冷热一体式加热盘的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及大功率精确温度控制领域，尤其涉及一种冷热一体式加热盘。
【背景技术】
[0002]冷热一体式加热盘是微电子行业制造投影光刻机的重要组成部分。
[0003]国内生产的加热盘只能单纯地实现加热功能，无法正常完成冷却过程，达不到市场上应用的标准。
[0004]因此，中国投影光刻机厂家对加热盘的使用几乎全部依赖进口，生产周期长，价格高，对厂家带来一定的经济负担。
【发明内容】
[0005]为了解决现有技术中的问题，本实用新型的目的是提供一种在短时间内快速加热和快速降温的一体式加热盘。
[0006]本实用新型的技术方案:冷热一体式加热盘，其特征在于，包括处于上平面的加热盘体和处于下平面的冷却盘体，所述的加热盘体内设置有放丝槽，所述的放丝槽在加热盘体内呈等间距排布，所述的放丝槽内安装有加热丝；所述的冷却盘体内设置有冷却槽，所述的冷却槽在冷却盘体内呈等间距排布，所述的冷却槽内安装水管，所述的水管内填充有冷却油；所述的加热盘体上还设置有控温槽，所述的控温槽内安装有温度传感器，所述的温度传感器用于感应加热盘体的温度，并将感应信号传递给控制中心；所述的控制中心连接并控制加热丝，温度传感器和冷却盘体，协同各部件实现冷热一体式加热盘的加热和冷却过程。
[0007]其中，所述的放丝槽最里端连接并设置有引线槽，所述的引线槽用于实现加热丝的加热过程。
[0008]其中，所述的加热盘体近似为圆形，所述的加热盘体一侧设置有V形口，所述的V形口用于实现加热盘体在加工过程中的定位效果。所述的冷却盘体近似为圆形，所述的冷却盘体在加热盘体同侧设置有尺寸相同的V形口。
[0009]其中，所述的加热盘体和冷却盘体的尺寸大小相等。
[0010]作为优选，所述的加热丝为矿物绝缘电缆。
[0011]其中，所述的温度传感器为热电偶。
[0012]其中，所述的加热盘体和冷却盘体通过真空钎焊和氩弧焊封焊在一起。
[0013]其中，所述的加热盘体和冷却盘体的平行度、粗糙度和平面度采用CNC加工中心进行加工。
[0014]其中，所述的冷热一体式加热盘还包括加热丝接头和水管接头。
[0015]与现有技术相比，本实用新型实现的有益效果:本实用新型的冷热一体式加热盘同时设置有加热盘体和冷却盘体，以实现加热和冷却的过程，避免了传统加热盘受单纯的加热功能所限，扩大了加热盘的使用范围；本实用新型的冷热一体式加热盘在加热盘体内等距离盘绕有矿物绝缘电缆，功率大并且温度均匀，同时加热盘体上设置有控温槽，控温槽中安装有温度传感器，温度传感器感应加热盘体温度，在短时间内实现快速升温和精确控温的效果；本发明的冷热一体式加热盘在冷却盘体内设置有冷却槽，冷却槽中安装有水管，水管里填充冷却油，冷却油循环流动，实现快速降温的效果；同时，本实用新型的冷热一体式加热盘将真空钎焊和氩弧焊结合，对加热盘体和冷却盘体进行焊接，焊接牢固，保证加热丝的正常使用；本实用新型的冷热一体式加热盘采用CNC加工中心进行加热盘体和冷却盘体的平行度、粗糙度和平面度加工，避免了加热盘体和冷却盘体不平整对产品带来的破损。
【附图说明】
[0016]以下结合附图和【具体实施方式】来进一步详细说明本实用新型:
[0017]图1为本实用新型的冷热一体式加热盘的结构示意图；
[0018]图2为本实用新型的冷热一体式加热盘中加热盘体的结构示意图；
[0019]图3为本实用新型的冷热一体式加热盘中冷却盘体的结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]如图1，2，3所示，冷热一体式加热盘，其特征在于，包括处于上平面的加热盘体I和处于下平面的冷却盘体2，所述的加热盘体I内设置有放丝槽3，所述的放丝槽3在加热盘体I内呈等间距排布，所述的放丝槽3内安装有加热丝；所述的冷却盘体2内设置有冷却槽4，所述的冷却槽4在冷却盘体2内呈等间距排布，所述的冷却槽4内安装水管，所述的水管内填充有冷却油；所述的加热盘体I上还设置有控温槽5，所述的控温槽5内安装有温度传感器，所述的温度传感器用于感应加热盘体I的温度，并将感应信号传递给控制中心；所述的控制中心连接并控制加热丝，温度传感器和冷却盘体2，协同各部件实现冷热一体式加热盘的加热和冷却过程。
[0021]所述的放丝槽3最里端连接并设置有引线槽8，所述的引线槽8用于实现加热丝的加热过程。
[0022]所述的冷热一体式加热盘还包括加热丝接头6和水管接头7。
[0023]所述的加热盘体I近似为圆形，所述的加热盘体I 一侧设置有V形口，所述的冷却盘体2在加热盘体I同侧设置有相同大小的V形口，所述的V形口用于加热盘体I和冷却盘体2在加工过程中的定位效果，避免带来误差。
[0024]所述的加热盘体I中的加热丝为矿物绝缘电缆。
[0025]所述的加热盘体I和冷却盘体2的尺寸大小相等。
[0026]接通电源，矿物绝缘电缆对被加热部件进行加热，矿物绝缘电缆功率大，快速加热，温度传感器感应加热盘体温度，当到达设定温度时，控制中心控制矿物绝缘电缆结束加热，实现精确控温的效果；当需要降温时，接通冷却油，冷却油在水管中循环流动，实现快速降温。
[0027]所述的冷热一体式加热盘的制作方法，包括如下步骤:
[0028]S1:线切割和车床加工加热盘体和冷却盘体，实现两盘体尺寸相等，偏差均在±0.1 ；
[0029]S2:线切割相同位置的加热盘体和冷却盘体，获得尺寸相等的V形口；
[0030]S3:采用CNC加工中心在加热盘体上加工出等距离盘绕的放丝槽，在放丝槽的最里端加工出引线槽；
[0031]S4:采用CNC加工中心在加热盘体上设置控温槽；
[0032]S5:采用CNC加工中心在冷却盘体上加工出等距离盘绕的冷却槽；
[0033]S6:在放丝槽和引线槽中分别安装加热丝，在控温槽中安装温度传感器保护管，在冷却槽中安装水管；
[0034]S7:在加热盘体和冷却盘体上分别涂上焊剂，将加热盘体和冷却盘体粘合在一起，在缝隙处用氩弧焊封焊，最后用真空钎焊炉进行焊接；
[0035]S8:采用CNC加工中心进行加热盘体和冷却盘体的平行度、粗糙度和平面度加工；
[0036]S9:在粘合后的加热盘体和冷却盘体上安装加热丝接头和水管接头。
[0037]本实用新型的冷热一体式加热盘同时设置有加热盘体和冷却盘体，以实现加热和冷却的过程，避免了传统加热盘受单纯的加热功能所限，扩大了加热盘的使用范围；本实用新型的冷热一体式加热盘在加热盘体内等距离盘绕有矿物绝缘电缆，功率大并且温度均匀，同时，加热盘体上设置有控温槽，控温槽中安装有温度传感器，温度传感器感应加热盘体温度，在短时间内实现快速升温和精确控温的效果；本实用新型的冷热一体式加热盘在冷却盘体内设置有冷却槽，冷却槽中安装有水管，水管里填充冷却油，冷却油循环流动，实现快速降温的效果；同时，本实用新型的冷热一体式加热盘将真空钎焊和氩弧焊结合，对加热盘体和冷却盘体进行焊接，焊接牢固，保证加热丝的正常使用；本实用新型的冷热一体式加热盘采用CNC加工中心进行加热盘体和冷却盘体的平行度、粗糙度和平面度加工，避免了加热盘体和冷却盘体不平整对产品带来的破损。
[0038]上述的【具体实施方式】只是示例性的，是为了更好地使本领域技术人员能够理解本专利，不能理解为是对本专利包括范围的限制；只要是根据本专利所揭示精神的所作的任何等同变更或修饰，均落入本专利包括的范围。
【主权项】
1.冷热一体式加热盘，其特征在于，包括处于上平面的加热盘体(I)和处于下平面的冷却盘体(2)，所述的加热盘体(I)内设置有放丝槽(3)，所述的放丝槽(3)在加热盘体(I)内呈等间距排布，所述的放丝槽(3)内安装有加热丝；所述的冷却盘体(2)内设置有冷却槽(4)，所述的冷却槽(4)在冷却盘体(2)内呈等间距排布，所述的冷却槽(4)内安装水管，所述的水管内填充有冷却油；所述的加热盘体(I)上还设置有控温槽(5)，所述的控温槽(5)内安装有温度传感器，所述的温度传感器用于感应加热盘体(I)的温度，并将感应信号传递给控制中心；所述的控制中心连接并控制加热丝，温度传感器和冷却盘体(2)，协同各部件实现冷热一体式加热盘的加热和冷却过程。2.如权利要求1所述的冷热一体式加热盘，其特征在于，所述的放丝槽(3)最里端连接并设置有引线槽(8)，所述的引线槽(8)用于实现加热丝的加热过程。3.如权利要求1所述的冷热一体式加热盘，其特征在于，所述的加热盘体(I)近似为圆形，所述的加热盘体(I) 一侧设置有V形口，所述的V形口用于实现加热盘体(I)在加工过程中的定位效果，所述的冷却盘体(2)近似为圆形，所述的冷却盘体(2)在加热盘体(I)同侧相同位置设置有大小相同的V形口。4.如权利要求1所述的冷热一体式加热盘，其特征在于，所述的加热盘体(I)和冷却盘体(2)的尺寸大小相等。5.如权利要求1所述的冷热一体式加热盘，其特征在于，所述的加热丝为矿物绝缘电缆。6.如权利要求1所述的冷热一体式加热盘，其特征在于，所述的温度传感器为热电偶。7.如权利要求1所述的冷热一体式加热盘，其特征在于，所述的加热盘体(I)和冷却盘体(2)通过氩弧焊和真空钎焊封焊在一起。8.如权利要求1所述的冷热一体式加热盘，其特征在于，所述的加热盘体(I)和冷却盘体(2)的平行度、粗糙度和平面度采用CNC加工中心进行加工。9.如权利要求1所述的冷热一体式加热盘，其特征在于，所述的冷热一体式加热盘还包括加热丝接头(6 )和水管接头(7 )。
【专利摘要】本实用新型公开了一种冷热一体式加热盘，其特征在于，包括加热盘体和冷却盘体，加热盘体内设置有放丝槽，放丝槽在加热盘体内呈等间距排布，放丝槽内安装有加热丝；冷却盘体内设置有冷却槽，冷却槽在冷却盘体内呈等间距排布，冷却槽内安装水管，水管内填充有冷却油；加热盘体上还设置有控温槽，控温槽内安装有温度传感器，温度传感器用于感应加热盘体的温度，并将感应信号传递给控制中心，控制中心协同各部件实现冷热一体式加热盘的加热和冷却过程。本实用新型的冷热一体式加热盘同时实现快速升温和快速降温的效果。
【IPC分类】G03F7/16
【公开号】CN204925615
【申请号】CN201520491670
【发明人】赵波, 孙贻胜
【申请人】上海铠装仪表有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年7月9日