本实用新型的技术方案，通过在两排立柱202相对的一侧设置夹槽301，使支撑架302能够沿水平方向插入两排夹槽301内，使用户在存取基板时，只需要移动支撑架302SP可，从而省时省时，提高了工作效率。
[0033]图3为本实用新型的基板暂存设备的实施例二的主视图，本实施例的基板暂存设备在上述实施例一的基础上，进一步更加详细地介绍本实用新型的技术方案。如图3、图4所示，本实施例的基板暂存设备，具体可以包括:
[0034]为使支撑架302能够与立柱202可拆卸地连接，需要将支撑架302设置成能够与两排夹槽301相配合的结构，在本实施例中，支撑架302包括支撑部3021以及连接臂3022;连接臂3022与支撑部3021连接，且分别延伸至支撑部3021的两侧，并能够分别插入对应一侧的夹槽301内。
[0035]具体地，本实施例中的支撑部3021用于支撑基板，连接臂3022用于将支撑架302与立柱202进行连接，由于夹槽301为两排，所以连接臂3022需要延伸至支撑部3021的两侧，以与两排夹槽301相配合，来支撑住支撑部3021。
[0036]由于在生产过程中，需要对基板进行加热，基板温度比较高，基板表面热量不均匀，容易造成基板膨胀，产生裂纹，而且对于涂有光刻胶的基板，基板冷却均匀将使光刻胶固化更加均匀。因此，在本实施例中，承载单元30还包括多个第一支撑件303，多个第一支撑件303均匀分布在支撑部3021朝上的一面。这样，可以避免基板与承载单元30贴合过于紧密，以增强通风的效果，利于基板散热，以及利于基板上的光刻胶的固化。
[0037]由于在支撑部3021位于承载单元30的中间位置，或者说第一支撑件303也设置于整个承载单元30的中间位置，这样导致第一支撑件303对于基板的支撑力集中于基板的中间位置，进而容易造成基板受力不均匀，产生断裂。本实施例中的承载单元30还包括多个第二支撑件304，多个第二支撑件304均设置在两排立柱202相对的一侧，且第二支撑件304的上表面与第一支撑件303的上表面处于同一水平面。这样使得第二支撑件304对基板的边缘进行支撑，使基板受力更加均匀。
[0038]在存放基板时，基板沿水平方向移动，基板与第二支撑件304表面发生摩擦力，不但阻碍基板的水平移动，而且还容易刮坏基板表面，因此，本实施例的第二支撑件304包括固定件和滚珠，固定件与立柱202固定连接，滚珠嵌套于固定件中，且能够围绕球心自由滚动。
[0039]在本实用新型的其中一个实施例中，如图4所示，连接臂3022可以为U形，U形的两端延伸至支撑部3021的两侧。
[0040]具体地，连接臂3022的形状为U形，根据U形结构的特性，其两端向一个方向延伸，这样连接臂3022只需要设置一个，以简化支撑架302的结构。
[0041]进一步地，支撑部3021包括多根支撑臂，多根支撑臂固定于U形的开口内，平行于U形的两端，且多根支撑臂间隔均匀。
[0042]具体地，支撑臂固定于U形结构的开口内，使支撑部3021呈一体结构，能够整体移动；多个支撑臂平行于U形结构的两端，且多根支撑臂间隔均匀，以实现对基板的支撑力较为均匀，防止基板受力不均而断裂。
[0043]在本实用新型的其中一个实施例中，连接臂3022可以为N形，N形的两端延伸至支撑部3021的两侧。
[0044]具体地，连接臂3022还可以设置为N形。在本实用新型的其他实施例中，只要连接臂3022的形状能够插入两侧夹槽301，并且同时能够连接多支撑臂的结构均可实现本实用新型的发明目的，例如连接臂3022为H型，或者支撑臂为圆形，连接臂3022为T形，且数目为2。
[0045]进一步地，支撑部3021包括多根支撑臂，多根支撑臂固定于N形的中间一段，多根支撑臂相平行，且多根支撑臂间隔均匀。
[0046]具体地，第一支撑件303具体设置于支撑臂上。该多根支撑臂相平行，且间隔均匀，以使固定于其上的第一支撑件303支撑基板的力较为均匀，防止基板断裂。
[0047]由于支撑架302插入夹槽301中时，连接臂3022的上下表面与夹槽301开口处的表面相接触，产生阻碍连接臂3022插入的摩擦力，为减小摩擦力，在本实用新型的其中一个实施例中，夹槽301内设置有滑轮，滑轮的轴向沿水平方向延伸，且与两排立柱202的排列方向相垂直。当连接臂3022插入夹槽301时与滑轮相接触，随着支撑架302的在水平方向的移动，与支撑架302相接触的滑轮进行滚动，以减小摩擦力，提高了生产效率。
[0048]最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
【主权项】
1.一种基板暂存设备，其特征在于，包括支架以及多个承载单元； 所述支架包括底座以及两排立柱，两排所述立柱相互平行，且每排所述立柱均与所述底座垂直固定连接， 多个所述承载单元沿竖直方向分布，每个所述承载单元均包含两排夹槽以及一个支撑架，两排所述夹槽相对设置，且均沿水平方向延伸，每排所述夹槽分别固定设置于其中一排所述立柱上，所述支撑架沿水平方向固定于所述夹槽内。2.根据权利要求1所述的基板暂存设备，其特征在于，所述支撑架包括支撑部以及连接臂； 所述连接臂与所述支撑部连接，且分别延伸至所述支撑部的两侧，并分别插入对应一侧的所述夹槽内。3.根据权利要求2所述的基板暂存设备，其特征在于，所述承载单元还包括多个第一支撑件，多个所述第一支撑件均匀分布在所述支撑部朝上的一面。4.根据权利要求3所述的基板暂存设备，其特征在于，所述承载单元还包括多个第二支撑件，多个所述第二支撑件均设置在所述立柱相对的一侧，且所述第二支撑件的上表面与所述第一支撑件的上表面处于同一水平面。5.根据权利要求4所述的基板暂存设备，其特征在于，所述第二支撑件包括固定件和滚珠，所述固定件与所述立柱固定连接，所述滚珠嵌套于所述固定件中，且围绕球心自由滚动。6.根据权利要求2所述的基板暂存设备，其特征在于， 所述连接臂为U形，所述U形的两端延伸至所述支撑部的两侧。7.根据权利要求6所述的基板暂存设备，其特征在于，所述支撑部包括多根支撑臂，多根所述支撑臂固定于所述U形的开口内，平行于所述U形的两端。8.根据权利要求2所述的基板暂存设备，其特征在于，所述连接臂为N形，所述N形的两端延伸至所述支撑部的两侧。9.根据权利要求8所述的基板暂存设备，其特征在于，所述支撑部包括多根支撑臂，多根所述支撑臂固定于所述N形的中间一段。10.根据权利要求1-9任一所述的基板暂存设备，其特征在于，所述夹槽内设置有滑轮，所述滑轮的轴向沿水平方向延伸，且与两排立柱的排列方向相垂直。
【专利摘要】本实用新型提供了一种基板暂存设备，包括支架以及多个承载单元，所述支架包括底座以及两排立柱，两排所述立柱相互平行，且每排所述立柱均与所述底座垂直固定连接，多个所述承载单元沿竖直方向分布，每个所述承载单元均包含两排夹槽以及一个支撑架，两排所述夹槽相对设置，且均沿水平方向延伸，每排所述夹槽分别固定设置于其中一排所述立柱上，所述支撑架能够沿水平方向插入两排所述夹槽内。本实用新型的技术方案，通过在两排立柱相对的一侧设置夹槽，使支撑架能够沿水平方向插入两排夹槽内，使用户在存取基板时，只需要移动支撑架即可，从而省力省时，提高了工作效率。
【IPC分类】G03F7/20, G02F1/13
【公开号】CN205353504
【申请号】CN201620065638
【发明人】李鹏
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2016年1月22日