对位方法及对位系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种对位方法及对位系统，其方法包括：采集步骤，采集各个对位区域的图像；判断步骤，判断所有的图像中对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则根据所有的对位区域进行对位步骤；若否，则进行筛选步骤；筛选步骤，自所有的对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并根据筛选出的至少一个对位区域进行对位步骤；对位步骤，将基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，以实现基板和掩膜版的位置匹配。本发明提供的对位方法，其可以提高自动对位的成功率，从而不仅可以避免因对位误差过大而造成的层间对位偏移，而且还可以提高对位效率，从而提高产能。
【专利说明】
对位方法及对位系统
技术领域
[0001]本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种对位方法及对位系统。
【背景技术】
[0002]在黄光制程中，曝光机在对基板进行第二层工艺时，通常利用对位相机抓取基板上的对位标记来实现基板和掩膜版的位置匹配。
[0003]具体来说，如图1所示，基板103被放置在工作台104上，且在基板103的上方设置有掩膜版102，用以对基板进行曝光。如图2所示，在掩膜板102的对位区域设置有菱形的对位标记106，与之相对应的，在基板103的对位区域设置有#字形的对位标记107。曝光机的对位相机101抓取上述对位区域的图像105，该图像105中同时出现菱形的对位标记106和#字形的对位标记107，然后曝光机通过移动掩膜版102的位置，使菱形的对位标记106的中心和#字形的对位标记107的中心重叠。之后，系统根据中心重叠的程度给出匹配得分，若得分高于设定阈值，则可以进行自动对位，并进行后续的曝光工艺。
[0004]在实际应用中，基板103和掩膜版102上各自的对位区域通常由四个，并采用四个对位相机分别抓取四个对位区域的图像。系统在对四个对位相机抓取的图像给出得分之后，只要有一个图像的得分没有超过设定阈值，就无法进行自动对位。
[0005]但是，由于基板103上的#字形的对位标记107是在进行第一层工艺时制作的，导致对位标记107存在形状异常的缺陷，该缺陷将会影响系统给出的得分，从而严重影响自动对位。目前，对于有规律的缺陷，可以手动筛选并开启两个得分较高的对位标记所对应的对位相机，并关闭其余两个对位相机，然后进行自动对位。而对于无规律的缺陷，只能采用手动对位，手动对位的误差较大，且对位效率较低，从而造成嫁动不足。
【发明内容】
[0006]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种对位方法及对位系统，其可以提高自动对位的成功率，从而不仅可以避免因对位误差过大而造成的层间对位偏移，而且还可以提高对位效率，从而提高产能。
[0007]为实现本发明的目的而提供一种对位方法，用于实现基板和掩膜版的位置匹配，所述基板和掩膜版分别具有多个对位区域，且在每个所述对位区域内设置有对位标记，包括:
[0008]采集步骤，采集各个所述对位区域的图像；
[0009]判断步骤，判断所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则根据所有的所述对位区域进行对位步骤;若否，则进行筛选步骤；
[0010]筛选步骤，自所有的所述对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并根据筛选出的所述至少一个对位区域进行对位步骤；
[0011]对位步骤，将所述基板的对位标记与所述掩膜版的对位标记进行对中，以实现所述基板和掩膜版的位置匹配。
[0012]可选的，在所述判断步骤中，所述图像中所述对位标记的匹配程度包括:
[0013]所述基板的对位标记的中心坐标与所述掩膜版的对位标记的中心坐标的重合程度;和/或，
[0014]所述对比标记的轮廓清晰度;和/或，
[0015]所述对比标记的线宽均匀性。
[0016]优选的，在所述判断步骤中，所述判断所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，进一步包括:
[0017]根据所述图像中所述对位标记的匹配程度给出得分，且所述匹配程度越高，则所述得分越高；
[0018]若所述得分高于或等于设定阈值，则确定该匹配程度达到所述设定标准；
[0019]若所述得分低于所述设定阈值，确定该匹配程度未达到所述设定标准。
[0020]优选的，所述得分的取值范围在O?I;所述设定阈值为O?I之间的小数。
[0021]优选的，在所述判断步骤中，判断所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度是否均达到设定标准；
[0022]若是，则根据所有的所述对位区域进行对位步骤；
[0023]若否，则进行报警，然后进行筛选步骤。
[0024]优选的，所述基板上的所述对位标记为字形;所述掩膜版上的所述对位标记为菱形；
[0025]在所述对位步骤中，通过将所述“#，，字形的中心坐标与所述菱形的中心坐标重合，来实现所述基板的对位标记与所述掩膜版的对位标记进行对中。
[0026]作为另一个技术方案，本发明还提供一种对位系统，用于实现基板和掩膜版的位置匹配，所述基板和掩膜版分别具有多个对位区域，且在每个所述对位区域内设置有对位标记，包括:采集单元、判断单元、筛选单元和对位单元，其中，
[0027]所述采集单元用于采集各个所述对位区域的图像，并将其发送至所述判断单元；
[0028]所述判断单元用于判断所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则向所述对位单元发送第一信号;若否，则向所述筛选单元发送第二信号；
[0029]所述筛选单元用于在接收到所述第二信号时，自所有的所述对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并将筛选出的所述至少一个对位区域发送至所述对位单元；
[0030]所述对位单元用于在接收到所述第一信号时，根据所有的所述对位区域，对所述基板的对位标记与所述掩膜版的对位标记进行对中，以实现所述基板和掩膜版的位置匹配;或者，根据筛选出的所述至少一个对位区域，对所述基板的对位标记与所述掩膜版的对位标记进行对中，以实现所述基板和掩膜版的位置匹配。
[0031]优选的，所述图像中所述对位标记的匹配程度包括:
[0032]所述基板的对位标记的中心坐标与所述掩膜版的对位标记的中心坐标的重合程度;和/或，
[0033]所述对比标记的轮廓清晰度;和/或，
[0034]所述对比标记的线宽均匀性。
[0035]优选的，所述判断单元进一步包括:
[0036]得分模块，用于根据所述图像中所述对位标记的匹配程度给出得分，且所述匹配程度越高，则所述得分越高;并将所述得分发送至判断模块；
[0037]判断模块，用于判断所述得分是否高于或等于设定阈值，若是，则确定该匹配程度达到所述设定标准;若否，确定该匹配程度未达到所述设定标准。
[0038]优选的，所述得分的取值范围在O?I;所述设定阈值为O?I之间的小数。
[0039]优选的，还包括报警单元，用于在所述判断单元判断不是所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度均达到设定标准时，进行报警。
[0040]本发明具有以下有益效果:
[0041]本发明提供的对位方法及对位系统的技术方案中，在有对位区域的图像中对位标记的匹配程度未达到设定标准时，通过自所有的对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并根据筛选出的至少一个对位区域进行自动对中，即，对基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，最终实现基板和掩膜版的位置匹配，可以提高自动对位的成功率，从而不仅可以避免因对位误差过大而造成的层间对位偏移，而且还可以提高对位效率，从而提尚广能。
【附图说明】
[0042]图1为基板和掩膜版的结构示意图；
[0043]图2为对位相机抓取的基板和掩膜版上的对位标记的示意图；
[0044]图3为本发明实施例提供的对位方法的流程框图；
[0045]图4为四个对位区域的图像的示例图；
[0046]图5为本发明实施例提供的对位系统的原理框图。
【具体实施方式】
[0047]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的对位方法及对位系统进行详细描述。
[0048]如图1所示，基板103被放置在工作台104上，且在基板103的上方设置有掩膜版102，用以对基板103进行曝光。在进行曝光之前，需要基板103和掩膜版102的位置进行匹配，具体匹配方式为:基板103和掩膜版102分别具有多个对位区域，且在每个对位区域内设置有对位标记，用以作为基板103和掩膜版102的对位基准。例如，如图2所示，基板103上的对位标记为“#，，字形;掩膜版102上的对位标记为菱形。在这种情况下，可以根据“#，，字形的中心坐标与菱形的中心坐标的重合程度，来判断基板103与掩膜版102的位置匹配程度。
[0049]图3为本发明实施例提供的对位方法的流程框图。请参阅图3，该对位方法包括:
[0050]采集步骤SI，采集各个对位区域的图像。
[0051 ]在该图像中，同时显示基板和掩膜版的对位标记。
[0052]判断步骤S2，判断所有的图像中对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则进行步骤S4，即根据所有的对位区域进行对位步骤S5;若否，则进行筛选步骤S3。
[0053]也就是说，只要其中一个图像中对位标记的匹配程度没有达到设定标准，就进行筛选步骤S3。
[0054]可选的，图像中对位标记的匹配程度包括:基板的对位标记的中心坐标与掩膜版的对位标记的中心坐标的重合程度;和/或，对比标记的轮廓清晰度;和/或，对比标记的线宽均匀性。如果基板的对位标记的中心坐标与掩膜版的对位标记的中心坐标的重合程度越高、和/或对比标记的轮廓越清晰、和/或对比标记的线宽越均勾，则越能够达到设定标准。例如，如图4所示，假设基板和掩膜版分别具有四个对位区域，其中，在对位区域A中，基板上的字形对位标记存在部分图形残缺的缺陷，该对位标记无法达到设定标准(NG);在对位区域C中，基板上的字形对位标记存在线宽不一致的缺陷，该对位标记无法达到设定标准(NG)。而对位区域B和D中的对位标记均能够达到设定标准(OK)。
[0055]进一步的，在判断步骤S2中，判断所有的图像中对位标记的匹配程度是否均达到设定标准进一步包括:
[0056]根据图像中对位标记的匹配程度给出得分，且该匹配程度越高，则得分越高；
[0057]若得分高于或等于设定阈值，则确定该匹配程度达到设定标准；
[0058]若得分低于设定阈值，确定该匹配程度未达到设定标准。
[0059]也就是说，设定一个能够评判对位标记的匹配程度的得分规则，并根据该得分规则判断所有的图像中对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，这种评判方式便于实现自动化判断。优选的，得分的取值范围在O?I;所述设定阈值为O?I之间的小数。例如，可以根据生产实际将设定阈值设定为0.7，假设四个对位区域中对位标记的匹配程度的得分分别为0.6、0.85、0.82和0.89，那么四个区域中得分为0.6的对位标记的匹配程度无法达到设定标准，而其余对位标记的匹配程度均达到设定标准。
[0060]另外，优选的，在判断步骤S2中，判断所有的所述图像中对位标记的匹配程度是否均达到设定标准;若是，则根据所有的对位区域进行对位步骤;若否，则进行报警，然后进行筛选步骤S3。也就是说，当判断其中一个图像中对位标记的匹配程度没有达到设定标准时，进行报警，以提示操作人员。
[0061]筛选步骤S3，自所有的对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并根据筛选出的至少一个对位区域进行对位步骤S5。
[0062]步骤S5，将基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，以实现基板和掩膜版的位置匹配。
[0063]例如，如图4所示，对位区域B和D中的对位标记的匹配程度比对位区域A和D高，因此，可以筛选出对位区域B和D，然后根据筛选出的对位区域B和D，将基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，以实现基板和掩膜版的位置匹配。
[0064]综上所述，在有对位区域的图像中对位标记的匹配程度未达到设定标准时，通过自所有的对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并根据筛选出的至少一个对位区域进行自动对中，即，对基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，最终实现基板和掩膜版的位置匹配，可以提高自动对位的成功率，从而不仅可以避免因对位误差过大而造成的层间对位偏移，而且还可以提高对位效率，从而提高产能。
[0065]图5为本发明实施例提供的对位系统的原理框图。请参阅图5，对位系统用于实现基板和掩膜版的位置匹配。基板和掩膜版的功能和与位置匹配相关的结构在上述实施例中已有了详细描述，在此不再赘述。
[0066]该对位系统包括采集单元1、判断单元2、筛选单元3和对位单元4，其中，采集单元I用于采集各个对位区域的图像，并将其发送至判断单元2。在该图像中，同时显示基板和掩膜版的对位标记。
[0067]判断单元2用于判断所有的所述图像中对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则向对位单元4发送第一信号;若否，则向筛选单元3发送第二信号。也就是说，只要判断单元2判断其中一个图像中对位标记的匹配程度没有达到设定标准，则向筛选单元3
发送第二信号。
[0068]可选的，图像中对位标记的匹配程度包括:基板的对位标记的中心坐标与掩膜版的对位标记的中心坐标的重合程度;和/或，对比标记的轮廓清晰度;和/或，对比标记的线宽均匀性。如果基板的对位标记的中心坐标与掩膜版的对位标记的中心坐标的重合程度越高、和/或对比标记的轮廓越清晰、和/或对比标记的线宽越均勾，则越能够达到设定标准。例如，如图4所示，假设基板和掩膜版分别具有四个对位区域，其中，在对位区域A中，基板上的字形对位标记存在部分图形残缺的缺陷，该对位标记无法达到设定标准(NG);在对位区域C中，基板上的字形对位标记存在线宽不一致的缺陷，该对位标记无法达到设定标准(NG)。而对位区域B和D中的对位标记均能够达到设定标准(OK)。
[0069]进一步的，判断单元2进一步包括:
[0070]得分模块，用于根据图像中对位标记的匹配程度给出得分，且匹配程度越高，则得分越高;并将得分发送至判断模块。
[0071]判断模块，用于判断得分是否高于或等于设定阈值，若是，则确定该匹配程度达到设定标准;若否，确定该匹配程度未达到设定标准。
[0072]优选的，得分的取值范围在O?I;所述设定阈值为O?I之间的小数。例如，可以根据生产实际将设定阈值设定为0.7，假设四个对位区域中对位标记的匹配程度的得分分别为0.6、0.85、0.82和0.89，那么四个区域中得分为0.6的对位标记的匹配程度无法达到设定标准，而其余对位标记的匹配程度均达到设定标准。
[0073]另外，优选的，对位系统还包括报警单元，用于在判断单元2判断不是所有的图像中对位标记的匹配程度均达到设定标准时，进行报警，以提示操作人员。
[0074]筛选单元3用于在接收到由判断单元2发送的第二信号时，自所有的对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并将筛选出的至少一个对位区域发送至对位单元
4。此时，对位单元4用于根据筛选出的至少一个对位区域，对基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，以实现基板和掩膜版的位置匹配。
[0075]当对位单元4接收到由判断单元2发送的第一信号时，根据所有的对位区域，对基板的对位标记与掩膜版的对位标记进行对中，以实现基板和掩膜版的位置匹配。
[0076]本发明提供的对位系统，其可以提高自动对位的成功率，从而不仅可以避免因对位误差过大而造成的层间对位偏移，而且还可以提高对位效率，从而提高产能。
[0077]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种对位方法，用于实现基板和掩膜版的位置匹配，所述基板和掩膜版分别具有多个对位区域，且在每个所述对位区域内设置有对位标记，其特征在于，包括: 采集步骤，采集各个所述对位区域的图像； 判断步骤，判断所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则根据所有的所述对位区域进行对位步骤;若否，则进行筛选步骤； 筛选步骤，自所有的所述对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并根据筛选出的所述至少一个对位区域进行对位步骤； 对位步骤，将所述基板的对位标记与所述掩膜版的对位标记进行对中，以实现所述基板和掩膜版的位置匹配。2.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，在所述判断步骤中，所述图像中所述对位标记的匹配程度包括: 所述基板的对位标记的中心坐标与所述掩膜版的对位标记的中心坐标的重合程度；和/或， 所述对比标记的轮廓清晰度;和/或， 所述对比标记的线宽均匀性。3.根据权利要求1或2所述的对位方法，其特征在于，在所述判断步骤中，所述判断所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，进一步包括: 根据所述图像中所述对位标记的匹配程度给出得分，且所述匹配程度越高，则所述得分越尚; 若所述得分高于或等于设定阈值，则确定该匹配程度达到所述设定标准； 若所述得分低于所述设定阈值，确定该匹配程度未达到所述设定标准。4.根据权利要求3所述的对位方法，其特征在于，所述得分的取值范围在O?I;所述设定阈值为O?I之间的小数。5.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，在所述判断步骤中，判断所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度是否均达到设定标准； 若是，则根据所有的所述对位区域进行对位步骤； 若否，则进行报警，然后进行筛选步骤。6.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于，所述基板上的所述对位标记为“#，’字形;所述掩膜版上的所述对位标记为菱形； 在所述对位步骤中，通过将所述“#，，字形的中心坐标与所述菱形的中心坐标重合，来实现所述基板的对位标记与所述掩膜版的对位标记进行对中。7.—种对位系统，用于实现基板和掩膜版的位置匹配，所述基板和掩膜版分别具有多个对位区域，且在每个所述对位区域内设置有对位标记，其特征在于，包括:采集单元、判断单元、筛选单元和对位单元，其中， 所述采集单元用于采集各个所述对位区域的图像，并将其发送至所述判断单元； 所述判断单元用于判断所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度是否均达到设定标准，若是，则向所述对位单元发送第一信号;若否，则向所述筛选单元发送第二信号； 所述筛选单元用于在接收到所述第二信号时，自所有的所述对位区域中筛选出匹配程度最高的至少一个对位区域，并将筛选出的所述至少一个对位区域发送至所述对位单元； 所述对位单元用于在接收到所述第一信号时，根据所有的所述对位区域，对所述基板的对位标记与所述掩膜版的对位标记进行对中，以实现所述基板和掩膜版的位置匹配;或者，根据筛选出的所述至少一个对位区域，对所述基板的对位标记与所述掩膜版的对位标记进行对中，以实现所述基板和掩膜版的位置匹配。8.根据权利要求7所述的对位系统，其特征在于，所述图像中所述对位标记的匹配程度包括: 所述基板的对位标记的中心坐标与所述掩膜版的对位标记的中心坐标的重合程度；和/或， 所述对比标记的轮廓清晰度;和/或， 所述对比标记的线宽均匀性。9.根据权利要求7或8所述的对位系统，其特征在于，所述判断单元进一步包括: 得分模块，用于根据所述图像中所述对位标记的匹配程度给出得分，且所述匹配程度越高，则所述得分越高;并将所述得分发送至判断模块； 判断模块，用于判断所述得分是否高于或等于设定阈值，若是，则确定该匹配程度达到所述设定标准;若否，确定该匹配程度未达到所述设定标准。10.根据权利要求9所述的对位系统，其特征在于，所述得分的取值范围在O?I;所述设定阈值为O?I之间的小数。11.根据权利要求7所述的对位系统，其特征在于，还包括报警单元，用于在所述判断单元判断不是所有的所述图像中所述对位标记的匹配程度均达到设定标准时，进行报警。
【文档编号】G03F9/00GK106054543SQ201610682413
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年8月17日
【发明人】王辉, 王志强, 张力舟, 高琪, 申洋, 李明龙, 王强
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 合肥鑫晟光电科技有限公司