一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片的制作方法

文档序号:10462422阅读:531来源:国知局
一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种带通滤光片,特别涉及一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片。
【背景技术】
[0002]带通滤光片是一种对某一波段具有高的透射率,而对其两端的波段高度截止的滤光片。中红外带通滤光片是在中红外波长范围内,在中心波长有较高的透过率,而在其余波段截止。其主要应用在红外光谱探测系统,在航天领域有非常重要的应用。随着空间红外技术的发展,对红外带通滤光片的波形要求也越来越高,需要能够有效滤除背景杂散信号,提高探测系统的信噪比。另外,除了对滤光片光学特性的高要求,在空间技术领域对红外滤光片膜层可靠性也有极高的要求,目前可供选择的红外滤光片膜层材料品种很少,在制备时仍有很大的难度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型为克服现有技术的不足,提供一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片。
[0004]为达到上述目的,本实用新型采用如下的技术方案:
[0005]—种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片,包括正面膜系、基片和背面膜系,所述正面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共26层;所述背面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共40层。
[0006]进一步的,所述基片为锗基片,所述基片厚度为0.3mm。
[0007]相对现有技术,本实用新型的有益效果为:
[0008]本实用新型中的红外带通滤光片,在工作波段3.9-5.5微米内有高的透过率,而在其它波段高度截止。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型一实施例所述的一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片的结构示意图;
[0010]图2为本实用新型一实施例所述的正面膜系透过率曲线图;
[0011]图3为本实用新型一实施例所述的反面膜系透过率曲线图;
[0012]图4为本实用新型一实施例所述的工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片的透过率曲线透过率曲线图。
[0013]附图标记
[0014]1-正面膜系;2-基片;3-背面膜系。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0016]参阅图1,一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片,包括正面膜系1、基片2和背面膜系3,所述正面膜系I由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共26层;所述背面膜系3由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共40层。
[0017]所述基片2为锗基片,所述基片2厚度为0.3mm。所述锗基片两面抛光,两个面上分别镀制正面膜系和反面膜系。
[0018]作为本实用新型的一实施例,正面膜系I为5.5微米后截止膜系:λ = 6.2μπι,Η代表厚度为λο/4的锗膜层,L代表厚度为λο/4的ZnS膜层。
[0019]其中正面膜系I的主要构成如下:
[0020]0.2Η 0.095L 0.25Η 1.134L 1.063Η 1.003L 0.988Η 0.976L 0.972H0.967L
0.97Η 0.963L 0.971Η 0.962L 0.974Η 0.966L 0.979Η 0.973L0.987H 0.986L 1.002Η1.007L 1.038Η 1.057L 1.097Η 0.55L
[0021]正面膜系I透过率曲线如图2所示。
[0022]反面膜系3为3.9微米前截止膜系,λ= 2.884μm,H代表厚度为λQ/4的锗膜层,L为代表厚度为λο/4的ZnS膜层。
[0023]反面膜系3的主要构成如下:
[0024]0.2Η 0.416L 1.004Η 0.985L 1.02Η 0.933L 0.986Η 1.231L 1.025H0.852L1.287Η 0.96L 1.192Η 0.806L 1.169Η 0.762L 0.571Η 0.501L0.906H 0.832L 0.985Η
0.778L 0.681Η 0.392L 0.953Η 0.838L 0.641H0.71L 0.449Η 0.552L 0.867Η 0.141L
0.579Η 0.823L 0.61Η 0.812L0.51H 0.257L 1.683Η 1.609L
[0025]反面膜系3透过率曲线如图3所述。
[0026]当正面膜系和反面膜系镀于基板上时,最终得到的中红外带通滤光片的透过率曲线如图4所示。
[0027]该滤光片在可见光-3.5μπι,绝对透过率<1.0%;
[0028]在3.6-3.7μπι范围内,透过率<5.0%;
[0029]在3.85-3.954111和在5.5-5.64111范围内,透过率=50%;
[0030]在4.05-5.2μπι范围内,绝对透过率2 90 % ;
[0031]在5.3口111处,透过率280%;
[0032]在5.7-6μπι范围内,透过率<5.0%。
[0033]本专利中的红外带通滤光片,在工作波段3.9-5.5μπι内有高的透过率,而在其它波段高度截止。
[0034]尽管本实用新型的实施方案已公开如上,但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
【主权项】
1.一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片,其特征在于包括正面膜系、基片和背面膜系,所述正面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共26层;所述背面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共40层。2.根据权利要求1所述工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片,其特征在于所述基片为错基片,所述基片厚度为0.3 mm。
【专利摘要】本实用新型公开了一种工作波段为3900-5500nm的中红外带通滤光片,包括正面膜系、基片和背面膜系,所述正面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共26层;所述背面膜系由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共40层。本实用新型中的红外带通滤光片,在工作波段3.9-5.5微米内有高的透过率,而在其它波段高度截止。
【IPC分类】G02B5/20
【公开号】CN205374789
【申请号】CN201620081799
【发明人】周东平
【申请人】苏州晶鼎鑫光电科技有限公司
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2016年1月28日
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