一种新型结构的滤光片的制作方法

文档序号:10877400阅读:435来源:国知局
一种新型结构的滤光片的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型结构的滤光片,包括由熔融石英玻璃制成的透光基片,在所述透光基片的上表面的一侧设有第一镀膜区,另一侧设有第二镀膜区,在所述第一镀膜区上镀制有红外截止光膜,在所述第二镀膜区上镀制有全透光谱滤光膜,所述红外截止光膜的厚度为3500nm,所述全透光谱滤光膜由依次镀制的三层薄膜层叠组成,第一层薄膜厚度为1200nm,第二层薄膜厚度为1300nm,第三层薄膜的厚度为1000nm,所述第一、二、三层薄膜均为由五氧化二钽和二氧化硅两种不同折射率材料交替镀膜组成的全介质薄膜层。本实用新型能同时实现在三峰值工作,同时能够测量三组特征光谱信号,具有更加广泛的工作范围和更高的集成度、耐冲击和抗震效果好。
【专利说明】
一种新型结构的滤光片
技术领域
[0001]本实用新型涉及滤光片技术领域,特别涉及到一种新型结构的滤光片。
【背景技术】
[0002]目前很多光电仪器设备采用光学滤光片作为采集信号的单色器,每次能够检测一个样品特性项目,如果检测其他项目则需要更换相应的滤光片。往往需要备置多组附件或者需要时间来更换新项目需要的滤光片组。不利于设备向便携式,小型化发展。多峰值滤光片能够同时检测多组特定光谱信号,与单一的带通或者窄带光学滤光片比较,具有更多检测通道,同时能够测量多组特征光谱信号。
[0003]然而针对现有技术的不足,研发者有必要研制一种能同时实现在四峰值工作,同时能够测量四组特征光谱信号,具有更加广泛的工作范围和更高的集成度、耐冲击和抗震效果好的新型结构的滤光片。
【实用新型内容】
[0004]为解决现有技术存在的问题,本实用新型提供了一种能同时实现在三峰值工作,同时能够测量三组特征光谱信号,具有更加广泛的工作范围和更高的集成度、耐冲击和抗震效果好的新型结构的滤光片。
[0005]为解决以上技术问题,本实用新型采用以下技术方案来实现:
[0006]—种新型结构的滤光片,其特征在于,包括由熔融石英玻璃制成的透光基片,在所述透光基片的上表面的一侧设有第一镀膜区,另一侧设有第二镀膜区,在所述第一镀膜区上镀制有红外截止光膜,在所述第二镀膜区上镀制有全透光谱滤光膜,所述红外截止光膜的厚度为3500nm,所述全透光谱滤光膜由依次镀制的三层薄膜层叠组成,第一层薄膜厚度为1200nm,第二层薄膜厚度为1300nm,第三层薄膜的厚度为lOOOnm,所述第一、二、三层薄膜均为由五氧化二钽和二氧化硅两种不同折射率材料交替镀膜组成的全介质薄膜层。
[0007]与现有技术相比,本实用新型在透光基片的上表面的一侧设有第一镀膜区,另一侧设有第二镀膜区,并且在第一镀膜区上设有红外截止光膜,在第二镀膜区上镀制有全透光谱滤光膜,解决了双滤光片中双片厚度控制的问题,耐冲击和抗震效果好,全透光谱滤光膜由依次镀制的三层薄膜层叠组成,能同时实现在三峰值工作,同时能够测量三组特征光谱信号,具有更加广泛的工作范围和更高的集成度的新型结构的滤光片。
【附图说明】
[0008]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
[0010]图2为本实用新型的截面示意图。
【具体实施方式】
[0011]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
[0012]参照图1和图2所示,图中给出的一种新型结构的滤光片,包括由熔融石英玻璃制成的透光基片100,
[0013]在透光基片100的一侧表面的一侧设有第一镀膜区110,另一侧设有第二镀膜区120,在第一镀膜区110上镀制有红外截止光膜210,在第二镀膜区120上镀制有全透光谱滤光膜220,红外截止光膜220的厚度为3500nm,解决了双滤光片中双片厚度控制的问题,耐冲击和抗震效果好。
[0014]全透光谱滤光膜220由依次镀制的三层薄膜层叠组成,第一层薄膜223厚度为1200nm,第二层薄膜222厚度为1300nm,第三层薄膜223的厚度为lOOOnm,第一、二、三层薄膜均为由五氧化二钽和二氧化硅两种不同折射率材料交替镀膜组成的全介质薄膜层,能同时实现在三峰值工作,同时能够测量三组特征光谱信号,具有更加广泛的工作范围和更高的集成度的新型结构的滤光片。
[0015]综上所述本实用新型在透光基片的上表面的一侧设有第一镀膜区,另一侧设有第二镀膜区,并且在第一镀膜区上设有红外截止光膜,在第二镀膜区上镀制有全透光谱滤光膜,解决了双滤光片中双片厚度控制的问题,耐冲击和抗震效果好,全透光谱滤光膜由依次镀制的三层薄膜层叠组成,能同时实现在三峰值工作,同时能够测量三组特征光谱信号,具有更加广泛的工作范围和更高的集成度的新型结构的滤光片。
[0016]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【主权项】
1.一种新型结构的滤光片,其特征在于,包括由熔融石英玻璃制成的透光基片,在所述透光基片的上表面的一侧设有第一镀膜区,另一侧设有第二镀膜区,在所述第一镀膜区上镀制有红外截止光膜,在所述第二镀膜区上镀制有全透光谱滤光膜,所述红外截止光膜的厚度为3500nm,所述全透光谱滤光膜由依次镀制的三层薄膜层叠组成,第一层薄膜厚度为1200nm,第二层薄膜厚度为1300nm,第三层薄膜的厚度为I OOOnm,所述第一、二、三层薄膜均为由五氧化二钽和二氧化硅两种不同折射率材料交替镀膜组成的全介质薄膜层。
【文档编号】G02B5/20GK205562858SQ201521140332
【公开日】2016年9月7日
【申请日】2015年12月31日
【发明人】沈新良, 陈旭华, 陈晓团
【申请人】美德瑞光电科技(上海)有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1