无掩膜阻焊曝光机的制作方法

文档序号:10855447阅读:1029来源:国知局
无掩膜阻焊曝光机的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种无掩膜阻焊曝光机,包括至少一组激光器Ⅰ(11)和激光器Ⅱ(12),以及光束会聚器(2);所述激光器Ⅰ(11)置于光束会聚器(2)上方,所述激光器Ⅱ(12)置于光束会聚器(2)前方;所述光束会聚器(2)后方依次设有凸透镜Ⅰ(3)、凸透镜Ⅱ(4)、反射镜(5)和可旋转单像素成像单元(6);所述可旋转单像素成像单元(6)正下方设置基板(7)。本无掩膜阻焊曝光机取消了掩膜曝光的方式,取而代之的是扫描式无掩膜曝光。本无掩膜阻焊曝光机在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
【专利说明】
无掩膜阻焊曝光机
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种曝光机,具体是一种无掩膜阻焊曝光机。
【背景技术】
[0002]在现有技术中,为了在阻焊基板上曝光图形,一直以来是制作成为图形底板的菲林,通过使用该菲林的曝光装置来曝光基板。
[0003]但是,在基板尺寸逐渐增大的同时,基板的设计、制作要求的时间逐渐变短。而且,基板种类多、多品种数量少,制作菲林导致成本提高及交货延期。
【实用新型内容】
[0004]针对上述现有技术存在的问题,本实用新型提供一种无掩膜阻焊曝光机,取消了掩膜曝光的方式,取而代之的是扫描式无掩膜曝光。本无掩膜阻焊曝光机在节约成本的同时大幅度提尚曝光效率。
[0005]为了实现上述目的,本无掩膜阻焊曝光机包括至少一组激光器I和激光器Π,以及光束会聚器;
[0006]所述激光器I置于光束会聚器上方,所述激光器Π置于光束会聚器前方;
[0007]所述光束会聚器后方依次设有凸透镜1、凸透镜Π、反射镜和可旋转单像素成像单元;
[0008]所述可旋转单像素成像单元正下方设置基板。
[0009]进一步,所述激光器I为405nm半导体激光器,所述激光器Π为365nm或低于400nm的半导体激光器。
[0010]与现有技术相比,本无掩膜阻焊曝光机取消了掩膜曝光的方式,取而代之的是扫描式无掩膜曝光。本无掩膜阻焊曝光机在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的主体结构示意图;
[0012]图中:11、激光器1,12、激光器11,2、光束会聚器,3、凸透镜1,4、凸透镜Π,5、反射镜,6、可旋转单像素成像单元,7、基板。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
[0014]如图1所示,本无掩膜阻焊曝光机包括至少一组激光器Ill和激光器Π 12,以及光束会聚器2;
[0015]所述激光器111置于光束会聚器2上方,所述激光器Π 12置于光束会聚器2前方;
[0016]所述光束会聚器2后方依次设有凸透镜13、凸透镜Π4、反射镜5和可旋转单像素成像单元6 ;
[0017]所述可旋转单像素成像单元6正下方设置基板7。
[0018]光束会聚器2可以把不同波长的激光会聚到一起并以平行光的方式出射。
[0019]凸透镜13和凸透镜Π4可以把混合的激光光束以10um甚至更细的光束直径出射,且出射光为平行光。
[0020]反射镜5对紫外光全反,且能够把直径10um的光束反射到可旋转单像素成像单元6上。
[0021]可旋转单像素成像单元6由软件控制其翻转,将直径为10um的光束以扫描的方式在基板7上曝光。
[0022]进一步,所述激光器Ill为405nm高功率半导体激光器,所述激光器Π 12为365nm或低于400nm的高功率半导体激光器。
[0023]本无掩膜阻焊曝光机的工作原理如下:
[0024]将405nm半导体激光器Ill和365nm半导体激光器Π 12经光束会聚器2会聚,并以平行光的方式出射,通过凸透镜13和凸透镜Π4的作用,将光束整形为直径仅为10um甚至更细的光束,由反射镜5反射至可旋转单像素成像单元6上,通过软件控制其翻转,以扫描的方式在基板7上曝光,以紫外固化的方式,形成所需图形。
[0025]综上所述,本无掩膜阻焊曝光机取消了掩膜曝光的方式,取而代之的是扫描式无掩膜曝光。本无掩膜阻焊曝光机在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。
【主权项】
1.一种无掩膜阻焊曝光机,其特征在于, 包括至少一组激光器I (11)和激光器Π (12),以及光束会聚器(2); 所述激光器I(Il)置于光束会聚器(2)上方,所述激光器Π (12)置于光束会聚器(2)前方; 所述光束会聚器(2)后方依次设有凸透镜1(3)、凸透镜Π (4)、反射镜(5)和可旋转单像素成像单元(6); 所述可旋转单像素成像单元(6)正下方设置基板(7)。2.根据权利要求1所述的一种无掩膜阻焊曝光机,其特征在于, 所述激光器I (11)为405nm半导体激光器,所述激光器Π (12)为365nm或低于400nm的半导体激光器。
【文档编号】G03F7/20GK205539931SQ201620208338
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月18日
【发明人】平洁
【申请人】江苏影速光电技术有限公司
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