用于光阻过滤器预湿润的装置及光阻过滤器预湿润系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光阻供应设备技术领域，特别涉及一种用于光阻过滤器预湿润的装置及光阻过滤器预湿润系统。
【背景技术】
[0002]在半导体光刻设备维护中，更换光阻过滤器前需要对光阻过滤器进行预湿润。其目的是使用相应溶剂预先润湿光阻过滤器中的过滤膜，减小其表面张力，以减少在光阻过滤器更换后在光阻管路中产生的气泡，从而减少缺陷；同时也能减少光阻过滤器更换中光阻的用量，降低成本。
[0003]光阻过滤器具有三个接口，分别是用于输入预湿润溶剂或光阻的进口、用于排出预湿润溶剂或光阻的出口和用于排出气泡的排气口。在进口和出口间是过滤膜，其上分布着孔径可达数纳米的微孔。因为表面张力等作用，预湿润溶剂在渗透过滤膜的过程中容易产生大量微小的气泡，并附着在过滤膜上。因此，在预湿润过程中，需要使气泡脱离过滤膜并排出。
[0004]目前，对光阻过滤器进行预湿润的标准流程是:手动从进口注入预湿润溶剂，盖上进口，并不断敲击光阻过滤器，使气泡脱离过滤膜，上浮至液面，再打开进口注入预湿润溶剂，如此循环，直至观察到没有新的气泡出现为止。另外，也有直接将光阻过滤器装入整个光阻供应系统，使用预湿润溶剂作为供应源，并利用光阻栗提供动力进行循环，慢慢排出气泡。
[0005]但是，按照上述标准流程，完成一个光阻过滤器的预湿润过程，大约需要30分钟，费时费力，而且，预湿润质量，即排除气泡的程度取决于操作人员的经验和熟练程度，实际中不能有效保证预湿润的质量。直接使用光阻供应系统，完成预湿润需要更长的时间，而且，占用一套供应系统，需要极高的成本。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型提供一种用于光阻过滤器预湿润的装置及光阻过滤器预湿润系统，解决现有技术中存在的上述问题。
[0007]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:
[0008]一种用于光阻过滤器预湿润的装置，其特征在于，包括用于安装光阻过滤器的第一支架，所述第一支架通过弹簧悬挂于振动器下方；还包括供液罐和排液罐，所述供液罐通过输液管与光阻过滤器的进口连接，所述排液罐通过输液管分别与光阻过滤器的出口和排气口连接。
[0009]本实用新型的有益效果是:将光阻过滤器安装在第一支架上，预湿润溶剂从供液罐通过输液管，经光阻过滤器的进口注入光阻过滤器，渗透光阻过滤器的过滤膜，并经光阻过滤器的出口和排气口，通过输液管排入排液罐；在注入过程中启动振动器，带动光阻过滤器震动，使预湿润溶剂渗透过滤膜过程中产生的气泡脱离过滤膜表面，上浮至液面，并经光阻过滤器的出口和排气口，通过输液管排入排液罐；观察一定时间内输液管中无气泡出现，则表示预湿润完成；采用振动器协助排出气泡，使整个预湿润过程方便快捷，预湿润质量可
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[0010]在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
[0011]进一步，所述第一支架上设置有分别与光阻过滤器的进口、出口和排气口相对应的进口连接件、出口连接件和排气口连接件；所述供液罐通过输液管连接所述进口连接件，实现与光阻过滤器的进口连接；所述排液罐通过输液管连接所述出口连接件，实现与光阻过滤器的出口连接；所述排液罐通过输液管连接所述排气口连接件，实现与光阻过滤器的排气口连接。
[0012]采用上述进一步方案的有益效果是，在第一支架上设置进口连接件、出口连接件和排气口连接件；输液管通过进口连接件、出口连接件和排气口连接件，分别实现连接光阻过滤器的进口、出口和排气口 ；在更换光阻过滤器时，只需将光阻过滤器安装于第一支架即可，无需用输液管重新连接光阻过滤器的各接口，操作方便、快捷。
[0013]进一步，所述供液罐的位置高于所述第一支架，所述供液罐的上端设置有补液口，所述供液罐的下端出口处设置有阀门，所述供液罐的容积大于100毫升。
[0014]采用上述进一步方案的有益效果是，利用重力作用，使供液罐中的预湿润溶剂自动流入光阻过滤器；补液口实现了无需拆卸装置，即可完成预湿润溶剂的添加，方便操作；阀门方便控制预湿润溶剂的流出。
[0015]进一步，所述排液罐的侧壁设置有排液口。
[0016]采用上述进一步方案的有益效果是，排液口实现了无需拆卸装置，即可完成预湿润溶剂的排出，方便操作。
[0017]进一步，所述振动器的结构为凸轴振动结构或电磁铁振动结构。
[0018]采用上述进一步方案的有益效果是，震动效果更适合气泡的排出。
[0019]进一步，所述振动器自带工作电源。
[0020]采用上述进一步方案的有益效果是，无需外接电源，方便使用。
[0021]进一步，所述输液管为ΡΕ材质。
[0022]采用上述进一步方案的有益效果是，ΡΕ材质质地轻柔，方便连接；且透光性好，便于观察输液管中是否存在气泡。
[0023]进一步，还包括用于固定安装所述供液罐、振动器和排液罐的第二支架。
[0024]进一步，所述第二支架包括用于固定安装所述排液罐的底板，及用于固定安装所述供液罐和振动器的背板；所述背板垂直固定于所述底板上。
[0025]采用上述进两步方案的有益效果是，方便供液罐、振动器和排液罐的固定安装，保证振动器的震动效果，进一步保证预湿润质量。
[0026]本实用新型的另一技术方案如下:
[0027]一种光阻过滤器预湿润系统，包括上述一种用于光阻过滤器预湿润的装置，和安装于所述第一支架上的光阻过滤器。
【附图说明】
[0028]图1为本实用新型一种用于光阻过滤器预湿润的装置的左视图；
[0029]图2为本实用新型一种用于光阻过滤器预湿润的装置的正视图；
[0030]图3为本实用新型一种用于光阻过滤器预湿润的装置的俯视图；
[0031]图4为本实用新型一种光阻过滤器预湿润系统的左