相互平行并使裸光纤处于相位掩模板的近场衍射范围内,将光纤两端的尾纤与光学频谱分析仪(optical spectrum analyzer,简称0SA)相连接,然后控制激光束入射到相位掩模板上对裸光纤进行刻写,光学频谱分析仪对刻写的光栅进行实时监测。当所刻写的光栅参数满足要求时,控制激光束关闭,再将刻写完成的光纤光栅从光纤夹持器上取下来,完成一根光纤光栅的制作,然后再拿取下一根光纤,如此重复循环,实现光纤光栅的批量生产。由于在光栅刻写前后,需要人工不停的从光纤夹持器上装卡固定光纤和取下光纤,所以生产效率低下,使得光纤光栅的制造成本较高;同时人工装卡和取光纤时,需要长时间停顿使得激光器的激光束在停顿时间内的能量不能有效利用,而激光器作为光纤光栅生产的重要昂贵设备,需要经常进行维护,并且维护费用昂贵,无形中又增加了光纤光栅的制造成本。
[0004]随着光通信行业的快速发展,特别是全球范围内FTTH工程的实施,使得光纤光栅的需求量日益倍增,然而昂贵的制造成本使得其很难大范围推广使用,因此制作低成本的光纤光栅已成为未来发展的趋势。

【发明内容】

[0005]本发明的目的在于提供一种光纤光栅的连续生产方法,该方法利用相位掩模板,实现光纤光栅的连续生产,使得光纤光栅的生产效率成倍提高,降低光纤光栅的制造成本。
[0006]本发明为实现上述目的,提供如下的解决方案:
一种光纤光栅的连续生产方法,是使裸光纤与相位掩模板做相对连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产。
[0007]上述一种光纤光栅的连续生产方法,是将相位掩模板固定,使裸光纤在相位掩模板的一侧做连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产。
[0008]上述一种光纤光栅的连续生产方法,是将裸光纤固定,使相位掩模板在裸光纤的一侧做连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产。
[0009]上述的间歇直线运动为等间歇直线运动。
[0010]上述一种光纤光栅的连续生产方法,包括下述步骤:
1、取一段裸光纤,将其放置在相位掩模板前侧的光纤支撑架上;
2、光阑开启,激光束入射到相位掩模板上对所述的裸光纤进行刻写;
3、光阑关闭,光纤支撑架上刻写完成的第一个光纤光栅向一侧移动到光纤支撑架的外侧;
4、光阑开启,激光束入射到相位掩模板上再次对裸光纤进行刻写;
5、光阑关闭,光纤支撑架上刻写完成的第二个光纤光栅向同一侧移动到光纤支撑架的外侧;
6、重复2-5步骤,实现光纤光栅的连续生产。
[0011 ] 上述一种光纤光栅的连续生产方法,包括下述步骤:
1、取一段裸光纤,将其固定在相位掩模板前侧的光纤夹持器上;
2、光阑开启,激光束入射到相位掩模板上对所述的裸光纤进行刻写;
3、光阑关闭,相位掩模板向一侧移动一段距离后停止;所述的距离大于所刻写光栅的长度;
4、光阑开启,激光束入射到相位掩模板上再次对裸光纤进行刻写;
5、光阑关闭,相位掩模板向同一侧移动一段距离后停止;所述的距离大于所刻写光栅的长度;
6、重复2-5步骤,实现光纤光栅的连续生产。
[0012]上述的相位掩模板与裸光纤之间设置有一对平行反射镜,激光束通过平行反射镜后对裸光纤进行刻写。
[0013]上述裸光纤的一端尾纤连接有光学频谱分析仪,当所述的光学频谱分析仪监测到所刻写的光栅参数达到要求时,所述的光阑关闭。
[0014]上述激光束入射在相位掩模板上通过相位掩模板衍射到裸光纤上的时间相同。
[0015]上述的裸光纤为原料光纤全部去除涂覆层形成或是将原料光纤连续隔段去除涂覆层形成。
[0016]本发明与现有技术相比,其具有如下优点和效果:
1、现有的光纤光栅制作是单根光纤刻写,需要先将单根光纤放置在光纤夹持器上,然后将光纤两端尾纤与光学频谱分析仪连接后控制激光束进行光栅刻写,刻写完成后再将光纤和光学频谱分析仪断开,然后将光纤光栅从光纤夹持器上取下,再重复下一根光纤,如此循环实现光纤光栅的连续加工,整个操作过程全部由人工操作,生产效率低下;本发明将裸光纤直接固定在相位掩模板前侧进行刻写,使裸光纤和相位掩模板相互间歇式移动实现光纤光栅的连续刻写,光纤光栅刻写完成后,将裸光纤上的光栅水平横向移动到相位掩模板外侧,同时下一个待刻写的裸光纤又会移动到相位掩模板前侧准备刻写,裸光纤和相位掩模板相对依次水平横向间歇式移动实现光纤光栅的连续生产,生产效率高。
[0017]2、本发明的方法由于人工操作减少,生产过程实现连续刻写,使得激光器光束能量得到有效利用,而激光器作为制作光纤光栅的重要昂贵设备,维护成本高,本发明的方法可使激光器得到充分利用,进一步降低光纤光栅的制作成本。
[0018]3、随着全球范围内光纤到户(FTTH)工程的快速实施,光纤光栅需求量日益倍增,尤其是低成本的光纤光栅在FTTH中的应用,可以推动FTTH工程的快速发展。
【附图说明】
[0019]图1是现有相位掩模板法刻写光栅原理示意图。
[0020]图2是实施例1刻写光栅原理示意图。
[0021 ]图3是实施例2刻写光栅原理示意图。
[0022]图4是实施例2的连续窗口裸光纤示意图。
[0023]图5是实施例3刻写光栅原理示意图。
[0024]图6是实施例4刻写光栅示意图。
[0025]图7是实施例5刻写光栅示意图。
[0026]图中:1-激光束,2-光阑,3-相位掩模板,4-光纤夹持器,5-裸光纤,6_光学频谱分析仪,7-光纤,8-光纤夹持牵引装置,9-光纤支撑架,10-反射镜,11-平行反射镜,12-精密位移台。
【具体实施方式】
[0027]下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。
[0028]参见图1。现有的相位掩模板法生产光纤光栅时,首先将原料光纤7根据需求长度裁剪后进行高压载氢处理,再将载氢后的光纤7需要刻写光栅的光纤段进行剥皮处理,即去掉将要刻写光栅的光纤段的涂覆层,光纤7去除涂覆层后的部分形成裸光纤。刻写前,开启激光器,打开相位掩模板3前侧的光纤夹持器4,人工操作将单根光纤7固定夹持在的光纤夹持器4上,并调节光纤7上的裸光纤5位于相位掩模板可以刻写光栅的位置范围(激光束经相位掩模板衍射后的干涉条纹)内,将光纤7两端的尾纤与光学频谱分析仪(0SA)6连接。控制光阑2打开(光阑开启和打开控制激光器发出的激光束的开启和停止),使激光束I从相位掩模板3后侧垂直入射形成衍射对相位掩模板前侧的裸光纤5进行刻写,光学频谱分析仪6对光栅的透射谱参数进行实时监控,当刻写完成后,控制光阑2使激光束I关闭,然后断开光纤7两端的尾纤与光学频谱分析仪6的连接,打开光纤夹持器4,再将刻写好的光纤光栅从光纤夹持器4上取下(沿图1的A向方向取下),完成一根光纤光栅的制作,如此循环实现光纤光栅的连续单根制作。此种方法,虽可以实现批量生产,但其整个制作过程,需要人工连续重复的装卡和取下光纤,生产效率低;同时激光器在生产过程中需要连续开启状态,而由于人工装卡、取下光纤时间较长,使得激光器的激光束能量也不能得到有效利用。
[0029]本发明提供的一种光纤光栅的连续生产方法,是使裸光纤与相位掩模板做相对连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产。所述的裸光纤,是指原料光纤去除涂覆层(或剥皮处理)后形成,本发明的裸光纤可以是若干米的一段去除涂覆层后的光纤,也可以是若干米的连续窗口裸光纤,而所述的连续窗口裸光纤是在光纤上连续等距隔段去除光纤上的涂覆层形成。
[0030]实施例1
参见图2。本实施例中,激光束I从水平方向入射后经过反射镜垂直通过光阑2入射到相位掩模板3上,将相位掩模板固定,使裸光纤5在相位掩模板的一侧做连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产。
[0031]本实施例的一种光纤光栅的连续生方法,包括下述步骤:
1、取若干米的光纤7经过高压载氢后,将光纤7上的涂覆层全部去除形成裸光纤5;
2、取去除涂覆层的裸光纤5,将裸光纤5前端部穿过相位掩模板3前侧的光纤支撑架9后再将光纤支撑架9两侧的裸光纤5夹持固定在光纤夹持牵引装置8上(光纤支撑架两侧设置有可穿过裸光纤的通孔);调整裸光纤5与相位掩模板3之间的位置,使裸光纤5位于激光束I形成衍射可制作光纤光栅的范围内;
3、将裸光纤5后端尾纤与光学频谱分析仪6连接(监测光栅的反射谱);
4、控制光阑2开启,激光束I入射在相位掩模板3上对裸光纤5进行刻写,光学频谱分析仪6实时监测当前制作光纤光栅的参数;
5、光学频谱分析仪6监测第一个光纤光栅参数达到要求时,控制光阑2使激光束关闭;
6、光纤夹持牵引装置8将刻写好的第一个光纤光栅向裸光纤的前端方向(沿图2的B向方向)横向牵引移动到光纤支撑架9的外侧,此时第二个待刻写光栅的裸光纤段则刚好被牵引移动到相位掩模板3的前侧;
7、光纤夹持牵引装置8松开初始夹持的裸光纤段后恢复到初始夹持位置后将裸光纤5重新再次夹持固定;
8、重复步骤4-7,实现第二个光纤光栅、第三个光纤光纤光栅等等的连续刻写。
[0032]当上述的裸光纤将要加工完时,只需将新准备新的若干米裸光纤熔接在即将用完的裸光纤尾端即可,然后将新的若干米裸光纤尾纤接入光学频谱分析仪,再继续进行光纤光栅连续加工。
[0033]实施例2
参见图3。实施例2与实施例1不同的是,实施例2的裸光纤5是连续窗口裸光纤,连续窗口裸光纤是将光纤7连续间隔分段剥皮后形成若干个间隔相连的裸光纤段,如图4所示,SP在光纤7上隔段去除相等长度的涂覆层形成连续窗口裸光纤,光栅是刻写在连续窗口裸光纤的各个裸光纤段上。当裸光纤为连续窗口裸光纤时,此时光纤夹持牵引装置8和光纤支撑架9间距与窗口裸光纤的间隔设置相等,以保证光纤7刚好被夹持在光纤夹持牵引装置8上和位于光纤支撑架9上。在刻写过程中,当前一个窗口裸光纤5刻写完成后,光纤夹持牵引装置8牵引光纤移动后,下一个窗口裸光纤刚好移动到相位掩模板3前侧,而窗口裸光纤5两侧未去除涂覆层的光纤7则刚好被光纤夹持牵引装置8再次夹持和位于光纤支撑架9的通孔内;同时光纤支撑架9上的通孔保证光纤涂覆层可横向在光纤支撑架内移动通过即可。
[0034]实施例3
对于不同的光栅参数,激光束刻写的时间不同,当连续刻写同一个参数的光栅时,激光束刻写光栅的时间相同,此时,裸光纤的尾纤不需要接入光学频谱分析仪来监测光栅的参数,只需通过控制激光束刻写光栅的时间即可。因此
本实施例与实施例1不同的是,刻写的过程中不需要光学频谱分析仪实时监测所刻写光栅的参数,只需控制所刻写的时间,即激光束I入射在相位掩模板3上通过相位掩模板衍射到裸光纤5上时间,使激光束入射在相位掩模板上通过相位掩模板衍射到裸光纤上的时间相同。
[0035]如图5所示,本实施例一种光纤光栅的连续生方法,包括下述步骤: 1、取若干米的光纤7经过高压载氢后,将光纤7上的涂覆层全部去除形成裸光纤5;
2、取去除涂覆层的裸光纤5,将裸光纤5前端部穿过相位掩模板前侧的光纤支撑架9后再将光纤支撑架9两侧的裸光纤5夹持固定在光纤夹持牵引装置8上(光纤支撑架两侧设置有可穿过裸光纤的通孔);调整裸光纤5与相位掩模板3之间的位置,使裸光纤5位于激光束I形成衍射可制作光纤光栅的范围内;
3、控制光阑2开启,激光束I入射在相位掩模板3上对裸光纤5进行刻写;
4、若干秒后,控制光阑2使激光束关闭;
5、光纤夹持牵引装置8将刻写好的第一个光纤光栅向右侧方向(沿图4的B向方向)横向牵引移动到光纤支撑架9的外侧,此时第二个待刻写光栅的裸光纤段则刚好被牵引移动到相位掩模板3的前侧;
6、光纤夹持牵引装置8松开初始夹持的裸光纤段后恢复到初始夹持位置后将裸光纤5重新再次夹持固定;
7、重复步骤3-6,实现第二个光纤光栅、第三个光纤光纤光栅等等的连续刻写。
[0036]当上述的裸光纤将要加工完时,只需将新准备新的若干米裸光纤熔接在即将用完的裸光纤尾端即可,然后再继续进行光纤光栅连续加工。实施例3的光阑2每次开启后,间隔相等的时间后光阑2关闭,以保证激光束I入射在相位掩模板3上通过相位掩模板衍射到裸光纤5上的时间相同。
[0037]实施例4
参见图6,相对于实施例3,本实施例是将裸光纤5固定,使相位掩模板在裸光纤的一侧做连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产。激光束I从水平方向入射后,激光束I经过反射镜10反射后垂直入射通过光阑2后入射在相位掩模板3上,此时,相位掩模板3与裸光纤5之间还设置有一对平行反射镜11,激光束I经相位掩模板衍射后再由一对平行反射镜11反射后衍射到裸光纤5上对裸光纤进行光栅的刻写。由于相位掩模板3与裸光纤5之间间距较远,相位掩模板可以横向移动而裸光纤固定不动实现光纤光栅的连续刻写,为了便于相位掩模板的移动,反射镜10,相位掩模板3,一对平行反射镜11固定在一精密位移台12上,精密位移台12可带动整个刻写光路(包括反射镜10、相位掩模板3、一对平行反射镜11)横向水平来回往复移动(沿图6中B向或C向方向),裸光纤5的两端固定在光纤夹持器4上。连续刻写时,只需将一段裸光纤5夹持在光纤夹持器4上,然后控制精密位移台12从光纤夹持器4之间的裸光纤5左侧边缘或右侧边缘横向进行间歇式移动实现光纤光栅的连续刻写,一段裸光纤刻写完成后,只需将下一段裸光纤固定在光纤夹持器上即可再次进行光栅刻写。
[0038]本实施例一种光纤光栅的连续生方法,包括下述步骤:
1、取若干米的光纤7经过高压载氢后,将光纤7上的涂覆层全部去除形成裸光纤5;
2、取去除涂覆层的裸光纤5,将裸光纤5的两端固定反射镜11前侧的光纤夹持器4上,调整裸光纤5与一对反射镜11之间的位置,使裸光纤位于激光束I形成衍射可制作光纤光栅的范围内,同时使激光束照射在光纤夹持器4之间的裸光纤的左侧边缘;
3、控制光阑2开启,激光束I入射在平行反射镜11上对裸光纤5进行刻写;
4、激光束照射若干秒后控制光阑2使激光束I关闭;
5、精密位移台12向右侧方向(沿图6中B向方向)移动一段距离(距离大于所刻写光栅的长度)后停止,完成第一个光栅的刻写; 6、重复步骤3-6,实现第二个光纤光栅、第三个光纤光纤光栅等等的连续刻写。
[0039]当精密位移台12向右侧移动到光纤夹持器4之间的裸光纤右侧边缘时,第一段裸光纤5刻写完成,从光纤夹持器上将若干米的正段裸光纤5取下,然后将第二段若干米的裸光纤重新夹持在光纤夹持器上(每一段裸光纤长度可以相同,也可以不同),然后控制精密位移台12向左侧方向(沿图6中的C向方向)间歇式移动实现第二段裸光纤上光栅的连续刻写。为了保证刻写光栅参数的一致性,在连续刻写过程中,激光束每次照射裸光纤的时间相同,精密位移台每次移动的距离相同。
[0040]实施例5
参见图7。相对于实施例1,本实施例中当激光束I从水平方向入射后,激光束I经过反射镜1反射后垂直入射通过光阑2后入射在相位掩模板3上,此时,相位掩模板3与裸光纤5之间还设置有一对平行的反射镜U,激光束I经相位掩模板衍射后再由一对平行反射镜11衍射到裸光纤5上对裸光纤5进行光栅的刻写,裸光纤固定在光纤支撑架9上由光纤夹持牵引装置8牵引连续移动,裸光纤在一对平行的反射镜11的外侧做连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产,裸光纤的一端尾纤同时接入光学频谱分析仪对所刻写的光栅进行实时监测。
[0041]本实施例一种光纤光栅的连续生方法,包括下述步骤:
1、取若干米的光纤7经过高压载氢后,将光纤7上的涂覆层全部去除形成裸光纤5;
2、取去除涂覆层的裸光纤5,将裸光纤5前端部穿过相位掩模板前侧的光纤支撑架9后再将光纤支撑架9两侧的裸光纤5夹持固定在光纤夹持牵引装置8上(光纤支撑架两侧设置有可穿过裸光纤的通孔);调整裸光纤5与一对平行反射镜11之间的位置,使裸光纤5位于激光束I形成衍射可制作光纤光栅的范围内;
3、将裸光纤5后端尾纤与光学频谱分析仪6连接(监测光栅的反射谱);
4、控制光阑2开启,激光束I入射在一对平行反射镜11上对裸光纤5进行刻写,光学频谱分析仪6实时监测当前制作光纤光栅的参数;
5、光学频谱分析仪6监测第一个光纤光栅参数达到要求时,控制光阑2使激光束关闭;
6、光纤夹持牵引装置8将刻写好的第一个光纤光栅向裸光纤的前端方向(沿图7的B向方向)横向牵引移动到光纤支撑架9的外侧,此时第二个待刻写光栅的裸光纤段则刚好被牵引移动到相位掩模板3的前侧;
7、光纤夹持牵引装置8松开初始夹持的裸光纤段后恢复到初始夹持位置后将裸光纤5重新再次夹持固定;
8、重复步骤4-7,实现第二个光纤光栅、第三个光纤光纤光栅等等的连续刻写。
[0042]当上述的裸光纤将要加工完时,将剩余尾纤从光纤夹持牵引装置8、光纤支撑架9上取下,同时断开剩余尾纤与光学频谱分析仪6的连接,然后将新准备新的若干米裸光纤端部重新穿过相位掩模板前侧的光纤支撑架9后再将光纤支撑架9两侧的裸光纤5夹持固定在光纤夹持牵引装置8上,再将新的裸光纤尾纤接入光学频谱分析仪6上继续进行光纤光栅连续加工。
[0043]本发明的上述实施例中,对于本领域技术人员公知技术,本发明均未做出详细说明,而上述实施例中的具体步骤仅仅是为了便于说明本发明制作方法的举例而已,并不是对本发明保护范围的限制,对于本领域技术人员而言,凡是在不脱离本发明精神实质内容的情况和范围内所做出的种种方式的改变,均属于本发明所要求保护的范围。
【主权项】
1.一种光纤光栅的连续生产方法,是使裸光纤与相位掩模板做相对连续的间歇直线运动。2.根据权利要求1所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:是将相位掩模板固定,使裸光纤在相位掩模板的一侧做连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产。3.根据权利要求1所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:是将裸光纤固定,使相位掩模板在裸光纤的一侧做连续的间歇直线运动实现光纤光栅的连续生产。4.根据权利要求1或2或3所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:所述的间歇直线运动为等间歇直线运动。5.根据权利要求4所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:包括下述步骤: 步骤(I):取一段裸光纤,将其固定在相位掩模板前侧的光纤支撑架上; 步骤(2):光阑开启,激光束入射到相位掩模板上对所述裸光纤进行刻写; 步骤(3):光阑关闭,光纤支撑架上刻写完成的第一个光纤光栅向一侧移动到光纤支撑架的外侧; 步骤(4):光阑开启,激光束入射到相位掩模板上再次对裸光纤进行刻写; 步骤(5):光阑关闭,光纤支撑架上刻写完成的第二个光纤光栅向同一侧移动到光纤支撑架的外侧; 步骤(6):重复步骤(2)-步骤(5),实现光纤光栅的连续生产。6.根据权利要求4所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:包括下述步骤: 步骤(I):取一段裸光纤,将其固定在相位掩模板前侧的光纤夹持器上; 步骤(2):光阑开启,激光束入射到相位掩模板上对所述的裸光纤进行刻写; 步骤(3):光阑关闭,相位掩模板向一侧移动一段距离后停止; 步骤(4):光阑开启,激光束入射到相位掩模板上再次对裸光纤进行刻写; 步骤(5):光阑关闭,相位掩模板向同一侧移动一段距离后停止; 步骤(6):重复步骤(2)-步骤(5),实现光纤光栅的连续生产。7.根据权利要求6所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:所述的相位掩模板与裸光纤之间设置有一对平行反射镜,激光束通过平行反射镜后对裸光纤进行刻写。8.根据权利要求5或6所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:还包括下述步骤:将所述裸光纤的一端尾纤接入光学频谱分析仪;所述的光学频谱分析仪监测到所刻写的光栅参数达到要求时,所述的光阑关闭。9.根据权利要求5或6所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:所述激光束入射在相位掩模板上通过相位掩模板衍射到裸光纤上的时间相同。10.根据权利要求8所述的一种光纤光栅的连续生产方法,其特征在于:所述的裸光纤为原料光纤全部去除涂覆层形成或为原料光纤连续隔段去除涂覆层形成。
【文档编号】G02B6/02GK105891945SQ201610467557
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年6月24日
【发明人】李忠志, 王彬, 杨立锋
【申请人】西安盛佳光电有限公司
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