一种基于光学滤波器的可调光学接收子模块的制作方法

文档序号:10105532阅读:712来源:国知局
一种基于光学滤波器的可调光学接收子模块的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型属于光接收机制造领域,尤其涉及一种基于光学滤波器的可调光学接 收子模块。
【背景技术】
[0002] 可调光学接收子模块(T-ROSA)主要应用于下一代光通信网络TWDM-PON的ONU 中。作为可调接收机,T-ROSA可以使得TWDM-PON的ONU在接收到OLT的指令后,将自己的 接收波长调整到TWDM-PON下行链路所使用的四个波长中的任意一个。
[0003] 与传统的光学接收模块(ROSA)相比,T-ROSA最大的特点是在传统ROSA的基础上, 加入创新结构的可调光学滤波模块,以实现在TWDM-PON系统中,ONU使用下行链路的四个 波长中所需要的一个波长的功能。目前,用于T-ROSA的主要可调滤波技术包括角度调节法 布里-珀罗滤波器,液晶滤波器,热调节法布里-珀罗接收机等。
[0004] 以上所列举的技术大部分还处于试验阶段,并面临成本高、体积大、可靠性低等问 题。这些问题与接入网平滑低成本的演进要求不相符合。 【实用新型内容】
[0005] 本实用新型针对现有技术中的问题,提供一种基于光学滤波器的可调光学接收子 模块,具备了体积小、成本低、易于制造的优点。
[0006] 本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种基于光学滤波器的可 调光学接收子模块,它包括FP腔光学滤波器,所述FP腔光学滤波器为双FP腔结构,第一 谐振腔的上表面镀有第一光学薄膜(1),第一谐振腔的下表面镀有电阻薄膜,第二谐振腔的 上表面镀有第二光学薄膜(2),第二谐振腔的下表面镀有第三光学薄膜(3),第三光学薄膜 (3)和第一光学薄膜(1)通过光胶方式固定,电阻薄膜的镂空或掩膜空白处镀有第四光学 薄膜(4)。
[0007] 按上述技术方案,所述第三光学薄膜(3)和第一光学薄膜(1)可合并为一体,镀于 第一谐振腔的上表面或者第二谐振腔的下表面。
[0008] 按上述技术方案,所述电阻薄膜包括环形设置的薄膜加热电阻,薄膜加热电阻的 中部开有通光孔。
[0009] 按上述技术方案,它还包括壳体、透镜组和光电探测器;FP腔光学滤波器、透镜 组、光电探测器均设置在壳体的内部,所述透镜组用于将从FP腔光学滤波器出射的单波长 信号光聚焦,光电探测器用于接收聚焦后的单波长信号光并转换为电信号并输出。
[0010] 按上述技术方案,它还包括跨阻放大器,跨阻放大器设置在壳体的内部,光电探测 器的输出信号经跨阻放大器放大后输出。
[0011] 按上述技术方案,它还包括设置在FP腔光学滤波器前端的前置透镜组,前置透镜 组设置在壳体的内部。前置透镜组用于将外接光纤输入的多波长信号光准直并耦合进入FP 腔光学滤波器。
[0012] 按上述技术方案,所述FP腔光学滤波器的基底材料温度每增加1°C,FP腔光学滤 波器的输出频率增大8-12GHZ。
[0013] 本实用新型产生的有益效果是:体积小、成本低、制造简单。
【附图说明】
[0014] 下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明,附图中:
[0015] 图1是本实用新型实施例可调光学接收子模块的原理示意图;
[0016] 图2是本实用新型实施例接收光纤输入情况下可调光学接收子模块的原理示意 图;
[0017] 图3是本实用新型实施例FP腔光学滤波器的原理示意图;
[0018] 图4是本实用新型实施例中FP腔光学滤波器的频谱图;
[0019] 图5是本实用新型实施例中FP腔光学滤波器的四个信道的测量频谱图;
[0020] 图6是本实用新型实施例中双FP腔结构的FP腔光学滤波器的侧视图结构;
[0021] 图7是本实用新型实施例中FP腔光学滤波器的制作流程图;
[0022] 图8是本实用新型实施例中电阻薄膜的结构一;
[0023] 图9是本实用新型实施例中电阻薄膜的结构二。
【具体实施方式】
[0024] 为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施 例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本 实用新型,并不用于限定本实用新型。
[0025] 本实用新型实施例中,提供一种基于光学滤波器的可调光学接收子模块,它包括 FP腔光学滤波器,所述FP腔光学滤波器为双FP腔结构,第一谐振腔的上表面镀有第一光学 薄膜1,第一谐振腔的下表面镀有电阻薄膜,第二谐振腔的上表面镀有第二光学薄膜2,第 二谐振腔的下表面镀有第三光学薄膜3,第三光学薄膜3和第一光学薄膜1通过光胶方式固 定,电阻薄膜的镂空或掩膜空白处镀有第四光学薄膜4。如图6、图7所示,图6是本实用新 型实施例中双FP腔结构的FP腔光学滤波器的侧视图结构,图7是本实用新型实施例中FP 腔光学滤波器的制作流程图。双FP腔结构光学滤波器由硅基谐振腔和薄膜组成,两个FP 滤波器的峰值透射波长相近,以展宽透射谱的有效宽度,热调谐器为阻性薄膜,直接蒸镀于 其中一个FP腔的表面,其上再蒸镀构成滤波器的反射膜,两个FP滤波器通过光胶工艺可靠 连接为一体,带阻性加热薄膜的一面朝外,如图6所示。典型的制作流程为:利用光学研磨 工艺将谐振腔基材利用研磨、抛光工艺加工到所需厚度,将谐振腔基材切成A、B两片基片, A基片(作为第一谐振腔)切成小片,然后在小片上表面镀一定要求的高低折射率交替堆叠 的光学薄膜1,下表面利用掩膜法在设定的区域内镀电阻薄膜,然后在下表面上累计镀制光 学薄膜4 ;B基片(作为第二谐振腔)先在上表面镀一定参数要求的光学薄膜2,然后在下 表面镀光学薄膜3 ;最后将两基片通过光胶等方式固定到一起,由此便得到双FP腔结构光 学滤波器。特别地,双FP腔结构光学滤波器基材需要选择热光系数高、在目标波段透光效 率良好折射率高等特点的材料。对于TWDM PON的应用,典型的基材是硅。
[0026] 进一步地,所述第三光学薄膜3和第一光学薄膜1可合并为一体,镀于第一谐振腔 的上表面或者第二谐振腔的下表面。
[0027] 进一步地,所述电阻薄膜包括环形设置的薄膜加热电阻,薄膜加热电阻的中部开 有通光孔。如图8、图9所示,分别为电阻薄膜的第一种可行结构和电阻薄膜的第二种可行 结构。
[0028] 本实用新型实施例可调光学接收子模块中,还包括壳体、透镜组和光电探测器;FP 腔光学滤波器、透镜组、光电探测器均设置在壳体的内部,所述透镜组用于将从FP腔光学 滤波器出射的单波长信号光聚焦,光电探测器用于接收聚焦后的单波长信号光并转换为电 信号并输出。当输入多波长信号光通过自由空间耦合进入可调光学接收子模块时,采用上 述的结构,如图1所示,其中光电探测器可以使用雪崩光电二极管。
[0029] 可调光学接收子模块的滤波原理如下,如图3所示,FP腔光学滤波器由折射率为η 的基底材料在两个相对的端面镀上反射系数为R的膜层构成。当光从FP腔光学滤波器的 一个端面入射时,由于镀膜层的反射系数较高,光将在FP腔光学滤波器内部多次反射,在 另一个镀膜的端面上有多束光经折射输出。根据光的干涉理论,两束光相干叠加时,两束光
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