一种扫描电镜机台内部载物台结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种扫描电镜机台内部载物台结构，所述扫描电镜机台内部设有一载物台支架，所述载物台支架上设有一安装孔，所述载物台结构包括一底座，所述底座的下表面对应所述安装孔形成有一连接部，所述连接部固定于所述安装孔内，所述底座的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部。以本实用新型的载物台结构取代原有装置，可以透过载物台结构的夹持部观察样品的截面表面结构，同时载物台结构的高度在机台允许的载物高度范围内，提升了机台观察样品的种类，丰富了机台的实用性。
【专利说明】一种扫描电镜机台内部载物台结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种扫描电镜机台，尤其是一种扫描电镜机台内部载物台结构。【背景技术】
[0002]由于扫描电镜机台内部样品放置的载物台自身高度的影响，造成集成电路内部芯片在观察时影像有一定的局限性，在放置样品观察前，已经产生一个高度，此高度差会造成芯片自身有一定高度的样品在实验过程中，无法正常观察，或容易误操作损坏机台镜头装置，造成集成电路失效或机台的损坏。现今的扫描电镜，由于设计原因，无可避免的会产生内部设计高度问题，如果无法消除，会造成观察结果有局限性或根本无法观察。
实用新型内容
[0003]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种通过外接装置，取代机台自身的载物台装置，有效提高机台的观察能力范围的扫描电镜机台内部载物台结构。
[0004]为实现上述技术效果，本实用新型公开了一种扫描电镜机台内部载物台结构，所述扫描电镜机台内部设有一载物台支架，所述载物台支架上设有一安装孔，所述载物台结构包括一底座，所述底座的下表面对应所述安装孔形成有一连接部，所述连接部固定于所述安装孔内，所述底座的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部。
[0005]本实用新型进一步的改进在于，所述夹持部包括两块夹板，所述两块夹板对称设置于所述底座的上表面两侧。
[0006]本实用新型进一步的改进在于，所述夹板上对应所述样品设有复数定位孔。
[0007]本实用新型进一步的改进在于，所述载物台结构采用无磁性导电性材料制作。
[0008]本实用新型进一步的改进在于，所述载物台结构的高度符合所述扫描电镜机台内部载物台的允许高度范围。
[0009]本实用新型由于采用了以上技术方案，使其具有以下有益效果是:以本实用新型的载物台结构取代原有装置，可以透过载物台结构的夹持部观察样品的截面表面结构，同时载物台结构的高度在机台允许的载物高度范围内，提升了机台观察样品的种类，丰富了机台的实用性。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型一种扫描电镜机台内部载物台结构的立体示意图。
[0011]图2是本实用新型一种扫描电镜机台内部载物台结构的主视图。
[0012]图3是本实用新型一种扫描电镜机台内部载物台结构的俯视图。
[0013]图4是本实用新型一种扫描电镜机台内部载物台结构的侧视图。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图以及【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。[0015]参阅图1?图4所示，本实用新型的一种扫描电镜机台内部载物台结构1，扫描电镜机台内部设有一载物台支架，载物台支架上设有一安装孔，载物台结构I包括一底座11，底座11的下表面对应上述载物台支架上的安装孔形成有一连接部12，连接部12安插固定于安装孔内，底座11的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部13,样品安装于底座11上，并且通过夹持部13进行固定。夹持部13进一步包括两块夹板14，两块夹板14对称设置于底座11的上表面两侧，可以透过载物台结构I的夹持部13观察样品的截面表面结构。作为本实用新型的较佳实施方式，在夹板14上对应样品设置有复数定位孔15，便于固定放置于底座11上的样品。以本实用新型的载物台结构I取代原有装置，载物台结构I的高度确保在扫描电镜机台允许的载物高度范围内，正确减少高度差值，解决了现有扫描电镜机台对于先进制程的集成电路芯片截面观察时超过机台允许操作样品高度的问题，使现有扫描电镜的观察结果更精确，范围更大，可观测种类更广，丰富了机台的实用性。
[0016]以上结合附图实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域中普通技术人员可根据上述说明对本实用新型做出种种变化例。因而，实施例中的某些细节不应构成对本实用新型的限定，本实用新型将以所附权利要求书界定的范围作为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种扫描电镜机台内部载物台结构，其特征在于:所述扫描电镜机台内部设有一载物台支架，所述载物台支架上设有一安装孔，所述载物台结构包括一底座，所述底座的下表面对应所述安装孔形成有一连接部，所述连接部固定于所述安装孔内，所述底座的上表面形成有一用于夹持样品的夹持部。
2.如权利要求1所述的载物台结构，其特征在于:所述夹持部包括两块夹板，所述两块夹板对称设置于所述底座的上表面两侧。
3.如权利要求2所述的载物台结构，其特征在于:所述夹板上对应所述样品设有复数定位孔。
4.如权利要求3所述的载物台结构，其特征在于:所述载物台结构采用无磁性导电性材料制作。
5.如权利要求4所述的载物台结构,其特征在于:所述载物台结构的高度符合所述扫描电镜机台内部载物台的允许高度范围。
【文档编号】H01J37/20GK203674157SQ201320746242
【公开日】2014年6月25日 申请日期:2013年11月22日 优先权日:2013年11月22日
【发明者】张帆 申请人:宜硕科技(上海)有限公司