一种紫外带通滤光片的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种紫外带通滤光片，包括基板和膜层，膜层包括依次交替沉积于基板上的高折射率膜层和低折射率膜层，膜层的顶端为高折射率膜层；高折射率膜层的层数X为16≤X≤20，低折射率膜层的层数比高折射率膜层少一层；高折射率膜层为TiO2层或Ta2O5层，低折射率膜层为SiO2层。膜层中设有化学试剂滤层，化学试剂滤层设置在高折射率膜层和在该高折射率膜层上方的低折射率膜层之间。基板为玻璃，基板另一侧设有薄银膜层。采用这样的结构后，紫外带通滤光片厚度小，占用空间小，光的透过率高，透过率可达到94%以上，且其环境稳定性好。
【专利说明】
一种紫外带通滤光片
技术领域
[0001]本实用新型涉及光学薄膜领域，尤其涉及一种紫外带通滤光片。
【背景技术】
[0002]近年来紫外光学发展迅速，随着高灵敏度紫外探测器件研制取得的突破，对紫外波段的研究日益广泛，紫外探测技术已朝着多波段、全方位的方向发展，可应用于军事、医疗、环境监测、空间天文、工业生产等众多领域。在光学薄膜领域，紫外带通滤光片是紫外光学仪器的一种重要的光学元件，而其中的窄带滤光片的主要作用是对光进行光谱选择，使需要的光通过，不需要的波长的光则被截止。目前，这种滤光片已经应用于科研、生产、军事、国防等各个领域中。
[0003]但是由于紫外材料的本征吸收，实现高的透过率对于紫外通带滤光片来说具有相当高的难度。目前，为了提高该滤光片的透过率，使得其工作波长足够准确，大多都是在现有滤光片的基础上增加膜层厚度，其中，高折射率膜层及低折射率膜层叠加后的层数甚至达到180?250层，这样的设计不仅占用的空间大，而且其透过率仍未能达到所期盼的效果，除此之外，该滤光片的环境稳定性差，在一定程度上限制了该滤光片的使用或推广。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题是设计一种厚度小、占用空间小、透过率高且环境稳定性好的紫外带通滤光片，解决现有技术存在的占用空间大、透过率低等技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本实用新型的紫外带通滤光片包括基板和膜层，所述膜层包括依次交替沉积于所述基板上的高折射率膜层和低折射率膜层，所述膜层的顶端为高折射率膜层;高折射率膜层和低折射率膜层依次交替的设计不仅大大减小了所述紫外带通滤光片占用的空间，而且还实现了不同波长的光的选择性通过。所述高折射率膜层的层数X为16彡X < 20，高折射率膜层2的层数X的取值可以是16、17、18、19或20，所述低折射率膜层3的层数比高折射率膜层2少一层，低折射率膜层3的层数为15、16、17、18或19;所述高折射率膜层为T i02层或Ta205层，所述低折射率膜层为Si02层。
[0006]进一步的，所述膜层中设有化学试剂滤层，所述化学试剂滤层设置在高折射率膜层和在该高折射率膜层上方的低折射率膜层之间。化学试剂滤层大大增加了紫外带通滤光片的截止深度，保证了其工作波长足够准确，从而提高了紫外带通滤光片的透过率，也改善了紫外带通滤光片的环境稳定性。
[0007]进一步的，所述化学试剂滤层设置在所述膜层的第m个高折射率膜层和在该高折射率膜层上方的低折射率膜层之间，所述m为的取值可以是6、7、8或9，以进一步增强紫外带通滤光片的截止深度。
[0008]进一步的，所述基板为玻璃。
[0009]进一步的，所述基板的厚度为0.12?0.24mm。
[0010]进一步的，所述基板另一侧设有薄银膜层，置薄银膜层可以将波长低于250nm的紫外光滤掉，允许波长为255?1265nm的光线通过，大大增强了紫外带通滤光片的滤光效果和透过率。
[0011]进一步的，所述薄银膜层的厚度为70nm或者llOnm，可大大增强紫外带通滤光片的滤光效果。
[0012]本实用新型的有益效果:采用这样的结构后，紫外带通滤光片厚度小，占用空间小，光的透过率高，透过率可达到94%以上，且其环境稳定性好。
【附图说明】
[0013]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做进一步阐明。
[0014]图1为本实用新型的紫外带通滤光片的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]实施例1
[0016]结合图1，本实施例的紫外带通滤光片包括基板I和膜层，所述膜层包括依次交替沉积于所述基板I上的高折射率膜层2和低折射率膜层3，所述膜层的顶端为高折射率膜层2;高折射率膜层2和低折射率膜层3依次交替的设计不仅大大减小了所述紫外带通滤光片占用的空间，而且还实现了不同波长的光的选择性通过。所述高折射率膜层2的层数X为16<X<20，高折射率膜层2的层数X的取值可以是16、17、18、19或20，所述低折射率膜层3的层数比高折射率膜层2少一层，低折射率膜层3的层数为15、16、17、18或19;所述高折射率膜层2为T12层或Ta2O5层，所述低折射率膜层3为S12层。
[0017]进一步的，所述膜层中设有化学试剂滤层4，所述化学试剂滤层4设置在高折射率膜层2和在该高折射率膜层2上方的低折射率膜层3之间。化学试剂滤层4大大增加了紫外带通滤光片的截止深度，保证了其工作波长足够准确，从而提高了紫外带通滤光片的透过率，也改善了紫外带通滤光片的环境稳定性。
[0018]进一步的，所述化学试剂滤层4设置在所述膜层的第m个高折射率膜层2和在该高折射率膜层2上方的低折射率膜层3之间，所述m为的取值可以是6、7、8或9，以进一步增强紫外带通滤光片的截止深度。
[0019]进一步的，所述基板I为玻璃。
[0020]进一步的，所述基板I的厚度为0.12?0.24mm。本实施例优选的，基板I的厚度为0.16mm0
[0021]进一步的，所述基板I另一侧设有薄银膜层5，置薄银膜层5可以将波长低于250nm的紫外光滤掉，允许波长为255?1265nm的光线通过，大大增强了紫外带通滤光片的滤光效果和透过率。
[0022]进一步的，所述薄银膜层5的厚度为llOnm，可大大增强紫外带通滤光片的滤光效果O
[0023]本实施例的紫外带通滤光片厚度小，占用空间小，光的透过率高，透过率可达到94%以上，且其环境稳定性好。
[0024]实施例2
[0025]结合图1，本实施例的紫外带通滤光片包括基板I和膜层，所述膜层包括依次交替沉积于所述基板I上的高折射率膜层2和低折射率膜层3，所述膜层的顶端为高折射率膜层2;高折射率膜层2和低折射率膜层3依次交替的设计不仅大大减小了所述紫外带通滤光片占用的空间，而且还实现了不同波长的光的选择性通过。所述高折射率膜层2的层数X为16<X<20，高折射率膜层2的层数X的取值可以是16、17、18、19或20，所述低折射率膜层3的层数比高折射率膜层2少一层，低折射率膜层3的层数为15、16、17、18或19;所述高折射率膜层2为T12层或Ta2O5层，所述低折射率膜层3为S12层。
[0026]进一步的，所述膜层中设有化学试剂滤层4，所述化学试剂滤层4设置在高折射率膜层2和在该高折射率膜层2上方的低折射率膜层3之间。化学试剂滤层4大大增加了紫外带通滤光片的截止深度，保证了其工作波长足够准确，从而提高了紫外带通滤光片的透过率，也改善了紫外带通滤光片的环境稳定性。
[0027]进一步的，所述化学试剂滤层4设置在所述膜层的第m个高折射率膜层2和在该高折射率膜层2上方的低折射率膜层3之间，所述m为的取值可以是6、7、8或9，以进一步增强紫外带通滤光片的截止深度。
[0028]进一步的，所述基板I为玻璃。
[0029]进一步的，所述基板I的厚度为0.12?0.24mm。本实施例优选的，基板I的厚度为0.16mm0
[0030]进一步的，所述基板I另一侧设有薄银膜层5，置薄银膜层5可以将波长低于250nm的紫外光滤掉，允许波长为255?1265nm的光线通过，大大增强了紫外带通滤光片的滤光效果和透过率。
[0031]进一步的，所述薄银膜层5的厚度为70nm，可大大增强紫外带通滤光片的滤光效果。本实施例与实施例1相比，70nm厚的薄银膜层5增强紫外带通滤光片的滤光效果更加明显，透光率也更佳。
[0032]本实施例的紫外带通滤光片厚度小，占用空间小，光的透过率高，透过率可达到96%以上，且其环境稳定性好。
[0033]在以上的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是以上描述仅是本实用新型的较佳实施例而已，本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，因此本实用新型不受上面公开的具体实施的限制。同时任何熟悉本领域技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
【主权项】
1.一种紫外带通滤光片，其特征在于，包括基板(I)和膜层，所述膜层包括依次交替沉积于所述基板(I)上的高折射率膜层(2)和低折射率膜层(3)，所述膜层的顶端为高折射率膜层(2);所述高折射率膜层(2)的层数X为16<X<20，所述低折射率膜层(3)的层数比高折射率膜层(2)少一层;所述高折射率膜层(2)为T12层或Ta2O5层，所述低折射率膜层(3)为S12 层。2.根据权利要求1所述的紫外带通滤光片，其特征在于:所述膜层中设有化学试剂滤层(4)，所述化学试剂滤层(4)设置在高折射率膜层(2)和在该高折射率膜层(2)上方的低折射率膜层(3)之间。3.根据权利要求2所述的紫外带通滤光片，其特征在于:所述化学试剂滤层(4)设置在所述膜层的第m个高折射率膜层(2)和在该高折射率膜层(2)上方的低折射率膜层(3)之间，所述m为6<m<9。4.根据权利要求1所述的紫外带通滤光片，其特征在于:所述基板(I)为玻璃。5.根据权利要求4所述的紫外带通滤光片，其特征在于:所述基板(I)的厚度为0.12?0.24mmo6.根据权利要求1-5中任一项所述的紫外带通滤光片，其特征在于:所述基板(I)另一侧设有薄银膜层(5)。7.根据权利要求6所述的紫外带通滤光片，其特征在于:所述薄银膜层(5)的厚度为70nm 或I1nm0
【文档编号】G02B5/20GK205620568SQ201620332105
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2016年4月20日
【发明人】施志玉
【申请人】南京顺泰电气有限公司