专利名称：一种用于霍尔离子源的电源的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于光学辅助镀膜的霍尔离子源的电源。
背景技术：
霍尔离子源的电源一般包括阴极电源和阳极电源，其中，阴极电源在使用时分为接地和不接地两种情况，申请号为CN88102716.2的发明公开了一种“经改进的离子源”，在离子源中含有“一个壳体以形成一个室；用以溅蚀壳体内阴极的部件；用以在阴极和壳体之间建立电场的部件；用来把直流电压跨接到阴极相对的两端以便在那里感生加热电流的部件；以及用来把可电离的气体源供应到上述室中去的部件，该离子源的特征在于在紧靠着上述阴极、邻近它的一端有第一个电极；有把上述第一个电极与上述阴极及上述壳体在电学上绝缘开来的部件；紧靠着上述阴极、邻近其相反的一端有第二个电极；有把上述第二个电极与上述阴极及上述壳体在电学上绝缘开来的部件；以及用来把电位加到上述第一个和第二个电极上的偏置部件”。然而，上述离子源的阴极电源采用了不接地的方法，因此阳极电压并不能反映等离子流真实的能量状态。
通常霍尔离子源的电源一般包括一个交流阴极电源和一个直流阳极电源，具有阳极电压表、阳极电流表、阴极电压表、阴极电流表。当给定阳极电压后，如果阳极电流较小，放电区电阻就比较大，霍尔电流效应弱，离子流能量低，辅助镀膜效果差，但阳极电流大到多少霍尔离子源才处于最佳状态，上述四种表不能给出明确的指示，目前各厂家的电源中，都缺少一个直观的明确指示装置。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述离子源的电源存在的缺陷，从而提供一种能反映等霍尔离子源工作最佳状态的用于霍尔离子源的电源。
本实用新型提供的一种用于霍尔离子源中的电源，该电源包括交流阴极电源和一个直流阳极电源，阳极电源的负极与交流阴极电源的一端连接；其特征在于，在阳极电源的正极与地之间设置一块阳极对地偏压指示表。
在上述的技术方案中，所述阳极对地偏压指示表为直流电压表，所述直流电压表一端与阳极电源正极电连接，另一端接地。
本实用新型的优点在于本实用新型的用于霍尔离子源的电源表明，随着阳极电流的增大，阳极对地的偏压逐渐增大，当阳极对地偏压值略大于阳极电压值5至10V时，霍尔离子源处于工作状态最佳。例如，当阳极电压200v时，阳极电流要达到10A以上霍尔离子源才能处于最佳工作状态。如果阳极电流达不到10A就要适当降低阳极电压。因此，该阳极偏压表可以为操作人员提供非常明确的指示，使霍尔离子源总能处于最佳工作状态。
图1为本实用新型的电源与霍尔离子源的组成示意图。
其中1-阴极电源 2-为霍尔离子源的热阴极 3-为霍尔离子源的阳极4-阳极对地偏压表 5-为阳极电源具体实施方式
下面结合具体实施例，对本实用新型做进一步的解释和说明实施例参考图1，制作一用于霍尔离子源的电源，其中阴极电源1采用交流电源，阳极电源5采用直流电源，交流阴极电源和一个直流阳极电源，阳极电源的负极与交流阴极电源的一端连接；阴极电源1的两端分别连接在霍尔离子源的热阴极2的两端，用来对霍尔离子源的热阴极2加热，阳极电源5的负极与霍尔离子源的热阴极2的一端电连接，阳极电源5的正极与所述霍尔离子源的阳极3电连接，所述阳极对地偏压表4为一直流电压表，该直流电压表的一端电连接所述霍尔离子源的阳极3，另一端接地。
权利要求1.一种用于霍尔离子源中的电源，该电源包括交流阴极电源和一个直流阳极电源，具有阳极电压表、阳极电流表、阴极电压表、阴极电流表；其特征在于，在阳极电源的正极与地之间设置一块阳极对地偏压指示表。
2.按权利要求1所述的用于霍尔离子源中的电源，其特征在于，所述的阳极对地偏压指示表为直流电压表，所述直流电压表一端与阳极电源正极电连接，另一端接地。
专利摘要本实用新型涉及一种用于霍尔离子源中的电源，该电源包括交流阴极电源和一个直流阳极电源，阳极电源的负极与交流阴极电源的一端连接；其特征在于，在阳极电源的正极与地之间设置一阳极对地偏压指示表。本实用新型的用于霍尔离子源的电源，随着阳极电流的增大，阳极对地的偏压逐渐增大，当阳极对地偏压值略大于阳极电压值5至10V时，霍尔离子源处于工作状态最佳。
文档编号H01J27/02GK2919518SQ20062012390
公开日2007年7月4日 申请日期2006年7月11日 优先权日2006年7月11日
发明者杨松涛, 任荆学 申请人:中国科学院空间科学与应用研究中心