一种730nm带通滤光片的制作方法

文档序号:8622901阅读:388来源:国知局
一种730nm带通滤光片的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种滤光片,具体为一种730nm带通滤光片。
【背景技术】
[0002]带通滤光片在航天、气象、遥感等领域有着重要的应用,峰值透过率和通带半宽度是带通滤光片的重要指标,主要取决于光学薄膜的膜系结构和具体设计。
[0003]传统的带通滤光片峰值透过率低,光谱性能不太稳定,膜层致密性差,附着力等其它性能也较差。
【实用新型内容】
[0004]针对上述技术问题,本实用新型公开一种730nm带通滤光片,包括:基板以及自下而上依次交替设置在所述基板上的T12膜层和S12膜层,所述基板是HB700有色玻璃;所述T1J莫层和S1 2膜层自下而上依次是:79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1 2膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、316.1nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03_厚度的1102膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S1 2膜层、316.1 nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03_厚度的1102膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S12膜层、316.1 nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1 2膜层、79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S12膜层、56.67nm厚度的T1 2膜层、83.54nm厚度的S1 2膜层。
[0005]本实用新型的有益效果是所述730nm带通滤光片能够实现中心波长定位于730nm±3nm,即±0.4%以内,峰值透过率达90%以上,截止区透过率小于0.1%,峰值透过率高、性能稳定,极大地提高了产品的性能;所述滤光片光谱性能稳定,膜层致密,附着力好,膜系结构简单,易于实现。
【附图说明】
[0006]图1是本实用新型所述730nm带通滤光片的结构示意图;
[0007]图2是本实用新型所述730nm带通滤光片的光谱透过率实测曲线图。
[0008]其中,1-基板;2-Ti02;3-Si02膜层。
【具体实施方式】
[0009]下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0010]如图所示,本实用新型公开一种730nm带通滤光片,包括:基板I以及自下而上依次交替设置在所述基板I上的T12膜层2和S1 2膜层3,所述基板I是HB700有色玻璃;所述T12膜层2和S1 2膜层3自下而上依次是:79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03_厚度的1102膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、316.1nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03_厚度的1102膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S1 2膜层、316.1 nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03_厚度的1102膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S12膜层、316.1nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1 2膜层、79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、56.67nm厚度的T1 2膜层、83.54nm厚度的Si02膜层。
[0011]经实验,所述730nm带通滤光片能够实现中心波长定位于730nm±3nm,即±0.4%以内,峰值透过率达90%以上,截止区透过率小于0.1%,峰值透过率高、性能稳定,极大地提尚了广品的性能。
[0012]尽管本实用新型的实施方案已公开如上,但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
【主权项】
1.一种730nm带通滤光片,其特征在于,包括: 基板以及自下而上依次交替设置在所述基板上的T1J莫层和S12膜层,所述基板是HB700有色玻璃; 所述T12膜层和S1 2膜层自下而上依次是:79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、316.1nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1 2膜层、79.03nm厚度的T1J莫层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1 2膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S1 2膜层、316.1 nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T1 2膜层、124.04nm厚度的S1J莫层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03_厚度的1102膜层、124.04nm厚度的S12膜层、316.1 nm厚度的T1J莫层、124.04nm厚度的S12膜层、79.03nm厚度的T12膜层、124.04nm厚度的S12膜层、56.67nm厚度的T12膜层、83.54nm厚度的S12膜层。
【专利摘要】本实用新型公开一种730nm带通滤光片,包括基板以及自下而上依次交替设置在所述基板上的TiO2膜层和SiO2膜层,所述基板是HB700有色玻璃。本实用新型所述730nm带通滤光片能够实现中心波长定位于730nm±3nm,即±0.4%以内,峰值透过率达90%以上,截止区透过率小于0.1%,峰值透过率高、性能稳定,极大地提高了产品的性能,所述滤光片光谱性能稳定,膜层致密,附着力好,膜系结构简单,易于实现。
【IPC分类】G02B5-20, G02B1-00
【公开号】CN204331081
【申请号】CN201520017811
【发明人】王明利
【申请人】苏州奥科辉光电科技有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2015年1月12日
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