一种环保光刻胶清洗液及其制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种环保光刻胶清洗液及其制备方法，该清洗液包括以下组分：5?丁基海因酸、富马酸二甲酯、三(3?甲氧基苯基)膦、十四烷基二甲基甜菜碱、油酸聚乙二醇酯、茶皂素、碳分子筛、癸基葡糖苷、水杨酸异丁酯、D?塔罗糖醇、2?（二乙醇胺基）乙磺酸、白桦脂酸、紫罗兰酮、二烯丙基二甲基氯化铵、月桂酰二乙醇胺份、聚乙二醇双酸酯、脱氢松香酸、α?松油醇、去离子水。本发明制备的光刻胶清洗剂的清洗效果佳，无腐蚀，在清洗力和不腐蚀基材两个性能上达到一个良好的平衡。此外，该光刻胶清洗剂中不存在大量的酸碱试剂，对环境危害小，也无需增加额外的续处理成本，市场应用前景良好。
【专利说明】
一种环保光刻胶清洗液及其制备方法
技术领域
[0001] 本发明属于电子材料技术领域，具体涉及一种环保光刻胶清洗液及其制备方法。
【背景技术】
[0002] 光刻工艺是用于制造触控电路、印刷电路、集成电路、显示屏和基因芯片等领域中 所使用的常规工艺，而光刻胶是光刻工艺中重要原材料之一。光刻胶是由感光树脂、增感剂 和溶剂等成分组成的且对光敏感的混合液体。目前光刻胶的型号多样，根据其显影原理大 体可分为正性胶和负性胶。光刻胶的作用主要是在材料表面形成掩膜，曝光后进行图形转 移。在光刻工艺中，得到所需图形后应该去除残留光刻胶，之后进行下一道工序。在光刻胶 的去除工序中，需要使用合适的光刻胶清洗液，以期能够完全将光刻胶去除，同时保证基材 不被腐蚀。然而，目前市场上的光刻胶清洗液在清洗力和不腐蚀基材两个性能上无法达到 一个良好的平衡。此外，现有技术的光刻胶清洗液普遍含有大量的酸碱试剂，对环境影响较 大，且增加后续的处理成本。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的是提供一种环保光刻胶清洗液及其制备方法，以解决以上至少一种 技术问题。
[0004] 本发明的技术方案来如下： 一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分:5_ 丁基海因酸5-12份、富马酸二甲酯 2-6份、三(3-甲氧基苯基)膦2-8份、十四烷基二甲基甜菜碱4-10份、油酸聚乙二醇酯3-8份、 茶皂素1-5份、碳分子筛1-4份、癸基葡糖苷2-6份、水杨酸异丁酯2-6份、D-塔罗糖醇1-4份、 2-(二乙醇胺基）乙磺酸2-6份、白桦脂酸3-7份、紫罗兰酮0.2-1份、二烯丙基二甲基氯化铵 1-3份、月桂酰二乙醇胺1-4份、聚乙二醇双酸酯0.8-3份、脱氢松香酸2-6份、α-松油醇5-9 份、去尚子水18-25份。
[0005] 上述技术方案中，包括以下重量份的组分：5_丁基海因酸7-11份、富马酸二甲酯 2.5-5.3份、三(3-甲氧基苯基)膦3-6.8份、十四烷基二甲基甜菜碱4.2-7.5份、油酸聚乙二 醇酯3.5-7.6份、茶阜素1.2-4.6份、碳分子筛1.5-3.6份、癸基葡糖苷2.2-5.4份、水杨酸异 丁酯3-5.6份、D-塔罗糖醇1.3-3.8份、2-(二乙醇胺基）乙磺酸2.4-5.7份、白桦脂酸3.8-6.5 份、紫罗兰酮0.4-0.9份、二烯丙基二甲基氯化铵1.2-2.8份、月桂酰二乙醇胺1.4-3.7份、聚 乙二醇双酸酯0.9-2.3份、脱氢松香酸2.4-5.2份、α-松油醇5.6-8.4份、去离子水19-23份。
[0006] 上述技术方案中，包括以下重量份的组分:5_丁基海因酸8.9份、富马酸二甲酯3.6 份、三(3-甲氧基苯基)膦4.5份、十四烷基二甲基甜菜碱6.2份、油酸聚乙二醇酯4.8份、茶皂 素2.6份、碳分子筛2.7份、癸基葡糖苷4.8份、水杨酸异丁酯3.9份、D-塔罗糖醇1.7份、2-(二 乙醇胺基）乙磺酸3.5份、白桦脂酸4.6份、紫罗兰酮0.7份、二烯丙基二甲基氯化铵1.6份、月 桂酰二乙醇胺2.3份、聚乙二醇双酸酯1.6份、脱氢松香酸3.8份、α-松油醇7.3份、去离子水 21份。
[0007] 本发明的另一技术方案来如下： 环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤： 步骤1)将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松 香酸、5-丁基海因酸、2-(二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在50-90°C温度下，以300-800rpm的速度搅拌40-80min，得溶液A; 步骤2)将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松 油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在60-80°C温度下， 以200-600rpm的速度搅拌30-60min，得溶液B; 步骤3)将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以200-500rpm的速度揽摔30_60min; 步骤4)将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三(3-甲氧基苯基)膦加入步骤3)得到的混合溶液 中，以500-800rpm的速度搅拌1-4小时，静置24小时，即得。
[0008] 上述技术方案中，步骤(1)，在78°C温度下，以600rpm的速度搅拌50min。
[0009] 上述技术方案中，步骤(2)，在65°C温度下，以450rpm的速度搅拌35min。
[00?0] 上述技术方案中，步骤(3)，以420rpm的速度搅拌55min。
[0011] 上述技术方案中，步骤(4)，以750rpm的速度搅拌3小时。
[0012] 由于采用了以上技术方案，本发明的有益效果为： 本发明制备的光刻胶清洗剂的清洗效果佳，无腐蚀，在清洗力和不腐蚀基材两个性能 上达到一个良好的平衡。此外，该光刻胶清洗剂中不存在大量的酸碱试剂，对环境危害小， 也无需增加额外的续处理成本，市场应用前景良好。
【具体实施方式】
[0013] 下面结合具体实施例，对本发明作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明， 但不用来限制本发明的范围。
[0014] 实施例1 一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分:5_ 丁基海因酸5份、富马酸二甲酯2-6 份、三(3-甲氧基苯基)膦2份、十四烷基二甲基甜菜碱4份、油酸聚乙二醇酯3份、茶皂素1份、 碳分子筛1份、癸基葡糖苷2份、水杨酸异丁酯2份、D-塔罗糖醇1份、2-(二乙醇胺基）乙磺酸2 份、白桦脂酸3份、紫罗兰酮0.2份、二烯丙基二甲基氯化铵1份、月桂酰二乙醇胺1份、聚乙二 醇双酸酯0.8份、脱氢松香酸2份、α-松油醇5份、去离子水18份。
[0015] 上述环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤： 步骤1)将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松 香酸、5-丁基海因酸、2-(二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在50°C温度下，以300rpm的速 度搅拌40min，得溶液A; 步骤2)将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松 油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在60°C温度下，以 200rpm的速度搅拌30min，得溶液B; 步骤3)将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以200rpm的 速度搅拌30min; 步骤4)将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三(3-甲氧基苯基)膦加入步骤3)得到的混合溶液 中，以500rpm的速度搅拌1小时，静置24小时，即得。
[0016] 实施例2 一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分:5_ 丁基海因酸12份、富马酸二甲酯6 份、三（3-甲氧基苯基）膦8份、十四烷基二甲基甜菜碱10份、油酸聚乙二醇酯8份、茶皂素5 份、碳分子筛4份、癸基葡糖苷6份、水杨酸异丁酯6份、D-塔罗糖醇4份、2-(二乙醇胺基）乙磺 酸6份、白桦脂酸7份、紫罗兰酮1份、二烯丙基二甲基氯化铵3份、月桂酰二乙醇胺4份、聚乙 二醇双酸酯3份、脱氢松香酸6份、α-松油醇9份、去离子水25份。
[0017] 上述环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤： 步骤1)将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松 香酸、5-丁基海因酸、2-(二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在90°C温度下，以SOOrpm的速 度搅拌80min，得溶液A; 步骤2)将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松 油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在80°C温度下，以 600rpm的速度搅拌60min，得溶液B; 步骤3)将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以500rpm的 速度搅拌60min; 步骤4)将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三(3-甲氧基苯基)膦加入步骤3)得到的混合溶液 中，以800rpm的速度搅拌4小时，静置24小时，即得。
[0018] 实施例3 一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分:5_ 丁基海因酸7份、富马酸二甲酯2.5 份、三(3-甲氧基苯基)膦3份、十四烷基二甲基甜菜碱4.2份、油酸聚乙二醇酯3.5份、茶皂素 1.2份、碳分子筛1.5份、癸基葡糖苷2.2份、水杨酸异丁酯3份、D-塔罗糖醇1.38份、2-(二乙 醇胺基）乙磺酸2.4份、白桦脂酸3.8份、紫罗兰酮0.4份、二烯丙基二甲基氯化铵1.2份、月桂 酰二乙醇胺1.4份、聚乙二醇双酸酯0.9份、脱氢松香酸2.4份、α-松油醇5.6份、去离子水19 份。
[0019]上述环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤： 步骤1)将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松 香酸、5-丁基海因酸、2-(二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在70°C温度下，以500rpm的速 度搅拌65min，得溶液A; 步骤2)将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松 油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在5°C温度下，以 350rpm的速度搅拌45min，得溶液B; 步骤3 )将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以400rpm的 速度搅拌55min; 步骤4)将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三(3-甲氧基苯基)膦加入步骤3)得到的混合溶液 中，以500-800rpm的速度搅拌1-4小时，静置24小时，即得。
[0020] 实施例4 一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分:5_ 丁基海因酸11份、富马酸二甲酯 5.3份、三(3-甲氧基苯基)膦6.8份、十四烷基二甲基甜菜碱7.5份、油酸聚乙二醇酯7.6份、 茶皂素4.6份、碳分子筛3.6份、癸基葡糖苷5.4份、水杨酸异丁酯5.6份、D-塔罗糖醇3.8份、 2-(二乙醇胺基）乙磺酸-5.7份、白桦脂酸6.5份、紫罗兰酮0.9份、二烯丙基二甲基氯化铵 2.8份、月桂酰二乙醇胺3.7份、聚乙二醇双酸酯2.3份、脱氢松香酸5.2份、α-松油醇8.4份、 去呙子水23份。
[0021 ]上述环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤： 步骤1)将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松 香酸、5-丁基海因酸、2-(二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在75°C温度下，以520rpm的速 度搅拌60min，得溶液A; 步骤2)将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松 油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在75°C温度下，以 450rpm的速度搅拌50min，得溶液B; 步骤3)将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以350rpm的 速度搅拌45min; 步骤4)将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三(3-甲氧基苯基)膦加入步骤3)得到的混合溶液 中，以650rpm的速度搅拌3小时，静置24小时，即得。
[0022] 实施例5 一种环保光刻胶清洗液，包括以下重量份的组分:5_ 丁基海因酸8.9份、富马酸二甲酯 3.6份、三(3-甲氧基苯基)膦4.5份、十四烷基二甲基甜菜碱6.2份、油酸聚乙二醇酯4.8份、 茶皂素2.6份、碳分子筛2.7份、癸基葡糖苷4.8份、水杨酸异丁酯3.9份、D-塔罗糖醇1.7份、 2-(二乙醇胺基）乙磺酸3.5份、白桦脂酸4.6份、紫罗兰酮0.7份、二烯丙基二甲基氯化铵1.6 份、月桂酰二乙醇胺2.3份、聚乙二醇双酸酯1.6份、脱氢松香酸3.8份、α-松油醇7.3份、去离 子水21份。
[0023] 上述环保光刻胶清洗液的制备方法，包括如下制备步骤： 步骤1)将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松 香酸、5-丁基海因酸、2-(二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在78°C温度下，以600rpm的速 度搅拌50min，得溶液A; 步骤2)将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松 油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在65°C温度下，以 450rpm的速度搅拌35min，得溶液B; 步骤3 )将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以420rpm的 速度搅拌55min; 步骤4)将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三(3-甲氧基苯基)膦加入步骤3)得到的混合溶液 中，以750rpm的速度搅拌3小时，静置24小时，即得。
[0024] 对比例1 本对比例与实施例1的不同之处仅在于:不包含油酸聚乙二醇酯、2-(二乙醇胺基）乙磺 酸和白桦脂酸，其他组分和制备保持不变，参考实施例1的方法制备。
[0025] 对比例2 本对比例与实施例1的不同之处仅在于:不包含水杨酸异丁酯、碳分子筛和富马酸二甲 酯，其他组分和制备保持不变，参考实施例1的方法制备。
[0026]将上述实施例1至5和对比例1、2所制备的光刻胶清洗剂的性能进行测试，测试结 果如下表所示：
从上表中的实施例1至5的产品性能测试结果可以看出，本发明制备的光刻胶清洗剂的 清洗效果佳，无腐蚀，在清洗力和不腐蚀基材两个性能上达到一个良好的平衡。此外，该光 刻胶清洗剂中不存在大量的酸碱试剂，对环境危害小，也无需增加额外的续处理成本，市场 应用前景良好。
【主权项】
1. 一种环保光刻胶清洗液，其特征在于，包括以下重量份的组分：5-丁基海因酸5-12 份、富马酸二甲酯2-6份、三(3-甲氧基苯基)膦2-8份、十四烷基二甲基甜菜碱4-10份、油酸 聚乙二醇酯3-8份、茶皂素1-5份、碳分子筛1-4份、癸基葡糖苷2-6份、水杨酸异丁酯2-6份、 D-塔罗糖醇卜4份、2-(二乙醇胺基）乙磺酸2-6份、白桦脂酸3-7份、紫罗兰酮0.2-1份、二烯 丙基二甲基氯化铵1-3份、月桂酰二乙醇胺1-4份、聚乙二醇双酸酯0.8-3份、脱氢松香酸2-6 份、α-松油醇5-9份、去离子水18-25份。2. 根据权利要求1所述的环保光刻胶清洗液，其特征在于，包括以下重量份的组分:5-丁基海因酸7-11份、富马酸二甲酯2.5-5.3份、三(3-甲氧基苯基)膦3-6.8份、十四烷基二甲 基甜菜碱4.2-7.5份、油酸聚乙二醇酯3.5-7.6份、茶皂素1.2-4.6份、碳分子筛1.5-3.6份、 癸基葡糖苷2.2-5.4份、水杨酸异丁酯3-5.6份、D-塔罗糖醇1.3-3.8份、2-(二乙醇胺基）乙 磺酸2.4-5.7份、白桦脂酸3.8-6.5份、紫罗兰酮0.4-0.9份、二烯丙基二甲基氯化铵1.2-2.8 份、月桂酰二乙醇胺1.4-3.7份、聚乙二醇双酸酯0.9-2.3份、脱氢松香酸2.4-5.2份、α-松油 醇5.6-8.4份、去离子水19-23份。3. 根据权利要求1所述的环保光刻胶清洗液，其特征在于，包括以下重量份的组分:5-丁基海因酸8.9份、富马酸二甲酯3.6份、三(3-甲氧基苯基)膦4.5份、十四烷基二甲基甜菜 碱6.2份、油酸聚乙二醇酯4.8份、茶皂素2.6份、碳分子筛2.7份、癸基葡糖苷4.8份、水杨酸 异丁酯3.9份、D-塔罗糖醇1.7份、2-(二乙醇胺基）乙磺酸3.5份、白桦脂酸4.6份、紫罗兰酮 0.7份、二烯丙基二甲基氯化铵1.6份、月桂酰二乙醇胺2.3份、聚乙二醇双酸酯1.6份、脱氢 松香酸3.8份、α-松油醇7.3份、去离子水21份。4. 根据权利要求1至3任一项所述的环保光刻胶清洗液的制备方法，其特征在于，包括 如下制备步骤： 步骤1)将茶皂素加入去离子水中，搅拌溶解，然后加入二烯丙基二甲基氯化铵、脱氢松 香酸、5-丁基海因酸、2-(二乙醇胺基）乙磺酸和癸基葡糖苷，在50-90°C温度下，以300-800rpm的速度搅拌40-80min，得溶液A; 步骤2)将富马酸二甲酯、D-塔罗糖醇、月桂酰二乙醇胺、十四烷基二甲基甜菜碱和α-松 油醇混合均匀，然后加入白桦脂酸、聚乙二醇双酸酯、油酸聚乙二醇酯，在60-80°C温度下， 以200-600rpm的速度搅拌30-60min，得溶液B; 步骤3)将溶液B加入溶液A中，混合均匀，然后边搅拌边均匀加入碳分子筛，以200-500rpm的速度揽摔30_60min; 步骤4)将水杨酸异丁酯、紫罗兰酮、三（3-甲氧基苯基)膦加入步骤3)得到的混合溶液 中，以500-800rpm的速度搅拌1-4小时，静置24小时，即得。5. 根据权利要求4所述的环保光刻胶清洗液的制备方法，其特征在于，步骤（1)，在78°C 温度下，以600rpm的速度搅拌50min。6. 根据权利要求5所述的环保光刻胶清洗液的制备方法，其特征在于，步骤(2)，在65°C 温度下，以450rpm的速度搅拌35min。7. 根据权利要求6所述的环保光刻胶清洗液的制备方法，其特征在于，步骤（3)，以 420rpm的速度搅拌55min。8. 根据权利要求7所述的环保光刻胶清洗液的制备方法，其特征在于，步骤（4)，以 750rpm的速度搅拌3小时。
【文档编号】G03F7/42GK106094451SQ201610736038
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年8月26日
【发明人】王泽陆
【申请人】王泽陆