灯单元及光传感器的制作方法

专利名称：灯单元及光传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及灯单元及光传感器，特别涉及不会受到因紫外线被照射到 于大气所引起的氧浓度变动的影响，能够检测紫外线的光传感器及具备该 光传感器的灯单元。
背景技术：
在半导体基板、液晶基板等的制造工序中，使用灯单元，该灯单元具 备准分子灯，该准分子灯以基板的洗净为目的而照射真空紫外线。
以往，在这种灯单元中，在成为框体的开口部的半导体基板、液晶基 板等被照射物与准分子灯之间，设置有由石英玻璃所构成的窗。但是，由 于由石英玻璃所构成的窗价格昂贵，所以在近年的灯单元中，如专利文献l 所记载，除去由石英玻璃所构成的窗，采用使被照射物与准分子灯接近的 构造。
另外，准分子灯，因伴随其使用而老化，所照射的真空紫外线的强度 逐渐降低。当所照射的真空紫外线的强度降低时，用来洗净被照射物的表 面的能力也降低。因此，随时检测来自于准分子灯的真空紫外线的强度， 进行反馈以提高灯输入，使强度不会降低至规定值以下，在强度不能成为 规定值以上的情况下，需要更换准分子灯。在专利文献1中，记载了设有 检测来自于准分子灯的真空紫外线的强度的光传感器。
图14是表示专利文献1所记载的灯单元200的概略结构的剖面图，该 灯单元20沿着相对于准分子灯201的长度方向的垂直方向，图15是表示 图14所示的准分子灯201的结构的斜视图。
如图15所示，具备长方体的放电容器202的准分子灯201，相对于长 度方向的垂直方向的剖面为长方形，在放电容器202的上下两表面，以沿 着放电容器202的长度方向延伸的方式分别设有外部电极203， 204。设置 于上表面的一方的外部电极203构成为板状，设置于下表面的另一方的外 部电极204构成为网状。并且，在放电容器202的上表面设有开口部206，该开口部206是与后述的光传感器205相对向并且构成为板状的外部电极 203的一部分被切削所形成的。
如图14所示，准分子灯201是以构成为网状的另一方的外部电极204 与被照射物W相对向的方式，在灯单元200的框体207的内部设置了多支， 如图所示为3支。框体207构成为一面呈开口的箱状，在与该开口面平行 的方向，搬送被照射物W。在框体207的与前述开口面相对向的面上，设 有贯通孔208，该贯通孔208导出导入光传感器205，该光传感器205用来 测定来自于准分子灯201的真空紫外线。因为该贯通孔208导出导入光传 感器205，所以，该贯通孔208被设置于与准分子灯201的开口部206相对 向的位置。
在由框体207的贯通孔208导出导入的光传感器205中，设有萤光体 209和光检测元件210，该荧光体209被准分子灯201照射真空紫外线，该 光检测元件210检测由萤光体209变换的可见光。当检测来自于准分子灯 201的真空紫外线时，光传感器205被汽缸211从框体207的贯通孔208导 入至框体207的内部，朝准分子灯201的开口部206以一定量移动并接近。 接近开口部206的光传感器205由萤光体209将真空紫外线变换成可见光， 由光检测元件2 0来检测可见光。当检测结束时，光传感器205由汽缸211， 再次通过贯通孔208而被导出至框体207的外部。此光传感器205的导出 导入是由连接于光传感器205的汽缸211来进行。
专利文献1:日本特开2004—97986公报
但是，因此灯单元200，由于框体207的一面呈开口，所以，框体207 的内部会成为大气状态。因此，当准分子灯201点灯时，由准分子灯201 所照射的真空紫外线会与大气中的氧产生反应，因此，大气中氧浓度会变 动。另一方面，伴随利用未图示的搬送机构来搬送被照射物w，框体207 的内部会产生氧浓度变动了的大气对流C。因此，由于该对流C，造成光传 感器205与准分子灯201之间的氧浓度变动，使得由准分子灯201所放射 的真空紫外线的氧的吸收量产生变动，由光传感器205所检测的真空紫外 线的强度产生变动。
如此，在框体207的一面呈开口的灯单元200中，通过搬送被照射物 W，无法使框体207的内部的氧浓度成为均等，在准分子灯201与接近此准分子灯的光传感器205之间的氧浓度、和准分子灯201与被照射物W之 间的氧浓度变成不同。因此，当根据由光传感器205所检测到的真空紫外 线的强度，控制准分子灯201的输入时，会有对被照射物w照射规定值以 上的真空紫外线的情况，也会有照射规定值以下的真空紫外线的情况，这 样就无法对被照射物w照射均等的真空紫外线。
为了防止因氧浓度变动的大气对流所引起的准分子灯201与光传感器 205之间的氧浓度产生变动，可考虑使准分子灯201与光传感器205抵接。 但是，因为准分子灯201的放电容器202由石英玻璃形成，所以，当来自 于外部之按压力大时，会有破损的可能性，为了抵接光传感器205,必须使 来自于汽缸211的按压力变小。然而，在所制造的准分子灯201上会有制 造上的偏差，由准分子灯201到光传感器205的距离并非一定，无法决定 利用汽缸211的光传感器205的移动量L3。因此，必须考虑另外设置用来 检测光传感器205抵接于准分子灯201的例如CCD照相机来控制汽缸211， 但即使如此，会产生灯单元200复杂化、高成本化的问题。

发明内容
本发明鉴于上述问题点而开发完成，其目的在于提供一种光传感器及 具备该光传感器的灯单元，该光传感器及具备该光传感器的灯单元以简单 的构造，可防止因不期望的负荷所导致的准分子灯的破损，并且能够抑制 因氧浓度产生变动的大气对流所导致的紫外线的测定值变动。
本发明为了解决上述课题，采用以下技术方案。技术方案l， 一种灯单 元，由用来放射紫外线的准分子灯、接收前述紫外线的光传感器及至少收
容保持该光传感器的框体所构成，该灯单元特征在于
前述光传感器具备检测可见光的光检测体；附设于该光检测体的筒状的 保持体；及可动体，该可动体能够移动地保持于该保持体上，并且可与前 述准分子灯抵接地被设置成筒状或柱状，使透过构件与变换构件被设置成 被该光检测体、该保持体、该可动体所包围。该透过构件使来自于前述准 分子灯的紫外线透过，该变换构件将透过该透过构件的紫外线变换成可见 光。
技术方案2是如技术方案1所述的灯单元，其特征在于，将前述透过 构件与前述变换构件设置于该可动体的抵接前述准分子灯的一侧。技术方案3是如技术方案1或技术方案2所述的灯单元，其特征在于， 使用兼具前述透过构件与前述变换构件的两功能之构件，来代替前述透过 构件与前述变换构件。
技术方案4是如技术方案1-3中的任一技术方案的灯单元，其特征在于， 前述可动体的抵接于前述准分子灯的抵接面形成为，吻合前述准分子灯的 抵接于前述可动体的位置的外面形状。
技术方案5是如技术方案1-4中的任一技术方案的灯单元，其特征在于， 前述框体具备框体盖构件，该框体盖构件封住除了使前述保持体贯通的贯 通孔外的前述框体，前述光检测体由光检测元件与处理该光检测元件的受 光信号的电气安装体所构成，在前述光检测体与前述保持体之间设有第1 密封体，在前述保持体与前述框体盖构件之间设有第2密封体。
技术方案6是如技术方案1-5中的任一技术方案的灯单元,其特征在于， 前述可动体被设置为在前述保持体上可滑动。
技术方案7是如技术方案l-6中的任一技术方案的灯单元，其特征在于， 设有对于前述保持体使前述可动体分开地发挥作用的弹性构件。
技术方案8， 一种光传感器，其特征在于，具备有检测可见光光检测 体，检测可见光；保持体，附设于该光检测体，呈筒状；及可动体，该可 动体能够移动地保持于该保持体上，并且紫外线可射入，并被设置成筒状 或柱状，透过紫外线的透过构件、与将透过该透过构件的紫外线变换成可 见光的变换构件被设置为被该光检测体、该保持体与该可动体所包围
技术方案9是如技术方案8所述的灯单元，其特征在于，将前述透过 构件与前述变换构件设置于该可动体的前述紫外线射入口 一侧。
技术方案10是如技术方案8或技术方案9所述的灯单元，其特征在于， 使用兼具前述透过构件与前述变换构件的两个功能的构件，来代替前述透 过构件与前述变换构件。
技术方案11是如技术方案8-10中的任一技术方案所述的灯单元，其特 征在于，前述可动体被设置成在前述保持体上可滑动。
技术方案12是如技术方案8-11中任一技术方案所述的灯单元，其特征 在于，设有相对于前述保持体使前述可动体分开地发挥作用的弹性构件。
如果根据技术方案1所记载的发明，通过设置对于保持体移动的可动 体，使得当可动体抵接于准分子灯时，能够通过可动体的移动来吸收来自于准分子灯的反作用力。因此，不期望的负荷不会施加于准分子灯，所以 能够防止准分子灯的破损。此外，即使因准分子灯的制造偏差造成形状产 生偏差，也能经由可动体的栘动来吸收该偏差程度的部分，所以，不期望 的负荷不会施加到准分子灯，能够防止准分子灯的破损。
此外，通过使能够移动的可动体抵接于准分子灯，能够使得受到该光 检测体、该保持体、与该可动体所包围的区域，不会受到因对流而流入到 框体内的氧浓度产生变动的大气的影响。通过在受到光检测体、该保持体、 与该可动体所包围的区域设置透过构件与变换构件，能够检测准分子灯的 真空紫外线。
此外，不需要CCD照相机等昂贵的电子机器，就能以简单的构造，在 不会对准分子灯施加不期望的负荷的前提下来检测真空紫外线。
并且，即使排列多支准分子灯，也因为保持体构成为筒状，所以，能 够防止来自于未抵接的周边的准分子灯的可见光被光检测体所接收。
如果根据技术方案2所记载的发明，由于使能够移动的可动体抵接于 准分子灯，使来自于准分子灯的真空紫外线直接经由透过构件透过，再经 由变换构件变换成可见光，所以，射入至可动体的真空紫外线不会被氧浓 度产生变动的大气所吸收，而能变换成可见光。
如果根据技术方案3所记载的发明，由于不需要分别使用透过构件与 变换构件，而能够利用1个构件来具备前述各构件的功能，可将光传感器 作成简单的结构。
如果根据技术方案4所记载的发明，由于可动体卡合于欲抵接的准分 子灯的外形状，所以，能够无间隙地配置在可动体与准分子灯之间。因此， 在可动体与准分子灯之间，能够抑制因对流所致的氧浓度产生变动的大气
的流入，能够抑制被可动体的变换构件所变换的真空紫外线的氧浓度产生 变动所引起的强度的变动。
如果根据技术方案5所记载的发明，通常地，电气安装体以树脂构成 印刷基板等，会有被臭氧分解而老化的可能，但是，因电气安装体被配置 于臭氧无法进入的密闭空间内，所以，遮断了电气安装体与臭氧的接触， 能够防止因臭氧所引起的电气安装体的老化。
如果根据技术方案6所记载的发明，当可动体对于保持体移动时，保 持体作为导件来发挥功能，能使可动体顺利地栘动。如果根据技术方案7所记载的发明，能够由任意的方向使光传感器的 可动体抵接准分子灯，可将光传感器配置于任意位置。
如果根据技术方案8所记载的发明，通过设置对于保持体移动的可动 体，使得当可动体抵接于紫外线放射体时，能够经由可动体的移动来吸收 来自于紫外线放射体的反作用力。因此，由于不期望的负荷不会施加于准 分子灯，所以能够防止准分子灯的破损。此外，即使因准分子灯的制造偏 差造成形状产生偏差，由于也能通过可动体的移动来吸收该偏差的部分， 所以，不期望的负荷不会施加到准分子灯，能够防止准分子灯的破损。
并且，即使排列多支准分子灯，由于保持体构成为筒状，所以，能够 防止可见光被光检测体所接收，该可见光具有来自于未抵接的周边的准分 子灯的可能性。
如果根据技术方案9所记载的发明，由于使能够移动的可动体抵接于 准分子灯，使来自于准分子灯的真空紫外线直接通过透过构件透过，再通 过变换构件变换成可见光，所以，射入至可动体之真空紫外线不会被氧浓 度产生变动之大气所吸收，而能变换成可见光。
如果根据技术方案IO所记载的发明，由于不需分别使用透过构件与变 换构件，而能够利用1个构件来具备前述各构件的功能，可将光传感器作 成简单的结构。
如果根据技术方案ll所记载的发明，当可动体对于保持体移动时，保 持体作为导件来发挥功能，能使可动体顺利地移动。
如果根据技术方案12所记载的发明，由于能够由任意的方向使光传感 器的可动体抵接紫外线放射体，所以可将光传感器配置于任意位置。


图1是显示具备第1实施方式的发明的灯单元2、且沿着准分子灯5的 长度方向的紫外线照射装置1的概略结构的图。
图2是由图1所示的紫外线照射装置1的A—A剖面观看紫外线照射 装置l的剖面图。
图3是图1及图2所示的准分子灯5的放大斜视图及放大剖面图。
图4是图1所示的灯单元2的放大剖面图。
图5是显示从灯单元2取下准分子灯5时的光传感器6的状态、及将准分子灯5设置于灯单元2时的光传感器6的状态的图。 图6是第2实施方式的发明的灯单元2的放大剖面图 图7是显示从灯单元2取下准分子灯5时的光传感器6的状态、及将
准分子灯5设置于灯单元2时的光传感器6的状态的图。
图8是显示具备第3实施方式的发明的灯单元2，且沿着准分子灯11
的长度方向的紫外线照射装置1的概略结构的图。
图9是图8所示的准分子灯11的放大斜视图及放大剖面图。 图10是图8所示的灯单元2的放大剖面图。
图11是第4实施方式的发明，显示一部分与第2实施方式的图6所示 的灯单元2和光传感器6的可动体64的结构不同的灯单元2的结构的局部 放大图。
图12是第5实施方式的发明，显示一部分与第1实施方式的图6所示 的灯单元2和光传感器6的可动体64的结构不同的灯单元2的结构的局部 放大图。
图13是第6实施方式的发明，显示沿着相对于准分子灯5的长度方向 的垂直方向的灯单元2的结构的剖面图。；
图14是显示专利文献1所记载，显示相对于准分子灯201的长度方向 的垂直方向的灯单元200的概略结构的剖面图。
图15是显示图14所示的准分子灯201的结构的斜视图。
附图标记
1:紫外线照射装置 2:灯单元 3:搬送机构 4:框体
41:框体盖构件 42:灯支承体 43:贯通孔 5:准分子灯 51:放电容器
52、 53:外部电极
54:开口部55-紫外线反射膜
551:开口部 6:光传感器 61:光检测体 611:光检测元件 612:电气安装体
62- 第1密封体
63- 保持体 631:圆筒构件 632:突出体 633:锷体 634:贯通孔 635:弹性构件
64:可动体 641:筒状构件
642:突出部 6421:卡合面 643:防止落下部 644:贯通孔 645:透过构件 646:变换构件 647:萤光玻璃 65:第2密封体 66:可动体 661:透过构件
662:锷体 663:平坦部 664:突出部
7:滚子 8:驱动部 9:搬入口10:搬出口
11:准分子灯
111:放电管
112:封装部
113:内侧电极
114:内管
115:外侧电极
116:钼箔
117:外部导线
W:被照射物
Sl:框体内部(密闭空间)
S2:框体内部
具体实施例方式
使用图1至图5来说明本发明的第1实施形态。
图1是显示具备本实施方式的发明的灯单元2，沿着相对于准分子灯5 的长度方向呈垂直方向的紫外线照射装置1的概略结构的图，图2是由图1 所示的紫外线照射装置1的A—A剖面观看的紫外线照射装置1的剖面图。
如这些图所示，紫外线照射装置1大致由在构成为箱状的框体4内具 有准分子灯5与光传感器6的灯单元2(图面上方)及载置灯单元2并且搬送 被照射物w的搬送机构3(图面下方)所构成。
如这些图所示，灯单元2由准分子灯5、设置成可抵接于准分子灯5的 光传感器6、及收容准分子灯5与光传感器6并予以支承的框体4所构成。 此外，搬送机构3用于载置灯单元2的框体4，并且具备排列配置于内部的 多个滚子7;及设置于各滚子7的两端的、并且驱动滚子7转动的驱动部8。 从搬送机构3的搬入9被搬送的被照射物W被载置于滚子7上，通过驱动 驱动滚子7转动，将其搬入准分子灯5的正下方。已被搬入的被照射物W 由于是与准分子灯5以例如3mm的距离靠近，所以，来自于准分子灯5的 真空紫外线不会完全被氧所吸收而可充分地照射。受到真空紫外线所照射 的被照射物W由搬出口 IO被搬出。
图3(a)是图1及图2所示的准分子灯5的放大斜视图，图3(b)是由图3(a)的B—B剖面所观看的准分子灯5的剖面图，图3(c)是由图3(a)的C一C 剖面面所观看的准分子灯5的剖面图。
如这些图所示，准分子灯5具有长方体的放电容器51，此放电容器51 由照射真空紫外线的石英玻璃所构成。在放电容器51的内部封装有例如氙 气。放电容器51在相对于长度方向的垂直方向上的剖面为长方形。在放电 容器51的上下两表面，设有一对外部电极52， 53，该一对外部电极52， 53贯穿放电容器51的长度方向连接于高频电源上。外部电极52、 53藉由 例如将混合有铜与低融点玻璃的导电性胶体呈网眼状地涂敷于放电容器51 的外表面并加以烧成来形成的。在放电容器51的上部内壁面上，设有用来 反射真空紫外线的例如由二氧化硅膜所构成的紫外线反射膜55。紫外线反 射膜55被贯穿设置于放电容器51的上部内壁面的长度方向及宽度方向。
图4是图1所示的灯单元2的放大剖面图。
如图4所示，准分子灯5将紫外线反射膜55配置于光传感器6 —侧， 与光传感器6相对向。因此，光传感器6，为了检测由准分子灯5所放射的 真空紫外线，形成于放电容器51的上部内表面的紫外线反射膜55在光传 感器6所抵接的位置上，设有紫外线反射膜55被去除的开口部551。在开 口部551存在的放电容器51的外表面，光传感器6的可动体64可抵接地 被设置着。光传感器6由可动体64、在内部设有供可动体64能够移动的贯 通孔634的筒状的保持体63、及连接于此保持体63的上端的光检测体61 所构成。
可动体64具有筒状构件641，该筒状构件641为圆筒状并在内部具有 贯通孔644，在可动体64的筒状构件641的一端设有朝内部的贯通孔644 侧突出的突出部642,在筒状构件641的另一端设有朝其外周方向延伸的环 状的防止落下部643。可动体64由具有电气绝缘性的、例如块滑石这样的 陶瓷所形成。
保持体63具有圆筒构件631，在其内部具有可供可动体64能够移动的 贯通孔634。在圆筒构件631的一端设有朝贯通孔634侧突出的突出体632， 在圆筒构件631的另一端设有朝其外周方向延伸的锷体633。保持体63由 例如铝所形成。可动体64的筒状构件641被设置成能够通过突出体632所 包围的圆状的开口导出导入，可动体64的防止落下部643被设置成与保持 体63的突出体632可抵接地。在设置于保持体63的另一端的锷体633的上方，光检测体61经由例 如由氟树脂所构成的环状的第1密封体62被接合。在光检测体61中，设 置有透过构件645，该透过构件645例如由石英玻璃所构成的，供真空紫外 线透过，在与透过构件645中的突出部642 —侧的面相反侧的面中，涂敷 有变换构件646，该变换构件646例如由萤光体所构成且可将紫外线变换成 可见光。并且，光检测体61具有检测可见光的光检测元件611，光检测元 件611以与变换构件646相对向的方式接合于保持体63的锷体633。在光 检测元件611的上方，设有电气安装体612，该电气安装体内装有电气安装 部件，该电气安装部件用来处理利用光检测元件611所接收到的受光信号。
通过上述结构，使得透过构件645与变换构件646受到光检测体61、 保持体63和可动体64所包围。
框体4设置成:准分子灯5侧的一面呈开口 ，包围准分子灯5的四面(准 分子灯5的没有设置一对外部电极52、 53的四面的外侧)。并且，在框体4 中设有框体盖构件41来对框体4加盖，在框体盖构件41中设有用来支承 准分子灯5的两端的灯支承体42(参照图2)，并且设有供光传感器6插入的 贯通孔43。被插入至框体盖构件41的贯通孔43的光传感器6，其设置于 可动体64的一端的突出部642抵接于准分子灯5。由于准分子灯5呈长方 体，所以光传感器6所抵接的一面为平坦状，光传感器6所抵接的突出部 642的面也同样呈平坦状，因此，光传感器6的可动体64能以无间隙的方 式载置于准分子灯5上。保持体63的锷体633以设有例如由氟树脂所构成 的第2密封体65的方式接合于框体4的框体盖构件41的上表面。
通过第1密封体62接合于保持体63的锷体633的光检测体61，由于 位于框体盖构件41的上方位置，所以配置于框体盖构件41的上方的光检 测体61的外方设置成被框体4及框体盖构件41包围，该框体4及框体盖 构件41构成为箱状，g卩，光传感器6的光检测体61配置于密闭空间S1， 该密闭空间S1受到框体4，框体盖构件41，第2密封体65、锷体633及第 l密封体62所包围。因此，能够防止配置于光检测体61的电气安装体612 受到因臭氧所产生的坏影响。
其次，使用图4来说明灯单元2的动作。准分子灯5，当高频的高电压 被施加于一对的外部电极52、 53时，在放电容器51的内部，作为发光气 体的氙气被激发，由所激发的发光气体，产生具有172nm以下的峰值波长的真空紫外线。在放电容器51的内部所产生的真空紫外线与受到设置于放 电容器51的内部的紫外线反射膜55所反射的真空紫外线一同从放电容器 51的外部电极53侧朝外部被放射。由准分子灯5所放射的真空紫外线的一 部分被大气中的氧所吸收而产生臭氧。
另外，从准分子灯5的削除紫外线反射膜55的一部分所形成的开口部 551，朝与其相对向的光传感器6放射真空紫外线。光传感器6的可动体64 的筒状构件641的突出部642与准分子灯5卡合地抵接，由此，在可动体 64与准分子灯5之间，能够防止朝框体4的内部S2对流而来的氧浓度产生 变动后的大气的流入。通过了紫外线反射膜55的开口部551的真空紫外线 通过网眼状的外部电极52的网眼(开口部54)，再通过受到可动体64的突 出部642所包围的开口部，射入到透过构件645。
另外，在图4中，图示为使准分子灯5的外部电极52、 53突出，但因 外部电极52、 53以例如网版印刷等所形成，所以实际上的外部电极52、 53 的厚度非常薄，几乎不会有从网眼状的外部电极52、 53的开口部54流入 的氧浓度产生变动后的大气。因此，由准分子灯5的紫外线反射膜55的开 口部551所放射的真空紫外线，不会受到氧浓度产生变动后的大气的影响， 可适宜地朝透过构件645射入。
此外，从准分子灯5也会射出真空紫外线以外的可见光，但如图4所 示，在具有多支准分子灯5的灯单元中，可见光被照射于例如位于中央的 光传感器6，该被照射的可见光为来自于位于该光传感器6所测定的准分子 灯5的周边的准分子灯5的可见光。因此，当位于中央的光传感器6的光 检测元件611接收到来自于位于周边的准分子灯5的可见光时，无法正确 地仅检测来自于所测定的中央的准分子灯5的紫外线的强度。但是，因为 保持构件63形成为筒状，所以可遮断来自于位于周边的准分子灯的可见光， 位于中央的光传感器6的光检测元件611能够防止来自于周边的其他准分 子灯5的可见光的受光。g卩，光传感器6的光检测元件611仅能测定可动 体64所抵接的准分子灯5的紫外线强度。
如果根据本实施方式的发明，即使对被照射物W照射真空紫外线时所 产生的氧浓度产生变动后的大气因对流而进入到框体4的内部S2，也可使 光传感器6抵接于准分子灯5，将射入到光传感器6的真空紫外线在不会受 到氧浓度产生变动后的大气的影响的状态下变换成可见光并进行检测，所以，能够将真空紫外线对被照射物w的强度设定于期望的规定值。
其次，使用图5，对于准分子灯5更换时的光传感器6的状态进行说明。 图5(a)是显示由灯单元2取下准分子灯5时的光传感器6的状态的图，图 5(b)是显示将准分子灯5设置于灯单元2时的光传感器6的状态的图。
首先，如图5(a)所示，当由灯单元2取下准分子灯5时，光光传感器6 的可动体64由于自重下降，设置于可动体64的另一端的防止落下部643 抵接到设置于保持体63的一端的突出体632，可动体64被保持于保持体 63。因保持体63被支承于框体盖构件41，所以可动体64经由保持体63被 支承于框体盖构件41。在此下降时，通过筒状的圆筒构件631的内周面与 防止落下部643的外周面滑动，可动体64被筒状的圆筒构件631的内周面 所导引，而能适宜地下降。
其次，如图5(b)所示，当在灯单元2以抵接于可动体64的突出部642 的方式配置准分子灯5时，可动体64的圆筒构件641被压于准分子灯5， 在保持体63的圆筒构件631的贯通孔634内朝上方移动。因贯通孔634形 成为与可动体64的防止落下部643的外形相同或该外形以上，被压于准分 子灯5的可动体64能容易在贯通孔634内移动。因可动体64在抵接于准 分子灯5的状态下能够在贯通孔634内移动，所以不会有不期望的负荷施 加于准分子灯5，仅施加有光传感器6的可动体64的重力。此外，经由圆 筒构件631的内周面与防止落下部643的外周面滑动，使得可动体64被导 引于圆筒构件631的内周面而能适宜地朝上方移动。因此，即使在准分子 灯5更换时及更换后，也不会有不期望的负荷施加到准分子灯5。此外，即 使在因准分子灯5的制造偏差造成灯形状等不同的情况下，由于保持体63 的贯通孔634形成为具有充分高度，所以可动体64能够移动相当于贯通孔 634的高度的程度，可充分地吸收制造偏。
如此，可动体64虽然能够在保持体63的贯通孔634内移动，但过度 增大贯通孔634的中心轴方向的长度Ll时，造成设置于可动体64的一端 的突出部642抵接到保持体63的突出部632,可动体64完全进入至圆筒构 件631的内部，就有可能无法由突出部632导出可动体64的筒状构件641。 因此，如图5(a)所示，将距离L1作成为比L2小,该L1为由突出部632的 与光检测体61相对向的面至连接到锷体633的第1封装部62中抵接于光 检测体61的面为止的距离，该L2为突出部642至防止落下部643为止的可动体64的全长。由此，即使可动体64上升而使防止落下部643抵接到 光检测体61,也能从被突出部642所包围的开口部导出突出部642,由此 能够防止可动体64进入到保持体63的贯通孔631。
在此，光传感器6与放电容器51的数值例例如以下所示。针对光传感 器6，保持体63的贯通孔634的直径为19mm、环状的锷体633的直径为 38mm。可动体64的贯通孔644的直径为16mm、环状的防止落下部643 的直径为19mm。由设置于保持体63的一端的突出部632的与检测体61 相对向的面至连接到保持体63的另一端的锷体633的第1封装部62中抵 接于光检测体61的面为止的距离Ll为23mm，由设置于可动体64的一端 的突出部642至设置于另一端的防止落下部643为止的可动体64的全长L2 为35mm。此外，针对准分子灯5，放电容器51的长度方向的长度为904mm。 在沿着对于放电容器51的长度方向呈垂直方向的长方形的剖面，长边为 43mm、短边为15mm。封装于放电容器51的内部的氙气例如为10 100kPa。
使用图6及图7，对本发明的第2实施方式进行说明。另外，显示第2 实施方式的紫外线照射装置1的概略结构的图与在第1实施方式所使用的 图1通用，此外第2实施方式的紫外线照射装置1的剖面图与图2通用， 因此，使用图l及图2进行说明对第2实施方式进行说明。
图6是图l所示的灯单元2的放大剖面图。
如图6所示，准分子灯5，紫外线反射膜55配置于光传感器6侧，与 光传感器6相对向。因此，光传感器6，为了检测由准分子灯5所放射的真 空紫外线，形成于放电容器51的上部内表面的紫外线反射膜55在光传感 器6所抵接的位置，设置有削除了紫外线反射膜55的开口部551。在开口 部551所存在的放电容器51的外表面，光传感器6的可动体64可抵接地 被设置着。光传感器6包括可动体64、在内部设有可供可动体64能够移 动的贯通孔634的筒状的保持体63，及连接于此保持体63的上端的光检测 体61。
另外，搬送机构3的结构及功能与第1实施方式的图1所作说明相同 者，在此省略其说明。
可动体64具有在内部具有贯通孔644的圆筒状的筒状构件641，在可 动体64的筒状构件641的一端，设有朝内部的贯通孔644侧突出的突出部 642，在筒状构件641的另一端，设有朝其外周方向延伸的环状的防止落下部643。可动体64由具有电气绝缘性的例如块滑石这样的陶瓷所形成。在 突出部642中，设有供真空紫外线透过的例如由石英玻璃所构成的透过构 件645，在透过构件645的与突出部642侧的面相反侧的面，涂敷有变换构 件646，该变换构件646由例如萤光体所构成，并可将紫外线变换成可见光。
保持体63具有圆筒构件631,在其内部具有可供可动体64能够移动的 贯通孔634。在圆筒构件631的一端，设有朝贯通孔634侧突出的突出体 632，在圆筒构件631的另一端，设有朝其外周方向延伸的锷体633。保持 体63由例如铝所形成。可动体64的筒状构件641可通过突出体632所包 围的圆状的开口导出导入地被设置着，可动体64的防止落下部643与保持 体63的突出体632可抵接地被设置着。
在设置于保持体63的另一端的锷体633的上方，光检测体61经由例 如由氟树脂所构成的环状的第1密封体62被接合。光检测体61具有检测 可见光的光检测元件611，光检测元件611以与设置于可动体64的变换构 件646相对向的方式接合于保持体63的锷体633。在光检测元件611的上 方设有电气安装体612，该电气安装体内装有用来处理被光检测元件611所 接收到的受光信号的电气安装零件。
根据上述结构，使得透过构件645与变换构件646受到光检测体61、 保持体63和可动体64所包围。
框体4的准分子灯5侧的一面呈开口，包围准分子灯5的四面(准分子 灯5的未设有一对的外部电极52、 53的四面的外侧)。并且，在框体4中， 设有框体盖构件41来对框体4加盖，在框体盖构件41中，设有用来支承 准分子灯5的两端的灯支承体42(参照图2)，并且设有供光传感器6插入的 贯通孔43。被插入至框体盖构件41的贯通孔43的光传感器6，其设置于 可动体64的一端的突出部642抵接于准分子灯5。由于准分子灯5呈长方 体，光传感器6所抵接的一面为平坦状，光传感器6所抵接的突出部642 的面也同样呈平坦，因此，光传感器6的可动体64能以无间隙的方式载置 于准分子灯5。保持体63的锷体633和框体4的框体盖构件41的上表面之 间设有例如由氟树脂所构成的第1密封体65。
以设有第1密封体62的方式接合于保持体63的锷体633的光检测体 61，由于位于框体盖构件41的上方位置，所以配置于框体盖构件41的上 方的光检测体61的外方设置成，受到框体4及框体盖构件41所包围，该框体4及框体盖构件41构成为箱状。即，光传感器6的光检测体61配置 于密闭空间Sl，该密闭空间Sl受到框体4、框体盖构件41、第2密封体 65、锷体633、及第1密封体62所包围。因此，能够防止配置于光检测体 61的电气安装体612受到因臭氧所产生的坏影响。
其次，使用图6，说明关于灯单元2的动作。准分子灯5，当高频的高 电压被施加于一对的外部电极52、 53时，在放电容器51的内部，作为发 光气体的氙气被激发，由所激发的发光气体产生具有172nm以下的峰值波 长的真空紫外线。在放电容器51的内部，所产生的真空紫外线与受到设置 于放电容器51的内部的紫外线反射膜55所反射的真空紫外线一同从放电 容器51的外部电极53侧朝外部被放射。由准分子灯5所放射的真空紫外 线的一部分被大气中的氧所吸收而产生臭氧。
另外，从准分子灯5的削除紫外线反射膜55的一部分所形成的开口部 551，朝与其相对向的光传感器6放射真空紫外线。光传感器6的可动体64 的筒状构件641的突出部642与准分子灯5卡合地抵接，在可动体64与准 分子灯5之间，能够防止朝框体4的内部S2对流而来的氧浓度产生变动后 的大气的流入。通过了紫外线反射膜55的开口部551之真空紫外线通过网 眼状的外部电极52的网眼(开口部54)，再通过受到可动体64的突出部642 所包围的开口部，射入至透过构件645。
另外，在图6中，虽然图示有使准分子灯5的外部电极52、 53突出的 状态，但因外部电极52、 53以例如网版印刷等所形成，所以实际上的外部 电极52、 53的厚度非常薄，几乎不会有从网眼状的外部电极52、 53的开 口部54流入的氧浓度产生变动后的大气。因此，由准分子灯5的紫外线反 射膜55的开口部551所放射的真空紫外线，不会受到氧浓度产生变动后的 大气的影响，可适宜地朝透过构件645射入。
透过了透过构件645的真空紫外线，经由变换构件646变换成可见光， 该变换构件由萤光体所构成的，涂布于透过构件645的上表面。在圆筒构 件631内部的贯通孔634，为了使可动体64的保持构件641可移动，而不 将保持体63与可动体54之间予以封装，就有可能使对流来的氧浓度变动 后的大气流入。但是，通过贯通孔644及贯通孔634的光，由于经由变换 构件656将真空紫外线变换成可见光，所以，不会被可动体64与保持体63 的内部的氧浓度产生变动的大气所吸收。即，被变换构件646所变换的可见光由于不会被氧所吸收，因此其强度不会降低，而能被对向配置的光检
测元件611所检测。此外，流入到保持体63的内部的真空紫外线与氧反应 所产生的臭氧，可经由设置于保持体63的锷体633与光检测体61之间的 第1密封体62，防止臭氧流入至密闭空间Sl侧，而能够防止臭氧对电气安 装体612内的电气安装零件产生坏影响。
此外，从准分子灯5也会射出真空紫外线以外的可见光，但如图6所 示，在具有多支准分子灯5的灯单元中，来自于位于该光传感器6所测定 的准分子灯5的周边的准分子灯5的可见光被照射于例如位于中央的光传 感器6。因此，当位于中央的光传感器6的光检测元件611接收到来自于位 于周边的准分子灯5的可见光时，无法正确地仅检测来自于所测定的中央 的准分子灯5的紫外线的强度。但是，因为保持构件63形成为筒状，所以 能够遮断来自于位于周边的准分子灯的可见光，位于中央的光传感器6的 光检测元件611能够防止来自于周边的其他准分子灯5的可见光的受光。 即，光传感器6的光检测元件611能仅测定可动体64所抵接的准分子灯5 的紫外线强度。
如果根据本实施方式的发明，即使对被照射物W照射真空紫外线之际 所产生之氧浓度产生变动后之大气因对流而进入到框体4的内部S2，也可 使光传感器6抵接于准分子灯5，将射入到光传感器6的真空紫外线在不会 受到氧浓度产生变动后的大气的影响的状态下变换成可见光并进行检测， 所以，能够将真空紫外线对被照射物w的强度设定于期望的规定值。
其次，使用图7，说明关于准分子灯5更换时的光传感器6的状态。图 7(a)是显示由灯单元2取下准分子灯5时的光传感器6的状态的图，图7(b) 是显示将准分子灯5设置于灯单元2时的光传感器6的状态的图。
首先，如图7(a)所示，当由灯单元2取下准分子灯5时，光传感器6 的可动体64由于自重下降，设置于可动体64的另一端的防止落下部643 抵接到设置于保持体63的一端的突出体632，可动体64被保持于保持体 63。由于保持体63被支承于框体盖构件41，所以可动体64经由保持体63 被支承于框体盖构件41，在此下降时，通过筒状的圆筒构件631的内周面 与防止落下部643的外周面滑动，可动体64被筒状的圆筒构件631的内周 面所导引，而能适宜地下降。
其次，如图7(b)所示，当在灯单元2以抵接于可动体64的突出部642的方式配置准分子灯5时，可动体64的圆筒构件641被压于准分子灯5， 在保持体63的圆筒构件631的贯通孔634内朝上方移动。因贯通孔634形 成为与可动体64的防止落下部643的外形相同或大于该外形，被压于准分 子灯4的可动体64能容易在贯通孔634内移动。由于可动体64在抵接于 准分子灯5的状态下能够在贯通孔634内栘动，所以不会有不期望的负荷 施加于准分子灯5，仅施加有光传感器6的可动体64的重力。此外，通过 圆筒构件631的内周面与防止落下部643的外周面滑动，使得可动体64被 导引于圆筒构件631的内周面而能顺利地朝上方移动。因此，即使在准分 子灯5更换时及交换后，也不会有不期望的负荷施加到准分子灯5。此外， 即使在由于准分子灯5的制造偏差造成灯形状等不同的情况下，也因保持 体63的贯通孔634形成为具有充分高度，所以可动体64能够移动相当于 贯通孔634的高度的量，可充分地吸收制造偏差。
如此，可动体64虽可在保持体63的贯通孔634内移动，但过度增大 贯通孔634的中心轴方向的长度Ll时，造成设置于可动体64的一端的突 出部642抵接到保持体63的突出部632，可动体64完全进入至圆筒构件 631的内部，就有可能产生无法由突出部632导出可动体64的筒状构件641 。 因此，如图7(a)所示，将L1作成为比L2小，该L1是由突出部632的与光 检测体61相对向的面至连接到锷体633的第1封装部62中抵接于光检测 体61的面为止的距离，该L2是由突出部642至防止落下部643为止的可 动体64的全长。由此，即使可动体64上升使防止落下部643抵接到光检 测体61，也能从受到突出部642所包围的开口部导出突出部642，由此能 够防止可动体64进入到保持体63的贯通孔631。
在此，光传感器6与放电容器51的数值例例如以下所示。针对光传感 器6，保持体63的贯通孔634的直径为19mm，环状的锷体633的直径为 38mm，可动体64的贯通孔644的直径为16mm、环状的防止落下部643 的直径为19mm。由设置于保持体63的一端的突出部632的与检测体61 相对向的面至连接到保持体63的另一端的锷体633的第1封装部62中抵 接于光检测体61的面为止的距离Ll为23mm，由设置于可动体64的一端 的突出部642至设置于另一端的防止落下部643为止的可动体64的全长L2 为35mm。此外，针对准分子灯5，放电容器51的长度方向的长度为卯4mm。 在沿着相对于放电容器51的长度方向呈垂直方向的长方形的剖面，长边为43mm、短边为15mm。封装于放电容器51的内部的氙气例如为10 100kPa。 使用图8至图10，说明关于本发明的第3实施方式。 图8是显示具备本实施方式的发明的灯单元2，沿着准分子灯11的长 度方向的紫外线照射装置1的概略结构的图。
如图8所示，紫外线照射装置1，大致由在呈箱状的框体4内具备有准 分子灯11与光传感器6的灯单元2(图面上方)、及载置灯单元2并且搬送被 照射物W的搬送机构3(图面下方)所构成，灯单元2包括由准分子灯11、 可与准分子灯5抵接地被设置的光传感器6、及收容准分子灯11与光传感 器6并加以支承的框体4。另外，搬送机构3的结构及功能，因与在第l实 施方式中的图l作过说明的相同，因此在此省略其说明。
图9(a)是沿着图8所示的准分子灯11的管轴方向的放大剖面图，图9(b) 是由图9(a)的D—D切断面所观看的准分子灯11的剖面图。
如这些图所示，准分子灯ll由圆筒状的例如石英玻璃所形成，包括-填充有作为放电气体的氙气的放电管111、与将放电管111的管轴方向的两 端予以气密地封装的封装部112。
内侧电极113在例如由线圈状的钨所构成的内侧电极113的长度方向 的两端，将由例如棒状的钨所构成的内侧电极113以线圈状的内侧电极113 与棒状的内侧电极113朝长度方向的中心轴一致的方式加以配置，通过熔 接等予以接合来形成。内侧电极113被配置成在放电管111的大致管轴方向 延伸。
在放电管111内，设有由例如石英玻璃所构成的作为圆筒状的电介质 来发挥功能的内管114，内管114的管轴方向的两端以不会与放电管111接 触的方式离隔着，并且，以包围内侧电极113的外周的方式配置着。内管 114，在其外周配置有未图示的圆盘状的由例如石英玻璃所构成的支承构 件，经由此支承构件支承于放电管111内部。
在封装部112的两端，设有突出的由例如钨所构成的外部导线117，封 装部112通过将放电管111的管轴方向的两端的管体作成为熔融状态并压溃 的收缩密封法来形成。在封装部112内，内侧电极113与外部导线117在由 例如钼所构成的箔116被电连接并埋设。此外，封装部112，也可通过将管
体作成熔融状态后再将内部予以减压形成的收縮密封法来形成。由此，在 内侧电极113中，于内管114的管轴方向的两端与封装部112之间，形成内侧电极113，该内侧电极113的径方向不会被内管114所覆盖，并且朝未被 封装部112所埋设的径方向露出。
在放电管111的外周面，密接形成有由例如网状的铜-镍合金所构成的 外侧电极115，在放电管lll的管轴方向上，以比内管114的管轴方向的两 端短的方式配置着。由封装部112突出的一对的外部导线117中， 一方的 外部导线117连接于未图示的交流电源。
准分子灯11的具体的数值例如下，放电管111为管轴方向的长度 2250mm、外径18.5mm、内径16.5mm、封入的氙气的封入量66.5kPa。内 管114的管轴方向的长度2200mm、外径4mm、内径2mm。线圈状的内侧 电极113的长度方向的长度2030mm、外径1.8mm，外侧电极115的厚度 0.2mm。被供给至准分于灯11的电压波形为例如矩形波，峰值电压为5kV、 频率为60kHz。
图10为图8所示的灯单元2的放大剖面图。
如图IO所示，本实施方式的发明的准分子灯11的外形为圆柱状。因 此，在光传感器6的可动体64的底部的突出部642上，形成为与准分子灯 11抵接的面成为呈圆弧状凹陷的卡合面6421。另外，其他结构与第2实施 方式的图6所示的同符号的结构相对应，在此省略其说明。
如图10所示，通过将可动体64的突出部642抵接于准分子灯11的面 作成为圆弧状的卡合面6421，使得卡合面6421抵接成卡合于圆柱状的准分 子灯11，能够防止对流至框体4的内部S2的氧浓度产生变动的大气进入到 可动体64与准分子灯11之间。
在本实施方式的发明中，即使对被照射物W照射真空紫外线时所产生 的氧浓度产生变动的大气因对流而进入到框体4的内部S2，也能使光传感 器6抵接于准分子灯5，可将真空紫外线在不会受到氧浓度产生变动的大气 的影响的状态下变换成可见光，能够将真空紫外线对被照射物W的强度设 定于期望的规定值。
另外，在第3实施方式的说明中，以将透过构件645与变换构件646 设置于可动体64侧为例进行了说明，但，即可为如第1实施方式的光传感 器6 —样设置于光检测体61侧的情况，也可获得相同的效果。
使用图ll，说明关于本发明的第4实施方式。
图11是显示本实施形态的发明，与第2实施方式的图6所示的灯单元2和光传感器6的可动体64的结构一部分不同的灯单元2的结构的局部放 大图。
如图11所示，本实施方式的光传感器6的可动体66，使用由例如石英 玻璃所构成的圆柱状的透过构件661，来代替第1实施方式的图6所示的可 动体64的透过构件645。即，与准分子灯5抵接的透过构件661的一端， 形成有平坦部663，来与平坦的准分子灯5卡合，在透过构件661的另一端， 形成有与保持体63的突出部632抵接的锷状的防止落下构件662，并且在 其上表面涂敷有由例如萤光体所构成的变换构件646。
另外，此灯单元2的其他结构与图6所示的灯单元2的同符号的结构 相对应，在此省略其说明。
在本实施方式的发明中，即使对被照射物W照射真空紫外线时所产生 的氧浓度产生变动的大气因对流而进入到框体4的内部S2，也能通过以透 过构件661构成可动体66全体，使得由准分子灯5所接收的真空紫外线通 过透过构件661 ，直接射入至涂敷于透过构件661的上表面的变换构件646， 因此，在准分子灯5与变换构件646之间，不会有让臭氧进入到框体4的 内部S2的多余空间。因此，能够将真空紫外线在不受到氧浓度产生变动的 大气的影响的状态下变换成可见光，能够将真空紫外线对被照射物W的强 度设定于期望的规定值。
使用图12，说明关于本发明的第5实施方式。
图12是显示本实施方式的发明中的，与第1实施方式中的图6所示的 灯单元2和光传感器6的可动体64的结构一部分不同的灯单元2的结构的 局部放大图。
如图12所示，本实施形态的光传感器6的可动体64，使用萤光玻璃 647来代替第1实施方式中图6所示的可动体64的透过构件645及变换构 件646，该荧光玻璃647—并具有发挥供紫外线透过的透过构件的功能、及 作为将真空紫外线变换成可见光的变换构件的功能。
另外，此灯单元2的其他结构，与图6所示的灯单元2的同符号的结 构相对应，在此省略其说明。
在本实施方式的发明中，即使对被照射物W照射真空紫外线时所产生 的氧浓度产生变动的大气因对流而进入到框体4的内部S2，也能经由设置 于可动体64的萤光玻璃647，使得由准分子灯5所接收的真空紫外线射入至透过构件兼变换构件的萤光玻璃647，所以，在准分子灯5与萤光玻璃 647之间，不会有让臭氧进入到框体4的内部S2的多余空间。因此，能够 将真空紫外线在不受到氧浓度产生变动的大气的影响的状态下变换成可见 光，能够将真空紫外线对被照射物W的强度设定于期望的预定值。
另外，在第5实施方式的说明中，以将萤光玻璃647设置于可动体64 侧为例进行了说明，但在如第1实施方式的光传感器6这样，设置于光检 测体61侧的情况，也可获得相同的效果
使用图13，对本发明的第6实施形态进行说明。
图13是显示本实施方式的发明中，沿着对准分子灯5的长度方向呈垂 直方向的灯单元2的结构的剖面图。
如图13所示，本实施方式的灯单元2，配置成将弹性构件635插入至 保持体63的贯通孔634，使光传感器6的可动体64的一端朝准分子灯5接 收弹性力，将光传感器6由准分子灯5的未配置有外部电极52、 53的横向 抵接于准分子灯5，来代替第1实施方式的图6的灯单元，
另外，此灯单元2的其他结构，与图6所示的灯单元2的同符号的结 构相对应，在此省略其说明。
弹性构件635配置于保持体63的贯通孔634，并由例如线圈弹簧等的 构件所构成，弹性构件635的一端抵接于可动体64的防止落下部643，其 另一端抵接于检测体610，由此，所起的作用为设置于可动体64的另一端 的防止落下部643与保持体63的突出体632抵接。
由于弹性构件635使可动体64朝准分子灯5作用，所以，不需要经由 可动体64的自重进行对准分子灯5的抵接。g卩，即使朝准分子灯4的横向 (相对于重力方向的垂直方向)设置光传感器6，也能经常地使光传感器6抵 接于准分子灯5。在准分子灯5中，虽然会被施加有由于弹性构件635所产 生的负荷，但是，能适宜地选择该弹性构件使得弹性构件635的弹性力不 会造成准分子灯5的破损。另外，弹性构件635，在第1实施方式的图6所 示的灯单元2中，也可设置于朝准分子灯5的一方的外部电极52、 53抵接 的光传感器6中。
在本实施方式的发明中，即使对被照射物W照射真空紫外线时所产生 的氧浓度产生变动的大气因对流而进入到框体4的内部S2，也可使光传感 器6抵接于准分子灯5，将射入到光传感器6的真空紫外线在不会受到氧浓度产生变动后的大气的影响的状态下变换成可见光并进行检测，所以，能
够将真空紫外线对被照射物w的强度设定于期望的规定值。
另外，在第6实施方式的说明中，以将透过构件645与变换构件646 设置于可动体64侧为例进行了说明，但在如第1实施方式的光传感器6这 样，设置于光检测体61侧的情况，也可获得相同的效果。
权利要求
1.一种灯单元，包括用来放射紫外线的准分子灯、接收前述紫外线的光传感器及至少收容保持该光传感器的框体，其特征在于，前述光传感器具有光检测体，检测可见光；保持体，呈筒状，附设于该光检测体；及可动体，呈筒状或柱状，能够移动地保持于该保持体上，并且被设置成可与前述准分子灯抵接，透过构件与变换构件被设置成被该光检测体、该保持体、该可动体所包围，前述透过构件使来自于前述准分子灯的紫外线透过，前述变换构件将透过该透过构件的紫外线变换成可见光。
2. 如权利要求1所述的灯单元，其特征在于，将前述透过构件与前述 变换构件设置于该可动体的抵接于前述准分子灯的一侧。
3. 如权利要求1或2所述的灯单元，其特征在于，使用兼具前述透过 构件与前述变换构件的两功能的构件，来代替前述透过构件与前述变换构 件。
4. 如权利要求1-3中任一项所述的灯单元，其特征在于，前述可动体 抵接于前述准分子灯的抵接面形成为，吻合前述准分子灯抵的接于前述可 动体的位置的外表面形状。
5. 如权利要求1-4中任一项所述的灯单元，其特征在于，前述框体具 有框体盖构件，该框体盖构件封住除了使前述保持体贯通的贯通孔外的前 述框体，前述光检测体包括光检测元件与处理该光检测元件的受光信号的 电气安装体，在前述光检测体与前述保持体之间设有第1密封体，在前述 保持体与前述框体盖构件之间设有第2密封体。
6. 如权利要求1-5中的任一项所述的灯单元，其特征在于，前述可动体被设置成在前述保持体上可滑动。
7. 如权利要求l-6中的任一项所述的灯单元，其特征在于，设有弹性
8. —种光传感器，其特征在于，具备 光检测体，检测可见光；保持体，呈筒状，附设于该光检测体；可动体，呈筒状或柱状，能够移动地保持于该保持体上，并且被设置 成紫外线可射入，透过紫外线的透过构件与将透过该透过构件的紫外线变换成可见光的 变换构件被设置成被该光检测体、该保持体、该可动体所包围。
9. 如权利要求8所述的光传感器，其特征在于，将前述透过构件与前 述变换构件设置于前述可动体的前述紫外线射入口 一侧。
10. 如权利要求8或9所述的光传感器，其特征在于，使用兼具前述 透过构件与前述变换构件的两功能的构件，来代替前述透过构件与前述变 换构件。
11. 如权利要求8-10中任一项所述的光传感器，其特征在于，前述可 动体被设置成在前述保持体上可滑动。
12. 如权利要求8-11中任一项所述的光传感器，其特征在于，设有弹 性构件，该弹性构件的作用为使前述可动体相对于前述保持体分开。
全文摘要
本发明的课题在于提供光传感器及具备此光传感器的灯单元，以简单的构造，可防止因不期望的负荷所致的准分子灯的破损，并且可抑制因氧浓度变动的大气的对流所引起的测定值变动。用以解决课题的手段为，一种灯单元，包括用来放射紫外线的准分子灯、接收紫外线的光传感器、及至少收容保持光传感器的框体，其特征为光传感器具有检测可见光的光检测体、附设于光检测体的筒状的保持体，能够移动地保持于保持体内并且以可抵接于准分子灯的方式被设置的筒状或柱状的可动体，来自于准分子灯的供紫外线透过的透过构件、与将透过透过构件的紫外线变换成可见光的变换构件设置成，受到该光检测体、该保持体、该可动体所包围。
文档编号F21S2/00GK101539253SQ200910128019
公开日2009年9月23日 申请日期2009年3月17日 优先权日2008年3月18日
发明者菅敏幸, 远藤真一 申请人:优志旺电机株式会社